一种同轴型微波等离子体炬具备：主体（1），其具有由内侧的放电天线（2）及外侧的对置电极（3）构成的同轴构造；微波输入部（4），其设置于主体中的放电天线的基端侧；等离子体生成部（6），其设置于主体中的放电天线的前端（2a）侧，且与等离子体...

提供一种电抗可变电路以及具备该电路的阻抗匹配装置。阻抗匹配装置能以紧凑的结构进行高电压的通电，高速地进行阻抗的匹配，具备电抗可变电路。电抗可变电路具备：第一线路、包括与第一线路松耦合的第二线路的松耦合线路部和设置于第二线路以及接地间的电...

本发明提供一种能够由用户任意地设定所输出的高频电力的电力值的随时间推移而变化的图案的高频电源。本发明所涉及的高频电源(10A)具备：输出部(20)，经由阻抗匹配器(30)向负载(40)输出高频电力；数据存储部(13A)，存储由用户生成的...

本发明提供一种阻抗匹配装置，即使在负载的阻抗连续地发生变化的情况下，也能够在早期改善高频电源与负载之间的阻抗不匹配。本发明的阻抗匹配装置被设置于高频电源系统中，该高频电源系统构成为经由机械地变更常数的匹配器将高频电源的输出供给至负载，阻...

具备：外侧导体（１），其具有圆柱形状；圆筒状的放电管（３），其插入并固定于在外侧导体的一端面（４）侧形成的轴向的孔（２）内；同轴电缆（６），其一端从外侧安装在外侧导体的另一端面。在同轴电缆的一端具备与其内部导体（８）电连接的天线（９），...