一种湿化学腐蚀用夹具制造技术

技术编号:9213297 阅读:181 留言:0更新日期:2013-09-27 00:46
本实用新型专利技术公开了一种湿化学腐蚀用夹具,其包括:板部分以及与所述板部分相连的握持部分;所述板部分为矩形结构,在所述板部分的三条边上具有沿着相应侧边方向延伸的凸起,形成三面为凸起、一面为开口的芯片放置区域;其中,所述开口处为斜坡设计,且与所述开口相对侧的凸起上设置有固定部,所述握持部分通过所述固定部与所述板部分相连。其中,所述夹具由耐化学腐蚀材料制成。依照本实用新型专利技术的湿化学腐蚀用夹具,能够降低杂质离子的引入,同时又极大程度上降低了腐蚀工艺操作难度。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种湿化学腐蚀用夹具,其特征在于,包括:板部分以及与所述板部分相连的握持部分;所述板部分为矩形结构,在所述板部分的三条边上具有沿着相应侧边方向延伸的凸起,形成三面为凸起、一面为开口的芯片放置区域;其中,所述开口处为斜坡设计,且与所述开口相对侧的凸起上设置有固定部,所述握持部分通过所述固定部与所述板部分相连。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:宁提赵凯马涛梁宗久闫寒张鹏吴立明房炜
申请(专利权)人:中国电子科技集团公司第十一研究所
类型:实用新型
国别省市:

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