一种用于检测晶圆边缘缺口的装置，其包括一个打光组件，以及一个取相组件，所述打光组件包括一个环形底座，一个环形滑轨，一个设背光模组，一个晶圆台，以及一个发光体。本用于检测晶圆边侧缺口的装置通过设置所述背光模组，并设置一个环形滑轨，所述环形...