爱尔兰戈尔韦国立大学专利技术

爱尔兰戈尔韦国立大学共有1项专利

  • 切割基板的方法及装置
    公开了用于切割基板的方法和设备。在一种设置中,在基板的表面形成多个凹部。这样的凹部使得能够对由凹部应力集中的基板施加应力。集中的应力使基板沿着穿过凹部的切割线断裂。通过凹部的裂缝的扩展进行切割。
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