本实用新型公开了一种具有拖动功能的分子泵底盘，包括盘体（1）以及设置在所述盘体（1）上的抽气沟槽（2），所述盘体为安装分子泵电机及转子总成的底盘。该实用新型的分子泵底盘加工制作后，变形量极小，质量易保证，装配工艺简单。

本实用新型公开了一种分子泵静隔环与泵壳的紧固结构，包括底盘（1），密封圈（2），泵壳（3），静片（4），静隔环（6），调整环（7），弹性元件（8），其中静隔环（6）层叠安装在底盘（1）上，调整环（7）安装在自下往上最末一层静隔环上，弹性...

本实用新型公开了一种具有双重减振功能的立式分子泵上轴承减振结构，包括轴承座（1），外减振胶圈（2a），内减振胶圈（2b），密封圈（3），减振环（4），轴承（5），减振弹簧（6），压弹盖（7），轴承锁紧螺母（8），主轴（9），其中减振环（...

本实用新型公开了一种分子泵转子与主轴的联接结构，括转子（1）、联接法兰（3），主轴（5），其中转子（1）为铝合金整体转子或由多层叶片叠加装配组合而成的铝合金组合转子，联接法兰（3）为钢件锥孔法兰，主轴（5）为设有圆锥轴面的钢件主轴，转子...