一种薄膜成膜装置，包括在同一真空室中的原料输送源，即溅射成膜源和反应气体输送源，使得这两种源对着底衬，其中抽空真空室的主排气口靠近这两个源中的反应气体输送源配置，该薄膜成膜装置还包括控制系统，该控制系统通过操作具有反应气体引入口和反应气...

一种偏压溅射薄膜成形方法，用来通过应用阴极电压与基片偏压的双电压形成薄膜，其中在其上仅应用所述双电压中的阴极电压的状态下形成不规则部分的基片上形成薄膜，并在改变所述基片偏压的同时执行溅射薄膜成形，以使形成在所述不规则部分侧壁与底部表面上...

一种阴极基板及其制造方法。该阴极基板包括在处理基板（１１）上依次层叠的阴极电极层（１２）、绝缘层（１４）和栅电极层（１５），在此绝缘层上形成的孔（１４ａ）的底部中设置发射极（Ｅ），同时在上述栅电极层中形成栅极孔开口部（１６）。此时，由具...

本发明提供一种泵构造简单且重量轻、中心轴附近的磁在径向及轴向上都为零、泵的到达压高的离子溅射泵。本离子溅射泵，其真空容器壁筒状部分的横截面形状作成凹凸形状，在该凹凸横截面形状筒状部分的外侧各凹部中朝着同一个磁极方向地分别设置具有同一形状...

本发明提供用油墨喷射用油墨、使用油墨喷射印刷机、形成平板显示器（ＦＰＤ）电极的方法。该方法由采用气体蒸发法使金属蒸汽与第１溶剂蒸汽接触，获得金属超细粒子分散液的第１工序、和在该分散液中加入作为低分子量的极性溶剂的第２溶剂，使金属超细粒子...

石墨纳米纤维的制作方法，是在形成石墨纳米纤维成长催化剂层的基板上导入原料气、采用ＣＶＤ法制作石墨纳米纤维的方法，其特征在于，形成具有规定膜厚的该催化剂层，然后，在该基板的催化剂层上形成整体膜厚受到控制的石墨纳米纤维层与非纤维层构成的石墨...

为提供一种以高精确性控制诸如光学薄膜之类的绝缘多层薄膜的薄膜厚度的方法，可以基于同一方法控制薄膜厚度的光学薄膜厚度控制装置和绝缘多层薄膜制造装置，和使用该控制装置或制造装置制造的绝缘多层薄膜。光学薄膜厚度控制装置包括：薄膜形成设备１５，...

为提供一种以高精确性控制诸如光学薄膜之类的绝缘多层薄膜的薄膜厚度的方法，可以基于同一方法控制薄膜厚度的光学薄膜厚度控制装置和绝缘多层薄膜制造装置，和使用该控制装置或制造装置制造的绝缘多层薄膜。光学薄膜厚度控制装置包括：薄膜形成设备１５，...

一种反扩散式氦探漏器及其运转方法。在进行初始起动使前部管线达到高真空之后进行等待测试时，对前部管线阀和前部泵，第１步，关闭前部管线阀后使前部泵停止运转；第２步，由于第１步而使分析管的压力上升，当其达到压力上升极限值时，使前部泵重新开始运...

在由多级罗茨型干式真空泵构成的主泵（２０）的主体（２１）内，分别设置由马达（２２）旋转驱动的一对转子Ｒ↓［１］、Ｒ↓［２］、Ｒ↓［３］、Ｒ↓［４］、Ｒ↓［５］以及Ｒ↓［６］。另外，在主体（２１）的左端上壁部设置与转子Ｒ↓［１］的转子室连...

一种等离子显示保护膜形成装置，在将保护膜形成于基板的成膜室内，分别设置基板输送机构、加热该基板的加热器、充填蒸镀材料的环形炉床、将电子束照射到充填于上述环形炉床的蒸镀材料使蒸镀材料蒸发并蒸镀到基板上的电子束枪；其特征在于：沿着与基板的输...

本发明提供一种高效的膜成形设备，能够校正膜厚度，从而注意膜厚度分布上的变化，并注意膜厚度在圆周上的分布，以及一种使用该膜成形设备形成薄膜的方法。该方法包括第一步骤，首先穿过闸门８中的开口８ａ形成占厚度预定百分比的薄膜，第二步骤，然后用一...

为提供一种以高精确性控制诸如光学薄膜之类的绝缘多层薄膜的薄膜厚度的方法，可以基于同一方法控制薄膜厚度的光学薄膜厚度控制装置和绝缘多层薄膜制造装置，和使用该控制装置或制造装置制造的绝缘多层薄膜。光学薄膜厚度控制装置包括：薄膜形成设备１５，...

一用于通过溅射一靶材在一设置在阴极对面并相对于阴极移动的基体上连续形成低反射率薄膜的方法，该阴极布置在一溅射室中，该靶材用于在基体上形成低反射率薄膜，此方法包括下列步骤：　　　　通过分别布置在阴极背面的两个磁控管磁路装置在布置在具有相同...

提供一种可在生产性、批量生产性上优异的薄膜制造装置以及制造方法，该薄膜制造装置再现了良好的膜厚分布、组成分布、成膜速率，同时可长期稳定地进行粒子数少的连续成膜。薄膜制造装置是从作为反应空间的反应室上部通过喷头将成膜气体导入到反应室内，在...

提供一种可在生产性、批量生产性上优异的薄膜制造装置以及制造方法，该薄膜制造装置再现根据成膜条件可进行温度控制的喷头、良好的膜厚分布、组成分布、成膜速率，同时，可长期稳定地进行粒子数少的连续成膜。其构成为，将喷头构造组装到成膜槽的上盖，通...

提供在生产性方面优良的卷绕式真空蒸镀方法及卷绕式真空蒸镀装置，该方法及装置可以在不使由塑料单层薄膜构成的基底薄膜产生热变形的状况下形成金属膜。通过配置电子束照射器２１，与此同时设置对辅助辊１８和筒式辊１４之间施加偏压的直流偏压电源２２，...

本发明提供具有氢透过性与耐氢脆化性的Ｎｉ－Ｔｉ－Ｎｂ系氢分离－精制用多相合金及该合金的制造方法，与该合金构成的氢分离－精制用金属膜，及该金属膜的制造方法。多相合金是担负氢透过性的相与担负耐氢脆化的相的复合相，由固溶Ｎｉ的ＮｂＴｉ相（氢透...

抗菌性高分子，其特征在于，由二氨基苯甲酸单体或含有卤素的二胺单体、和可与这些二氨基苯甲酸单体或含有卤素的二胺单体反应的单体的蒸镀聚合反应产物构成。

一种真空熔铸装置，它包括在真空下或者惰性气体介质中熔化含有稀土类元素的合金的熔化炉、对前述合金的熔融金属进行冷却并进行铸造的铸造装置，其特征在于，该真空熔铸装置由具有前述熔化炉的熔化室、具有前述铸造装置的铸造室构成，前述熔化室与前述铸造...