本发明提供能够进一步抑制已暴露在基板表面上的金属布线的腐蚀、氧化的基板处理方法和基板处理装置。本发明涉及一种具有处理室(2)的基板处理装置(1)，该处理室(2)配置有基板(W)，向其中供给用于处理基板(W)的基板处理液。该装置包括：非活...

使用析晶反应装置，该析晶反应装置包括析晶反应槽(10)，该析晶反应槽(10)具有通过向含有析晶对象物质的原水中添加钙剂从而生成难溶性盐的结晶的析晶反应部(28)，在析晶反应槽(10)内，配置有与析晶反应槽(10)的外周壁相对的内周壁(2...

在该铜露出基板的清洗方法中，设置有紫外线氧化装置的子系统的水出口和各基板处理装置的水入口经由主配管连接。过氧化氢除去装置(2)配置在子系统的紫外线氧化装置与非再生型离子交换装置之间。另外，二氧化碳供给装置(4)配置在从子系统的水出口分支...

提供一种含氨废水的处理装置，所述处理装置即使不使用水垢分散剂、粘泥控制剂等化学试剂也能高效地处理高浓度的含氨废水。一种含氨废水的处理装置，其具备：氨汽提处理装置(12)，其在pH10以上对含氨废水进行氨汽提处理；一次反渗透膜处理装置(1...

一种使用离子交换树脂从包含氯化物离子等阴离子的含硼溶液中减少硼以外的盐类的方法，相对于填充有H型强酸性阳离子交换树脂的阳离子交换树脂填充塔的出口，串联配置了均填充有游离碱型弱碱性阴离子交换树脂的2段阴离子交换树脂填充塔，将含硼溶液从阳离...

空气净化装置(1)包括：进气口(3)；排气口(4)，其位于进气口(3)的上方；气液接触部(5)，其设于进气口(3)与排气口(4)之间，用于使自进气口(3)导入至壳体(2)内的空气与清洗水相接触；喷洒部件(6)，其设于气液接触部(5)的上...

以简单的结构高效地去除醇中的溶解氧。醇中的溶解氧去除装置(5)是填充有吸收了氢的储氢金属催化剂(51)的溶解氧去除装置，通过使含有溶解氧的醇与储氢金属催化剂(51)相接触，从醇中去除溶解氧。醇中的溶解氧去除方法具有如下工序：使含有溶解氧...

本发明提供节能且高效的流体二氧化碳的供给装置及供给方法。流体二氧化碳的供给装置具备循环系统和将作为原料或回收气体的二氧化碳导入循环系统的二氧化碳导入部。该循环系统设有从二氧化碳中除去杂质和污染物的提纯部、具备使经过了提纯部的气体二氧化碳...

本发明提供一种具备使外部导入空气与清洗水接触来进行清洗的清洗机构的空气调节装置，能够改善一边对循环空气的一部分进行换气一边进行运转时的能量效率。空气调节装置具备：空气调节单元，其形成在从外部分隔出的空间内循环的循环空气，将循环空气加热或...

本发明提供一种纯化醇如异丙醇的方法，所述方法包括：对含有醇的液体进行离子交换处理的第一离子交换步骤；对在所述第一离子交换步骤中处理过的液体进行使用脱水膜的脱水处理的步骤；对脱水处理过的液体进行蒸馏的蒸馏步骤；和对在所述蒸馏步骤中获得的液...

提供一种可以生成不含水分和有机物质如油的高纯度液体CO2的液化二氧化碳制备设备，其包括：对CO2进行再循环处理的再循环系统；和将来自外部的CO2源的CO2导入到再循环系统的导入装置。再循环系统至少包括将CO2汽化的蒸发器，将来自蒸发器出...

本发明的目的在于限制压力损失，并且将由离子交换器处理的水平滑地排出到离子交换设备外部。离子交换设备(1)包括具有内部空间(2)的外部容器(3)，和离子交换器支撑单元(4)，该离子交换器支撑单元将内部空间(2)的至少一部分分成上部空间(2...

在限制水垢的生成的同时使得高纯去离子水的生产成为可能。一种用于制备去离子水的电去离子装置具有设置在阴极室(E1)与阳极室(E2)之间的至少一个去离子处理单元，所述去离子处理单元包括：去离子室(D)和与去离子室(D)相邻的在其相反侧上放置...

本发明涉及一种排水处理装置，其具有：反应槽，所述反应槽通过生物污泥而对含有BOD成分的有机性排水进行生物处理；污泥分离槽(16)，所述污泥分离槽(16)将在所述反应槽中所得到的处理水与所述污泥分离，所述反应槽包括无氧生物处理槽(10)、...

为了改善水处理系统的能量效率和进行稳定的温度控制，该水处理系统包括：多个装置(1，2，3，4)；多个管段(11，12)，水流过所述多个管段，并且所述多个管段将所述多个装置彼此连接；和热泵(21)，所述热泵从热量吸收管段(11)吸收热量和...

本发明提供一种液体食品或饮料的调整方法，其即使在直接利用通过利用粉碎机的粉碎而得到的粉末状的离子交换树脂的情况下、或进行不产生成问题的成本增加的程度的分级的情况下，也能够有效地防止粉末状的离子交换树脂的微粉成分向滤液中渗漏。在进行利用粉...

一种过滤器的清洁化方法，其将用于过滤在被处理体的洗涤或干燥中的至少一者中使用的气体、液体或超临界状态的二氧化碳的过滤器有效地清洁化。用于过滤在被处理体的洗涤或干燥中的至少一者中使用的气体、液体或超临界状态的二氧化碳的过滤器的清洁化方法包...

本发明提供了一种能够有效减少向燃料电池供给的水中的氯化物离子的浓度的燃料电池用的水处理装置。本发明的燃料电池的水处理装置使用离子交换树脂，所述离子交换树脂含有阳离子交换树脂和阴离子交换树脂的混合床树脂，所述阳离子交换树脂的平均粒径是0....

本发明提供了一种能够有效减少向燃料电池供给的水中的氯化物离子的浓度的燃料电池用的水处理装置。本发明的燃料电池的水处理装置使用离子交换树脂，所述离子交换树脂含有阴离子交换树脂，初始状态的所述阴离子交换树脂的总交换容量中氯化物离子所占的比例...