【技术实现步骤摘要】
一种多波长激光混波照明光路结构
[0001]本专利技术属于PCB光刻用照明系统领域，更具体的的说涉及一种多波长激光混波照明光路结构。
技术介绍
[0002]光刻照明系统是PCB光刻机上的核心组件，多种波长耦合的照明光路系统适用性更好。由于传统的接触式曝光机，采用的是传统的卤素灯或者汞灯作为照明光源，因其光谱范围较宽，所以对应的干膜感光范围也较宽，因此传统的干膜用于单一波长的激光，效率不高，且色泽度要差一些。为了将传统干膜用于激光直写曝光机上，需要组合不同波长的激光以达到或接近传统卤素灯或汞灯的光谱范围，常规的办法是将多路不同波长的激光耦合成一束，然后入射到照明光学系统中，由于光照能量过于集中，当激光器总功率非常高时，极易容易损坏光学元件。
技术实现思路
[0003]本专利技术的目的在于提供一种多波长激光混波照明光路结构，解决现有技术中在光刻时多波长的激光耦合后功率过大导致易损坏光学元件的问题。
[0004]本专利技术技术方案一种多波长激光混波照明光路结构，包括不少于两个激光器以及设置在激光器后部的透镜...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种多波长激光混波照明光路结构，其特征在于，包括不少于两个激光器以及设置在激光器后部的透镜组，每一激光器发射出的激光均经过所述透镜组匀光放大后照射至同一曝光面上，并在所述曝光面上形成独立的放大的光斑；每一激光器后部均分别设置有一光棒，所有光棒平行设置；激光器发射出的激光进入本激光器后部的光棒，由所述光棒的后截面照射出的激光照射至所述透镜组。2.根据权利要求1所述的一种多波长激光混波照明光路结构，其特征在于，所有激光器设置方向一致；激光器发射...
【专利技术属性】
技术研发人员：李文静，章广飞，王运钢，薛业保，
申请(专利权)人：安徽国芯光刻技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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