本发明提供了一种用于太阳能电池的晶硅材料的制绒方法，向装有晶硅材料的真空反应腔内通入反应气体，在一定压力下，向反应腔内加上高频电，其中所述的反应气体为氧气和选自下述气体中的一种或多种的混合气体：硝酸气体、氯气、六氟化硫、碱金属氢氧化物气...