【技术实现步骤摘要】
本技术涉及工业烤箱，特别地，涉及一种带有冷却风道的工业烤箱。
技术介绍
1、晶圆片生产过程中，需要采用工业烤箱对其进行加热烘烤，以提升硅晶片的综合性能。在工业烤箱工作过程中，烘烤室内的热量会通过烤箱壳体向外散发，容易导致安装在工业烤箱周围的电路板以及其上的电子元器件因高温而发生损坏，因此，工业烤箱在使用一段时间后都需要用户对其进行停机检查，不但增加了用户检查的次数，加大了工作量，也降低了工业烤箱的烘烤效率，同时，电路板及其上的电子元器件频繁发生损坏也增加了维护成本，从而影响经济效益。
技术实现思路
1、本技术所要解决的技术问题是：现有技术中，安装在工业烤箱侧壁上的电子元器件容易受到高温作用而损坏，基于此，有必要提供一种带有冷却风道的工业烤箱，以减少热量对电子元器件造成影响。
2、本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种带有冷却风道的工业烤箱，包括箱体和烘烤组件，所述烘烤组件安装在所述箱体内，所述烘烤组件包括具有烘烤室的烘箱及具有冷却风道的回风结构，所述冷却风道位于所述烘烤室...
【技术保护点】
1.一种带有冷却风道的工业烤箱，包括箱体和烘烤组件，所述烘烤组件安装在所述箱体内，其特征在于：所述烘烤组件包括具有烘烤室的烘箱及具有冷却风道的回风结构，所述冷却风道位于所述烘烤室的外部，且相互隔离，所述烘箱内还设置有与烘烤室连通的热风循环通道，所述热风循环通道内安装有循环风机，所述冷却风道的一端安装有鼓风机，所述冷却风道的另一端连通外部大气。
2.如权利要求1所述的带有冷却风道的工业烤箱，其特征在于：所述烘箱包括外壳体和内壳体，所述内壳体设置在所述外壳体内，所述烘烤室形成于所述内壳体内，所述热风循环通道由所述外壳体内除所述烘烤室以外的区域空间形成。
...【技术特征摘要】
1.一种带有冷却风道的工业烤箱，包括箱体和烘烤组件，所述烘烤组件安装在所述箱体内，其特征在于：所述烘烤组件包括具有烘烤室的烘箱及具有冷却风道的回风结构，所述冷却风道位于所述烘烤室的外部，且相互隔离，所述烘箱内还设置有与烘烤室连通的热风循环通道，所述热风循环通道内安装有循环风机，所述冷却风道的一端安装有鼓风机，所述冷却风道的另一端连通外部大气。
2.如权利要求1所述的带有冷却风道的工业烤箱，其特征在于：所述烘箱包括外壳体和内壳体，所述内壳体设置在所述外壳体内，所述烘烤室形成于所述内壳体内，所述热风循环通道由所述外壳体内除所述烘烤室以外的区域空间形成。
3.如权利要求2所述的带有冷却风道的工业烤箱，其特征在于：所述外壳体包括相对设置的底板和顶板、相对设置的左侧板和右侧板，及后侧板，所述内壳体包括相对设置的两个孔板和连接在两个所述孔板之间的连接板，所述孔板的顶部与所述顶板固定连接，所述孔板的底部与所述底板固定连接，所述烘烤室由所述内壳体、顶板及底板三者之间围设形成的一个前侧具有开口的空腔构成。
4.如权利要求3所述的带有冷却风道的工业烤箱，其特征在于：其中一个所述孔板靠近所述左侧板设置且与所述左侧板相互平行，另一个所述孔板靠近所述右侧板设置且与所述右侧板相互平行，所述孔板上的通孔形成连通孔，所述热风循环通道通过所述连通孔与所述烘烤室连通。
5.如权利要求3所述的带有冷却风道...
【专利技术属性】
技术研发人员：罗佐军，胡远岗，
申请(专利权)人：常州常耀半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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