一种控制照射到目标上的照射角度的方法，包括：将来自具有预选波长的至少两个光源的光照射到该目标上，其中，来自所述光源的光相对于主照射轴以各自的最大照射角度照射该目标上的每一点，该主照射轴从该至少两个光源的大致中心延伸至该目标；选择分色滤光...

检查装置包括包含多台摄像机的成像组件，所述多台摄像机安装在所述成像组件中的各自不同地点中，并被配置成捕获样品的各自图像。运动组件被配置成移动所述成像组件和所述样品的至少一个，以便使所述成像组件以受预定位置公差限制的扫描精度扫描所述样品。...

一种用于将大致平面状的基片，如印刷线路板、平板显示器和互连装置基片以悬浮状态传送到一个扫描或成像位置，并传送基片离开该位置的系统和方法，以及使用这种物品传送系统和方法的扫描和成像系统及方法，这种传送系统包括具有基片压平功能的气流传送装置...

一种用于检查电路图形的方法，包括对顺序获取的电路图形的图像执行初始检查以确定在电路图形中的潜在缺陷；一旦在初始检查过程中识别到电路图形中的潜在缺陷，就中断初始检查并对包括潜在缺陷的顺序获取图像部分执行二次评估；在完成第二检查后，恢复初始...

一种与大致平面状的基片一起使用的双面成像系统，包括：气流传送装置，该气流传送装置用于以悬浮状态将大致平面状的基片至少传送到一个成像位置，所述平面状基片选自基片组：印刷线路板、平板显示器和互连装置基片；图像获取装置，该图像获取装置位于所述...

本发明公开了一种电路检验系统，它包括光学子系统，用于光学检验电路，并提供指明了该电路中至少二个不同区域之间的边界的检验输出；以及分析子系统，用于分析检验输出，该分析包括把该检验输出与指明了至少二个不同区域之间的边界的计算机文件参考相比较...

一种制造电路的系统和方法，其中，通过非均匀地修正（４４）电路（４０）的表示而生成数字控制图像（４６），从而利用该数字控制图像（４６）而在衬底（１２）上记录的电路图案（７２）与已经形成的电路部分（６２）精确相配。

一种用于检查电路图形的方法，包括： 对顺序获取的电路图形的图像的执行初始检查以确定在所述电路图形中的潜在缺陷； 在所述初始检查过程中在所述电路图形中刚一识别潜在的缺陷，就中断所述初始检查并对包括所述潜在缺陷的所述顺序获取图像...

一种对电路（１２）进行自动光学检测的方法，包括：获得电路（１２）的至少一个光学图像；根据该至少一个图像产生至少一个第一检测图像，并从其中确定候选缺陷（２３６）的区域；对围绕候选缺陷（２３６）的区域产生至少一个附加的检测图像，所述至少一个...

一种系统，包括：　　　　集成自动设备，用于对物品中的缺陷进行自动光学检查（ＡＯＩ）、核实和校正；以及　　　　控制器，运转以在ＡＯＩ、核实和校正之间选择以对物品执行。

用于检查的装置包括光学检查功能（２８），用于提供至少一个光学检查输出，该输出表示基底上重复单元的图案。实施分析功能（３２）以接收至少一个光学检查输出并分离重复单元的预先选择的特征。在重复单元的分离的预先选择的特征上实施分析报告功能，用于...

一种对电路（１２）进行自动光学检测的方法，包括：获得电路（１２）的至少一个光学图像；根据该至少一个图像产生至少一个第一检测图像，并从其中确定候选缺陷（２３６）的区域；对围绕候选缺陷（２３６）的区域产生至少一个附加的检测图像，所述至少一个...

一种用于检测表面的信息的装置包括：采集表面的二维信息的第一组多个光学元件；采集所述表面的形貌信息的第二组多个光学元件；其中，所述第一组多个和所述第二组多个光学元件同时将所述的二维信息和所述的形貌信息提供给单个传感器阵列的至少部分不重叠的...

一种用于把能量输送给基板的系统及方法包括提供多个辐射光束且可动态导向的辐射能量源，每个辐射光束沿可动态选择的方向传播。多个光束导向元件内的多个可独立定位的光束导向元件接收光束并把它们引导至基板上的可选择位置。多个激光束聚焦模块与多个光束...

本发明公开了一种电路检验系统，它包括一个用于光学检验一个电路并提供一个指明了多于２个的不同类型区域的检验输出的光学子系统以及一个用于分析该检验输出的分析子系统，其中的分析包括把该检验输出与一个指明了多于２个的不同类型区域的计算机文件参考...

一种用于检查电路的方法，包括：在第一时间间隔期间，通过在第一图像中检测从中反射的光来光学检查电路的至少一部分；根据在第二时间间隔期间获取的第二图像中的荧光，光学地检查从该电路的至少一部分发射的光；以及基于几何面一致指示而指示电路中的缺陷...

一种把能量传送到基片的系统包括可动态定向辐射能量源，用于提供每一个沿着可动态选择方向传播的数个辐射束。数个束导引单元当中的可独立定位束导引单元起接收辐射束和把它们引向基片上的可选位置的作用。

一种露出印刷电路板衬底中的嵌入目标的系统，其包括微型加工设备。一种露出印刷电路板衬底中的嵌入目标的系统，其包括微型加工设备、传感器和控制器。该微型加工设备在目标所处的大体区域中移去覆盖对准目标上的部分不透明层，然后传感器判断对准目标是否...