本技术公开一种带有冷却风道的工业烤箱，包括箱体和烘烤组件，烘烤组件安装在箱体内，烘烤组件包括具有烘烤室的烘箱及具有冷却风道的回风结构，冷却风道位于烘烤室的外部，且相互隔离，烘箱内还设置有与烘烤室连通的热风循环通道，热风循环通道内安装有循...

本发明公开一种全自动解键合机，用于将键合在晶圆片上的玻璃片剥离开，包括机械手、中转平台、搬运机构、解胶机构、剥离机构和输送机构，机械手用于对晶圆片进行上下料；搬运机构位于中转平台与输送机构之间，用于在中转平台与输送机构之间搬运晶圆片；解...

本发明公开一种晶圆片承载架，包括主框架和多个支撑片，多个支撑片沿纵向层叠设于主框架上，晶圆片承载架还包括辅助框架，支撑片包括两个相对设置且与主框架滑动连接的嵌入部及设于两个嵌入部之间且用于支撑晶圆片中部的支撑部，嵌入部和支撑部之间设有缺...

本实用新型涉及无尘烤箱技术领域，特别是一种带有冷却密封门的无尘烤箱，包括箱体和密封门组件，所述箱体包括箱体外壳以及位于箱体外壳内的加热内壳，所述密封门组件可滑动地安装在加热内壳上，所述加热内壳上设有水平伸缩缸和轨道，所述密封门组件包括移...

本实用新型公开一种晶圆片承载架，包括框架和用于承载晶圆片的承载片，承载片插设在框架上，承载片具有多个且沿纵向层叠设置，承载片包括支撑部，晶圆片的中部搭设在支撑部的上表面上，框架上沿垂直于承载片的插入方向设置有热气流通道，热气流通道水平设...

本实用新型提供了一种无尘烤箱气管连接装置，包括接头组件以及调节管组件，接头组件包括波纹管，调节管组件包括连通波纹管的第一弯管、套设在第一弯管上的第二弯管以及锁紧件，第一弯管的一端连通至波纹管上，第一弯管的另一端穿插至第二弯管内，第二弯管...

本实用新型提供了一种工业烤箱上具有承载结构的箱门，包括门板、隔温装置以及承载装置，隔温装置包括阻燃板，承载装置包括限位框、支撑底座以及承载架，限位框有两个，两个限位框分设在支撑底座的两侧，限位框上开有滑动槽，支撑底座上凸设有限位条，限位...

本实用新型提供了一种具有加热盖锁紧功能的隧道炉，包括架体、活动安装在架体上的加热盖装置以及安装在加热盖装置和架体之间的锁紧装置，加热盖装置包括可滑动的安装在架体上内的封闭盖，锁紧装置包括固定安装在承载框上的滑动板、固定安装在滑动板上的控...

本实用新型提供了一种调焦式UV灯曝光解胶机，包括机台、灯源装置以及夹紧装置，灯源装置包括曝光灯源以及滤光片，滤光片有多个，滤光片的边缘卡设有紧固边框，紧固边框可滑动的安装至曝光灯源上，夹紧装置包括定位折板、活塞柱以及推抵螺钉，定位折板固...

本实用新型提供了一种旋转式工业烤箱，包括箱体、加热腔装置、热源装置以及驱动装置，箱体上开有转槽，加热腔装置包括加热腔筒以及安装在加热腔筒中的承载平台，热源装置包括可转动的设置在加热腔筒外壁上的若干热源管、分设在热源管两端的输入环套和输出...

本实用新型涉及一种具有热风循环加热系统的烤箱，包括烤箱主体，所述烤箱主体内设有烘干腔室，所述烘干腔室侧壁上开设有安装孔，安装孔内配合放置有风扇组件，所述烘干腔室侧壁上位于风扇组件的两侧设有加热组件，所述风扇组件包括驱动马达、传动轴和风扇...

本实用新型提供了一种防热量泄漏的烤箱，包括箱体、设置在所述箱体一侧的冰水机以及安装在所述箱体上的冷却管路，所述箱体中开有烘烤空腔，所述烘烤空腔呈开口状结构，所述箱体上安装有封堵所述烘烤空腔的箱门，所述冷却管路设置在所述箱门和所述箱体之间...

本实用新型提供了一种带有升降加热盖的隧道炉，包括架体以及落盖装置，架体包括立杆，架体上安装有承载台，落盖装置包括加热盖以及驱动组件，加热盖对应承载台分段设置，驱动组件包括升降电机、第一联动横杆、第二联动横杆以及竖直丝杆，第二联动横杆垂直...

本实用新型提供了一种匀速运输隧道炉，包括架体以及设置在架体上的转辊装置，架体中安装有进料台、承载台以及控制台，转辊装置包括若干运输辊以及连杆组件，运输辊的端部设置有从转轮，连杆组件包括设置在运输辊下方的主驱动杆、套设在主驱动杆上的主转轮...

本实用新型公开一种工业烤箱用冷却装置，其包括冷却水管，冷却水管包括相互连通的上段管和下段管，上段管和下段管均折弯形成“S”形结构，上段管的一端形成出水口，下段管的一端形成进水口，进水口靠近出水口设置，上段管和下段管均包括多个直管以及与直...

本实用新型提供了一种自动排风的工业烤箱，包括加热箱、设置在加热箱上内的供风装置以及控温装置，加热箱中设置有容置空腔和风道空腔，供风装置包括可转动的设置在风道空腔内的风机，控温装置包括供气管、出气管、隔板组件以及阀体组件，供气管和出气管均...

本实用新型提供了一种曝光解胶机，包括机台、安装在机台中的运输装置、安装在运输装置上的承载装置以及设置在机台内的曝光灯，机台中设有进出口，所述机台包括上机台，运输装置包括可在进出口内移动的移动板、安装在移动板侧壁上的联动块以及固定连接至联...

本实用新型提供了一种自动开门无尘烤箱，包括箱体、安装在箱体上的气动门组件、设置在箱体内的承载组件、加热组件、设置在箱体上的气动门组件以及安装在箱体顶部的除尘组件，气动门组件包括设置在箱体侧壁上的门板，承载组件包括对应门板设置的承载架，加...

本实用新型提供了一种自动真空厌氧隧道炉，包括机架、安装在机架上的运输装置、依次设置在运输装置上的预存去氧装置以及热处理装置，热处理装置包括加热腔室、安装在加热腔室内的加热组件以及连通至加热腔室内的负压管道，加热组件包括固定安装在加热腔室...

本实用新型提供了一种无尘烤箱用的箱门，包括外门板、内门板、保温棉、玻纤板、收容装置以及限位装置，外门板和内门板分设在保温棉的两侧，内门板的两侧和保温棉之间形成收容空腔，收容装置包括可密封所述收容空腔的挡条、阻挡所述保温棉的定位条以及垂直...