试样保持构件的插拔机构(30)中，在试样保持构件(6)的插拔位置(P1)，承载台(32)由承载台驱动部(33)而向进入位置(Q1)驱动，并以承载面(73)朝着承载面定位部(74)成为下倾的方式从工作台(5)的开口部(42)突出。由此，在...

图像取得装置(M)中，通过光路差生成部件(21)的配置，不进行焦点控制用的第二光路(L2)上的光的分支而可形成第二光学图像的光路长差。因此，可抑制为了得到焦点位置的信息所需要的向第二光路(L2)的光量，并可确保通过第一摄像装置(18)进...

固体摄像装置(1A)包含受光部(20)、不需要载子捕获部(30)、及垂直移位寄存器(60)。不需要载子捕获部(30)具有在受光部(20)与垂直移位寄存器(60)间的区域内配置于各行的载子捕获区域(DA1～DAM)。载子捕获区域(DA1～...

本发明提供一种自适应光学系统的角度偏离检测方法，该自适应光学系统包括：对入射至调制面上的光学像的相位进行空间调制的空间光调制器；和从上述空间光调制器接收调制后的上述光学像的波前传感器，其具有将多个透镜排列成二维状的透镜阵列以及对包含由上...

自适应光学系统包括：对入射到包含排列成二维状的N个区域的调制面上的光学像的相位进行空间调制的空间光调制器；从上述空间光调制器接收调制后的上述光学像的波前传感器，该波前传感器包括由与上述N个区域分别对应的N个透镜二维状排列而成的透镜阵列，...

自适应光学系统包括：对入射到调制面上的光学像的相位进行空间调制的空间光调制器；和从所述空间光调制器接收调制后的所述光学像的波前传感器，其包括由多个透镜二维状排列而成的透镜阵列，和对包含由所述透镜阵列形成的会聚光斑的光强度分布进行检测的光...

一种自适应光学系统中，包括：空间光调制器，其对入射到包含排列成二维状的N个区域的调制面的光学像的相位进行空间调制；和从上述空间光调制器接收调制后的上述光学像的波前传感器，其具有与上述N个区域分别对应的N个透镜排列成二维状的透镜阵列和检测...

激光加工装置具备将激光(L)射出的激光光源(202)、调制由激光光源(202)射出的激光(L)的空间光调制器(203)、及将通过空间光调制器(203)调制后的激光聚光在加工对象物(1)的聚光光学系统(204)，多列的改质区域(7)至少包...

本发明的激光加工方法，具备：第1工序，准备加工对象物；及第2工序，以加工对象物的表面作为激光的入射面，沿着加工预定线将激光照射于第1板状构件，由此沿着加工预定线在第1板状构件形成改质区域；及第3工序，以加工对象物的表面作为激光的入射面，...

激光加工装置通过将激光聚光于加工对象物而沿着切断预定线在加工对象物的内部形成改质区域。激光加工装置具备将激光射出的激光光源、调制由激光光源射出的激光的空间光调制器、及将通过空间光调制器调制后的激光聚光在加工对象物的聚光光学系统。空间光调...

在图像取得装置(1)中，作为摄像元件(6)，使用具有多列像素列(31)并且能够滚动读出的二维摄像元件。然后，利用滚动读出中的各个像素列(31)中的读出时机的延迟，使物镜(25)的焦点位置变更并以试样(S)上的规定部位(Sa)的光学图像在...

在本发明所涉及的图像取得装置(M)中，由光程差生成构件(21)而不用进行在第2光路(L2)上的光的分支就能够形成第2光学图像的光程差。因此，为了获得焦点位置的信息而到达必要的第2光路(L2)的光量被抑制并且能够确保以第1摄像装置(18)...

在图像取得装置(1)中，使相对于试样(S)的物镜(25)的视野位置(V)移动且在物镜(25)的光轴方向上使相对于试样(S)的物镜(25)的焦点位置往复移动。由此，与相对于试样(S)的物镜(25)的视野位置(V)的移动一起，能够按顺序取得...

准备n-型半导体基板(1)，其具有彼此相对的第1主面(1a)及第2主面(1b)，并且在第1主面(1a)侧形成有p+型半导体区域(3)。对n-型半导体基板(1)的第2主面(1b)上的至少与p+型半导体区域(3)相对的区域照射脉冲激光，形成...

本发明提供能够在加工对象物的表面上不发生熔融或者偏离切割预定线的分割而切割加工对象物的激光加工方法以及激光加工装置，其中，在引起多光子吸收的条件下而且在加工对象物(1)的内部对准聚光点(P)，在加工对象物(1)的表面(3)的切割预定线(...

放射线图像检测装置(20)包括：光检测元件(10)，其检测荧光光；及棱镜(5)，其配置在朝向成像板(IP)的激发光(EL)的光路上且光检测元件(10)与成像板(IP)之间。棱镜(5)作为表面而具有：侧面(5c)，其与成像板(IP)相对；...

光学模块(1A)具备具有光分支面(11)的偏振光分束器(10A)、分别具有使偏振光面旋转的非互易性的光学活性并且分别配置于透过光分支面(11)的第1偏振光成分(L2)以及在光分支面(11)上被反射的第2偏振光成分(L4)的光路上的偏振光...

本发明提供能够在加工对象物的表面上不发生熔融或者偏离切割预定线的分割而切割加工对象物的激光加工方法以及激光加工装置，其中，在引起多光子吸收的条件下而且在加工对象物(1)的内部对准聚光点(P)，在加工对象物(1)的表面(3)的切割预定线(...

本发明提供能够在加工对象物的表面上不发生熔融或者偏离切割预定线的分割而切割加工对象物的激光加工方法以及激光加工装置，其中，在引起多光子吸收的条件下而且在加工对象物(1)的内部对准聚光点(P)，在加工对象物(1)的表面(3)的切割预定线(...

光学模块(1A)具备偏振光分束器(10A)、分别具有使偏振光面旋转的非互易性的光学活性并且分别配置于照射光(L1)中的透过了光分支面(11)的第1偏振光成分(L2)以及在光分支面(11)上被反射了的第2偏振光成分(L4)的光路上的偏振光...