本技术公开了一种无掩模光刻机基座，涉及光刻机基座领域，包括底座，所述底座的顶部设置有一对可滑动的夹持座，一对所述夹持座相对接时，形成圆形的容纳空间，容纳空间内设置有可拆卸的置放台，一对所述夹持座的侧面均安装有联动座，所述联动座上贯穿设置...

本技术提供一种光刻机自动对焦结构，对焦机构包括沿竖直方向设置在支撑组件上的升降组件设置在升降组件上的旋转组件、横向设置在旋转组件上的调角组件、设置在调角组件上的固定盘、以及设置在固定盘远离调角组件一端端面上对基片进行固定的固定组件；调角...

本技术公开了一种光刻机硅片取片机构，涉及光刻机配件领域，包括底座，所述底座的上方拆卸式连接有载台，还包括有可承载硅片的置放板，所述置放板的边缘处均固定连接有多个呈环形结构分布的限位耳，所述载台的表面开设有容纳限位耳置入的半圆槽。本技术在...

本发明公开了一种光刻机

本发明公开了一种激光直写式光刻机曝光聚焦系统，涉及光刻机曝光镜头技术领域，包括光学系统以及可接收光学系统所射出的光束的曝光基板，由所述光学系统射出至曝光基板的光束所组成的曝光光路中设置有光路调节结构

本发明涉及运动控制，具体涉及一种高精度二维运动系统的补偿方法，运动控制系统设定运动系统移动至理想坐标系内的期望坐标点，先判断期望坐标点落在理论标靶阵列LCS中的位置，再从应用补偿表中获取对应的变换矩阵MMS，利用变换矩阵MMS计算出期望...

本发明涉及PCB矢量图处理，具体涉及一种大型PCB矢量图的Web端处理方法，浏览矢量图文件时，采用不同的缩放级别将矢量图文件分割为像素图，形成不同缩放级别的图片矩阵，将图片矩阵加载至画布上并进行画布渲染；拖拽矢量图文件时，仅渲染局部矢量...

本发明公开了一种多波长激光混波照明光路结构，包括不少于两个激光器以及设置在激光器后部的透镜组，每一激光器发射出的激光均经过所述透镜组匀光放大后照射至同一曝光面上，并在所述曝光面上形成独立的放大的光斑；每一激光器后部均分别设置有一光棒，所...

本发明公开了一种DMD直写混波曝光方法，沿DMD扫描方向，将DMD分割成若干独立微镜区，相邻的独立微镜区之间不相交；将若干不同波长的入射光，分别照射至DMD上各独立微镜区内；各独立微镜区反射的不同波长入射光，随DMD扫描，依次照射至被感...

本发明公开了一种高效LED与激光光源的光路混光结构，包括具有一小孔的反射镜、激光器、LED光源和混光组件；所述激光器设置在所述反射镜背面且将发射出的激光由所述小孔内照射出；所述LED光源与所述反射镜之间设置有第一透镜组，所述LED光源发...