一种采用复合压电柱的换能器、系统及其构造方法。在一个实施例中，本发明是用于产生声能的装置，包括：由压电材料制成的多个柱体，这些柱体以相互间隔的方式排列以便相邻柱体之间存在间隔；这些柱体具有宽度和在顶面和底面之间延伸的高度，其中，所述柱体...

一种用于在单晶片处理舱中通过在基板接触可旋转支承件的那些区域处提供毛细材料来干燥基板的装置和方法。毛细材料用毛细力吸取留在基板和支承件之间接触区域的任何液体，由此降低基板的边缘排除区并提高成品率。在一个方面，本发明的装置包括：含有夹具的...

本发明涉及干燥基片的装置及方法。发明的装置包括：在加工槽中用来支撑至少一个基片的物体支撑部件，加工槽中有一个或多个支撑部分含有毛细材料。本发明方法是在加工槽中，将湿基片与毛细材料接触除去湿基片中的液体。另一方面，本发明是一种在加工槽中干...

强超声波清洁装置构造成对一基底提供有效的清洁，而不对提供的基底造成损坏。该装置包括一强超声波探棒，一构造成激励探棒的变送器，以及一设置在变送器和探棒之间的传热元件。传热元件可构造成从变送器引导声能朝向探棒的特定区域，以便相对于浅角度入射...

一种用强超声波清洁一个或多个基片同时又能减少了声能对一个或多个基片的破坏的方法和系统。基片可支撑在操作室中，并且与清洁溶液相接触，该清洁溶液包括有二氧化碳溶解在其中的清洁液，二氧化碳溶解在清洁液中的量应使二氧化碳气体在操作室内的环境下处...

一种为声能源供电的系统和方法，它能使处理过程中对基板器件的损伤最少，同时提高处理效率和／或效果。该系统和方法利用这样的原理：使驱动声能源的电信号的振幅斜变和／或频率改变，由此导致作用于基板的结果所得的声能的振幅和频率的相应斜变和／或改变...