晶舟封装(1)包含一个支架(10)，后者带有多根垂直延伸的杆件(12)，该杆件沿着其长度在多个位置被隔开，限定了多个副载体安装位置(16)；同时，支架中还带有至少一块碎屑收集板(20)，其中一块还连接在上述杆件(12)上，位于任意两个相...

一种用于以连续方式沉积膜的原子层沉积设备。本设备包括向下倾斜的加工隧道，其在运输方向上延伸并且由至少两个隧道壁限定。这两个壁都具有多个气体注入通道，由此在运输方向上观看，至少一个壁中的气体注入通道分别相继连接到第一前体气体源、净化气体源...

一种以连续方式沉积膜的原子层沉积设备。本设备包括沿运输方向延伸并且至少由第一和第二壁限定的加工隧道。这些壁相互平行并且允许平的衬底容纳在它们之间。本设备进一步包括运输系统，以使一排衬底或带子形状的连续衬底移动而通过隧道。至少加工隧道的第...

本发明提供了一种处理太阳能电池的方法，包括：提供一竖炉，用于收纳相互隔开的集成电路处理用的圆形半导体晶片的阵列；为太阳能电池基片构建一处理室装载结构，其中太阳能电池基片沿着待处理的第一表面延伸的尺寸小于圆形半导体晶片的相应尺寸，使得处理...

本发明提供了一种太阳能电池及其制造方法。一种有效少数电荷载流子寿命(τeff)至少为500μs的太阳能电池的制造方法，所述方法包括：提供半导体晶片；以及通过顺次且交替地：(i)暴露所述晶片的表面至第一前体，以形成所述第一前体对所述表面的...

本发明公开了一种方法和一种装置，利用该方法和装置，使晶片在漂浮晶片反应器中被一个环圈所包围。该环圈特别是在进入和取出时用于限制晶片上的温度变化。另外，这种环圈能在处理过程中用来将晶片定位在水平面。晶片在处理过程中不与环圈接触。该环圈可选...

在不必打开盒的情况下，勘测盒中的晶片。该盒对于特定类型的辐射至少是半透明的。通过盒的透明或半透明部分，辐射源指向盒中，对该辐射敏感的图像传感器检测盒内晶片反射出的辐射。第二辐射源和第二照相机从不同角度优选提供晶片的附加图像。通过处理这些...