温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种多波长激光混波照明光路结构，包括不少于两个激光器以及设置在激光器后部的透镜组，每一激光器发射出的激光均经过所述透镜组匀光放大后照射至同一曝光面上，并在所述曝光面上形成独立的放大的光斑；每一激光器后部均分别设置有一光棒，所有光...
该专利属于安徽国芯光刻技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽国芯光刻技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。