使用静电力的基板组件载具制造技术

一种便携式静电吸盘载具包括：支持架，具有电介质顶面；和双极电极，位于电介质顶面的下方。双极电极包括：正电极和与正电极电绝缘的负电极。以交替方式将正电极和负电极分布在与电介质顶面基本平行的平面内。本发明专利技术还提供了一种使用静电力的基板组件载具。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体领域，更具体地，涉及一种基板组件载具。
技术介绍
在集成电路的封装中，可以将管芯封装在层压基板上，该层压基板包括金属连接件，可以在层压基板的相对侧之间传递电信号。可以使用倒装芯片接合法将该管芯接合到层压基板的一侧上，并且实施回流，从而使互连管芯和层压基板的焊料凸块融化。层压基板使用可容易制成的材料。然而，这些材料易于由在焊料凸块的回流中所 使用的升高的温度产生翘曲。这种翘曲可能导致不规则连接和/或凸块裂缝，并且导致不良组件成品率。通常，为了减少层压基板的翘曲，可以使用夹具从两侧压挤层压基板。夹具可以包括下夹具和上夹具。上夹具通常具有在其中具有开口的网格图案，并且将层压基板夹置在下夹具和上夹具之间。通过位于上夹具中的开口露出层压基板的部分。通过开口将管芯接合在层压基板上。然而，夹具还带来了问题。例如，不能将上夹具所占用的层压基板的区域用于接合管芯，并且因此造成浪费。此外，传统夹具需要具有某一厚度，该夹具将层压基板保持在适当位置中。因此，上夹具可以从侧面到达管芯和层压基板。因为需要从管芯的侧面施加底部填充剂，所以对于诸如将底部填充剂施加在管芯和层压基板之间的空间中的某一工艺步骤，这种方式产生问题。此外，夹具的使用需要人为介入，并且在例如接合、助焊剂清洁、底部填充剂施加、烘焙、测试等的不同封装阶段可能需要具有不同网格大小的几套夹具。这可能导致将人为误差引入该工艺。因此，涉及层压基板的使用的工艺步骤难以实现自动化。
技术实现思路
为了解决现有技术所存在的缺陷根据本专利技术的一个方面，提供一种器件，包括便携式静电吸盘载具，包括支持架包括电介质顶面；以及双极电极，位于所述电介质顶面的下方，其中，所述双极电极包括正电极和与所述正电极电绝缘的负电极，并且其中，所述正电极和所述负电极以交替图案分布在与所述电介质顶面基本平行的平面内。在该器件中，所述便携式静电吸盘载具被完全密封，并且所述便携式静电吸盘载具包括电感器，用于将电力无线接入所述便携式静电吸盘载具中；信号接收器，被配置为从所述便携式静电吸盘载具的外部接收外部信号，并且其中，所述便携式静电吸盘载具被配置为，响应于所述外部信号，对所述双极电极进行充电和放电；嵌入式可充电电池，被配置为响应于所述外部信号，激活对所述双极电极进行充电和放电的步骤。在该器件中，所述便携式静电吸盘载具进一步包括引脚插孔，连接至所述双极电极，并且其中，所述器件进一步包括充电站，被配置为将电荷提供给所述双极电极，其中，所述充电站包括引脚，与所述引脚插孔相配合；以及放电站，被配置为对所述双极电极进行电荷放电，其中，所述引脚插孔包括正极引脚插孔，连接至所述正电极；负极引脚插孔，连接至所述负电极，和接地引脚插孔，连接至电接地。根据本专利技术的另一方面，提供了一种器件，包括静电吸盘载具，被配置为将电介质部件吸附在所述静电吸盘载具的顶面上，其中，所述静电吸盘载具包括完全密封支持架包括电介质顶面；电极，位于所述电介质顶面的下方并且分布在基本上与所述电介质顶面平行的平面内；以及无线电源接收器，被配置为将电力无线接入所述静电吸盘载具中。在该器件中，所述电极包括双极电极，所述双极电极包括正电极和与所述正电极电绝缘的负电极，并且其中，以交替图案分布所述正电极和所述负电极；或者所述无线电源接收器包括电感器，被配置为与外部电感器一起形成变压器，以及其中，通过所述变压器接收所述电力。在该器件中，所述静电吸盘载具进一步包括信号接收器，被配置为从所述静电吸 盘载具的外部接收外部信号，并且其中，所述静电吸盘载具被配置为响应于所述外部信号，对所述电极进行充电和放电，其中，所述信号接收器包括光学信号接收器或者电磁信号接收器，所述静电吸盘载具进一步包括嵌入式可充电电池，连接至所述无线电源接收器。根据本专利技术的又一方面，提供了一种方法，包括将含电介质部件加载在静电吸盘载具上；对所述静电吸盘载具充电，从而将所述含电介质部件吸附在所述静电吸盘载具上；传送作为集成单元的所述静电吸盘载具和吸附在所述静电吸盘载具上的所述含电介质部件；以及使所述静电吸盘载具放电以将所述含电介质部件从所述静电吸盘载具上去吸盘。在该方法中，所述含电介质部件包括层压基板，并且其中，所述方法进一步包括在将所述含电介质部件吸附在所述静电吸盘载具上时，将管芯接合在所述层压基板上，所述方法进一步包括使在所述管芯和所述层压基板之间的焊料凸块回流，其中，在所述回流步骤期间，将所述含电介质部件吸附在所述静电吸盘载具上。在该方法中，对所述静电吸盘载具充电的步骤包括将引脚插入所述静电吸盘载具中；以及通过所述弓I脚将电荷提供给位于所述静电吸盘载具中的电极。在该方法中，对所述静电吸盘载具充电的步骤包括将电力无线提供给所述静电吸盘载具，从而对位于所述静电吸盘载具中的电极进行充电，所述方法进一步包括将信号提供给所述静电吸盘载具，从而激活充电步骤，其中，通过选自基本上由电磁信号接收器和光学信号接收器所构成的组的接收器来接收所述信号；或者所述方法进一步包括将电力和激活信号无线提供给所述静电吸盘载具，从而使位于所述静电吸盘载具中的电极进行放电。附图说明为了更好地理解实施例及其优点，现在将结合附图所进行的以下描述作为参考，其中图IA示出了静电吸盘载具和通过静电力吸附(chuck)在静电吸盘载具上的含电介质封装部件的示意图；图IB示出了位于静电吸盘载具中的双极电极的顶视图；图IC示出了在含电介质封装部件的底部表面处所积累的局部电荷的顶视图；图2示出了用于对静电吸盘载具充电的充电站的电路图；图3示出了用于使静电吸盘载具放电的放电站的电路图；图4示意性地示出了完全密封的静电吸盘载具；以及图5至图7示意性地示出了封装工艺，其中，将静电吸盘载具用于吸附层压基板。具体实施例方式下面，详细讨论本专利技术的实施例的制造和使用。然而，应该理解，本实施例提供了许多可以在各种具体环境中实现的可应用的专利技术概念。所讨论的具体实施例仅仅示出制造和使用本专利技术的具体方式，而不用于限制本公开的范围。根据实施例提供了新型静电吸盘载具和形成该静电吸盘载具的方法。论述了该实施例的变型例和操作。在整个附图和所描述的实施例中，将相同的参考标号用于指 定相同的元件。图IA示出了静电吸盘载具20的示意图，其中，可以将该静电吸盘载具用于吸附和运送含电介质部件40。可以通过静电力将含电介质部件40吸盘在静电吸盘载具20上。在实施例中，静电吸盘载具20为便携式静电吸盘载具。在可选实施例中，可以将静电吸盘载具20固定在生产工具的平台上(未示出)。在实施例中，含电介质部件40为层压基板，该层压基板可以包括金属焊盘42，位于含电介质部件40的相对侧上；和金属连接件44，连接至金属焊盘42。将金属连接件44通过位于含电介质部件40中的电介质材料46进行布线。尽管没有示出，但是含电介质部件40可以包括焊料凸块，诸如球栅阵列(BGA)球和微焊料凸块。在可选实施例中，含电介质部件40可以为用在集成电路制造工艺中的其他含电介质部件，诸如，插入件或者载具晶圆，其可以为玻璃晶圆。静电吸盘载具20包括支持架24，该支持架基本上可以密封内部元件以防止诸如水分和化学品的外部物质进入。支持架24可能或者不能包括引脚插孔26 (标示为26A、26B、以及26C)，可以将本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
2011.03.10 US 13/045,3651.一种器件，包括 便携式静电吸盘载具，包括 支持架包括电介质顶面；以及 双极电极，位于所述电介质顶面的下方，其中，所述双极电极包括正电极和与所述正电极电绝缘的负电极，并且其中，所述正电极和所述负电极以交替图案分布在与所述电介质顶面基本平行的平面内。2.根据权利要求I所述的器件，其中，所述便携式静电吸盘载具被完全密封，并且 所述便携式静电吸盘载具包括电感器，用于将电力无线接入所述便携式静电吸盘载具中； 信号接收器，被配置为从所述便携式静电吸盘载具的外部接收外部信号，并且其中，所述便携式静电吸盘载具被配置为，响应于所述外部信号，对所述双极电极进行充电和放电； 嵌入式可充电电池，被配置为响应于所述外部信号，激活对所述双极电极进行充电和放电的步骤。3.根据权利要求I所述的器件，其中，所述便携式静电吸盘载具进一步包括引脚插孔，连接至所述双极电极，并且其中，所述器件进一步包括 充电站，被配置为将电荷提供给所述双极电极，其中，所述充电站包括引脚，与所述引脚插孔相配合；以及 放电站，被配置为对所述双极电极进行电荷放电， 其中，所述引脚插孔包括正极引脚插孔，连接至所述正电极；负极引脚插孔，连接至所述负电极，和接地引脚插孔，连接至电接地。4.一种器件，包括 静电吸盘载具，被配置为将电介质部件吸附在所述静电吸盘载具的顶面上，其中，所述静电吸盘载具包括 完全密封支持架包括电介质顶面； 电极，位于所述电介质顶面的下方并且分布在基本上与所述电介质顶面平行的平面内；以及 无线电源接收器，被配置为将电力无线接入所述静电吸盘载具中。5.根据权利要求4所述的器件，其中，所述电极包括双极电极，所述双极电极包括正电极和与所述正电极电绝缘的负电极，并且其中，以交替图案分布所述正电极和所述负电极；或者 所述无...

【专利技术属性】
技术研发人员：萧义理，余振华，刘重希，黄见翎，黄英叡，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：