本发明涉及一种双臂双叉式机械手及其运送晶圆的工艺方法，所述双臂双叉式机械手，包括主臂（17）、下叉（8）、上叉（9）和副臂（19），副臂（19）一端与主臂（17）顶部相连接，其另一端顶部依次与下叉（8）和上叉（9）同轴相连。本发明与现有...

本发明涉及一种半导体机械手机架，包括机座（1），机座（1）的整体结构采用若干铝制结构件间隔布置并通过紧固件连接形成组合式长方体框架结构，机座（1）的底部设置有底座，所述底座采用若干标准直径的下长轴作为横向定位，若干机座下支板作为纵向定位...

本发明涉及一种自带晶圆寻边传感器的机械手，包括主臂（100）、寻边传感器（1103）和芯轴组件（140），寻边传感器（1103）能随主臂（100）一起升降旋转，主臂（100）采用第一中空结构，芯轴组件（140）贯穿所述第一中空结构并设置...

本实用新型涉及自动控制的硅片检查系统，包括一操作台，操作台上有取送 硅片的机械手、硅片盒平台、硅片表面检查机构、载物台、镜头组、抽真空装置， 以及控制所述各装置的计算机系统。机械手包括水平、垂直、旋转三维动作机构， 完成在某一高度下与水...

本实用新型涉及一种取送硅片的机械手，其特征在于：它包括一水平驱动机构，一垂直驱动机构、一旋转驱动机构和安装三个驱动机构的机架；水平驱动机构包括一水平驱动电机，水平驱动电机通过第一传动装置连接一沿两水平光杠水平移动的支架；垂直驱动机构包括...

本实用新型涉及一种显微观察移动台，它包括机架和光学平台，光学平台上设置下层粗精度导轨组和上层高精度导轨组，粗精度导轨组包括平行滑设在第一、第二导向装置上的第一、第二滑块，连接在第一、第二滑块上且与第一、第二导向装置水平垂直的第三导向装置...

本实用新型涉及一种观察硅片表面的运动支撑机构，其特征在于它包括一竖直设置的、由水平电机通过带动水平旋转的空心支柱，支柱的上下两端分别伸出有翼耳，在下端的翼耳上固定有一曲柄电机，曲柄电机的输出轴连接一曲柄盘，曲柄盘偏心处通过一转轴连接一空...

本实用新型涉及一种具有俯仰功能的硅片盒平台，其特征在于：它包括两定位轴，所述两定位轴上连接有一护板框架，所述护板框架通过一转轴机构连接一翻转板的底部前端；所述护板框架内的两定位轴上连接一固定板，在所述固定板上连接一由驱动装置连接的曲柄连...

本发明涉及一种取送硅片的机械手，其特征在于：它包括一水平驱动机构，一垂直驱动机构、一旋转驱动机构和安装三个驱动机构的机架；水平驱动机构包括一水平驱动电机，水平驱动电机通过第一传动装置连接一沿两水平光杠水平移动的支架；垂直驱动机构包括一连...

本发明涉及一种具有俯仰功能的硅片盒平台，其特征在于：它包括两定位轴，所述两定位轴上连接有一护板框架，所述护板框架通过一转轴机构连接一翻转板的底部前端；所述护板框架内的两定位轴上连接一固定板，在所述固定板上连接一由驱动装置连接的曲柄连杆机...

本发明涉及一种观察硅片表面的运动支撑机构，其特征在于它包括一竖直设置的、由水平电机通过带动水平旋转的空心支柱，支柱的上下两端分别伸出有翼耳，在下端的翼耳上固定有一曲柄电机，曲柄电机的输出轴连接一曲柄盘，曲柄盘偏心处通过一转轴连接一空心联...

本发明涉及自动控制的硅片检查系统，包括一操作台，操作台上有取送硅片的机械手、硅片盒平台、硅片表面检查机构、载物台、镜头组、抽真空装置，以及控制所述各装置的计算机系统。机械手包括水平、垂直、旋转三维动作机构，完成在某一高度下与水平运动方向...

本发明涉及一种显微观察移动台，它包括机架和光学平台，光学平台上设置下层粗精度导轨组和上层高精度导轨组，粗精度导轨组包括平行滑设在第一、第二导向装置上的第一、第二滑块，连接在第一、第二滑块上且与第一、第二导向装置水平垂直的第三导向装置，第...

本实用新型涉及一种机械手的手爪，其特征在于它包括：一托架；一定位块，其固定连接在所述托架的中后部；两转杆，其分别穿过所述定位块的两侧，转动地连接在所述托架的前端上；两前卡爪，其分别固定连接在两所述转杆的前部；两具有斜面的后卡爪，其分别滑...