本发明公开了一种超精密球冠轮廓扫描检测装置，属于精密测量技术领域，包括隔振平台、大理石基座、精密工件气浮转台、工件安装调整台、连接工装、悬臂转台、悬臂、配重、直线位移台、光学测头、经向圆基准、激光器、分光镜、波片、位置探测器、主控制器构...

本发明公开了一种非接触式超精密轮廓扫描检测装置，属于精密测量技领域。包括隔振平台、大理石基座、精密气浮转台、工件调整台、回转轴基准、X轴直线运动平台、Z轴直线运动平台、测头旋转台、补偿标准球、非接触式光学位移测头、X轴位移参考基准、Z轴...

本发明公开了一种三轴超精密轮廓检测装置，属于精密测量技术领域，其基于柱坐标测量原理，主要由运动执行单元及精密测量单元构成；测量装置包括隔振平台、大理石基座、精密气浮转台、X轴直线运动平台、Z轴直线运动平台、光谱共焦位移传感器、X轴位移参...