本发明提供一种折叠门结构，包含有复数门板单元、二导槽单元以及复数连接杆；该等门板单元各具分别设有一第一枢接点及一第二枢接点之一第一侧面及二导轮，该等导轮邻接该等第一枢接点；该等导槽单元各具有一凹槽容置的该等导轮，而该等导槽单元依序各具有...

一种材料低温优化方法及其装置，主要是在一密闭的本体单元内盛装预定量的超临界流体，配合在本体单元内设置一电极单元，电极单元包括一用以承载一待处理材料的正电极件，及一负电极件，且分别电连接一供电单元的正极与负极，借此不但可利用超临界流体溶解...

本发明是有关于一种适用于纳米工艺的晶圆及其制造方法，其包含一第一退火步骤、一第一沉积步骤、一注入步骤，及一第二退火步骤。该第一退火步骤是以高于650℃的温度对一晶圆进行退火处理以在该晶圆表面形成一高质量硅层。该第一沉积步骤是在退火后的晶...