本发明提供一种消毒方法。将被消毒体配置于真空容器内并将真空容器内减压（Ｓ１００）。判断是否到达了３Ｐａ（Ｓ１０２），如果已经到达，则将配置于真空容器与真空泵之间的断流阀关闭（Ｓ１０４）。向电极供给高频功率（Ｓ１０６），持续０．１秒钟地向...