温度控制系统技术方案

在行/列方向上经由开关元件配置多个加热器而实现了布线的简化的温度控制系统中，缓解任意加热器中的来自其他加热器的漏电流的影响。将以多行/多列配置在加热板(7)上的多个加热器(8i、j)按每一行、每一列公共连接到布线(9i、10j)。将每行的布线(9i)分别经由开关元件(4i)公共连接到交流电源(6)的一极侧。将每列的布线(10j)分别经由开关元件(5j)连接到交流电源(6)的另一极侧。通过最适合周期控制对目标加热器(8i、j)输出触发脉冲输出(触发指令)。在更新目标加热器(8i、j)的最适合周期控制中的输出误差累积(∑i、j(n))时，从输出误差累积(∑i、j(n))减去干扰操作量(MVIi、j(n))。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及对放置被加热物并进行加热处理的加热板配备了以多行/多列通过布线相互连接的多个加热器的温度控制系统，更具体地，涉及在上述温度控制系统中能够抑制以下情况的专利技术向成为目标的加热器的驱动电流经由布线作为漏电流流到其他的加热器从而该其他加热器发热，该发热干扰到目标加热器的温度控制。
技术介绍
以往，例如，在将被加热物放置到加热板上而进行加热处理那样的温度控制中，通过以下来执行温度调节器基于来自配设在加热板上的温度传感器的检测温度，对配设在加热板的加热器的通电进行控制，以使加热板的温度成为设定温度(参照专利文献1)。在这样的温度控制系统中，对加热板区域按多行/多列进行区域划分，并且在这些各区域的每一个配设加热器和温度传感器，在这些区域的每个中对加热板进行温度控制的情况下，各加热器的布线和各温度传感器的信号线的布线数目增大。因此，本专利技术人们在(日本)特愿2008-332717(平成20年12月沈日申请)中提供了一种在将加热板划分成行/列方向的多个区域，并对这些各区域的每一个配置加热器和温度传感器的情况下，实现了这些布线的简化的温度控制系统。专利文献专利文献1 (日本)特开2001-274069号公报本专利技术人们所提供的上述温度控制系统设为以下的结构而能够简化在使用多个加热器时的布线对以多行/多列配置在加热板上的多个加热器，按各个行通过布线公共连接各个行的加热器，按各个列通过布线公共连接各个列的加热器，而且将各行布线经由开关元件、将各列布线经由开关元件分别公共连接到交流电源的各极。但是，存在以下的问题在以多行/多列配置在上述加热板上的多个加热器中，对于作为控制对象的目标加热器，使驱动电流流到对应于其的行侧和列侧布线的情况下，该驱动电流的一部分经由布线流到其他的加热器，除了上述目标加热器被驱动而发热之外， 多个其他的加热器也被驱动而发热，对目标加热器的温度控制带来电干扰，其结果影响加热板整体的温度控制。
技术实现思路
因此，本专利技术应解决的课题在于，在将多个加热器以多行/多列分别配置在作为控制对象的一例的加热板上，并简化布线，从而对这些各加热器进行驱动控制的温度控制系统中，向加热器的驱动电流作为漏电流流到其他加热器的状态下，能够尽可能最小限度地抑制向该加热器的基于上述漏电流的电干扰(干扰操作量)。本专利技术的温度控制系统包括多个加热器，以多行/多列配置在控制对象上，按每一行、每一列连接到公共的布线，并且将每行的布线分别经由响应于加热器触发(点弧)指令的元件而公共连接到电源一极侧，此外将每列的布线分别经由响应于加热器触发指令的4元件而连接到电源另一极侧；以及控制器，基于用于上述控制对象的温度控制而输入的操作量，对上述多个加热器进行驱动控制，其特征在于，上述控制器包括输出误差累积单元，对各加热器，在电源的至少每半个周期，根据上述操作量输入、和用于基于该操作量输入对加热器的驱动进行许可而预先设定的阈值，计算输出误差，并且对算出的输出误差进行累积；判定单元，判定累积输出误差是否为上述阈值以上；以及输出控制单元，基于判定单元的判定结果将加热器触发指令输出到对应的元件，上述输出误差累积单元在更新输出误差累积时，从上述更新值减去经由上述加热器的布线各加热器从其他的加热器中流动的电流受到的干扰操作量。上述电源不限定于交流电源。本专利技术的优选方式是，上述控制器还包括干扰操作量计算单元，使用表示经由加热器的布线各加热器从其他的加热器中流动的电流受到的干扰程度的相关信息，计算干扰操作量。本专利技术的优选方式是，上述控制器还包括最大输出误差加热器选择单元，通过参照输出误差累积单元从而选择累积输出误差最大的加热器；以及最小干扰加热器选择单元，选择干扰操作量计算单元中的干扰操作量最小的加热器，判定单元对上述所选择的输出误差最大的加热器判定输出误差累积是否为阈值以上，如果上述判定的结果输出误差累积为阈值以上，则输出控制单元还判定该加热器的耗电是否为限制电力以下，若耗电为限制电力以下，则将加热器触发指令输出到对应于该加热器的元件，接着判定单元针对没有被最大输出误差加热器选择单元选择的加热器，对由最小干扰加热器选择单元选择的加热器，判定输出误差累积是否为阈值以上，如果判定的结果输出误差累积为阈值以上，则输出控制单元还判定该加热器的耗电是否为限制电力以下，在判定为耗电为限制电力以下时，各判定单元和输出控制单元接着在该时刻以未选择的加热器为对象，反复执行对于由最小干扰加热器选择单元选择的加热器的上述动作， 将加热器触发指令输出到对应于该反复执行的结果被选择的加热器的元件。本专利技术的更加优选的方式是，输出控制单元将加热器触发指令输出到对应于所选择的输出误差最大的加热器的元件之后，最小干扰加热器选择单元针对与该输出误差最大的加热器同一行或者同一列的加热器，选择干扰操作量最小的加热器。本专利技术的更加优选的方式是，干扰操作量计算单元根据使用在对应于上述多个加热器的其中一个加热器的元件触发时所流的最大加热器电流、各加热器的目标加热器电流以及上述相关信息而计算出的各加热器电流，计算上述干扰操作量。根据本专利技术，对通过将多个加热器在行/列方向上配置到控制对象从而能够实现布线的简化的温度控制系统进行最适合周期控制的情况下，当更新各加热器的最适合周期控制中的输出误差累积时，从该更新值减去从向其他的加热器的漏电流受到的干扰操作量，因此能够对上述各加热器抑制干扰操作量而进行最适合周期控制，使得能够活用上述温度控制系统的布线简化。附图说明图1是表示本专利技术的实施方式的温度控制系统整体的概略结构的图。5图2是详细地表示图1的最适合周期控制单元的结构的图。图3是表示用于说明最适合周期控制的动作的流程图的图。图4 (a) (d)是表示对于加热器8-11的加热器驱动电流中向其他加热器的漏电流的比例、输出电流期望值、干扰操作量MVIi、j(n)的计算的图。图5(a) (d)是表示对于加热器8-11、8_32的加热器驱动电流中向其他加热器的漏电流的比例、输出电流期望值、干扰操作量MVIi、j (η)的计算的图。图6是表示用于从电干扰少的加热器8i、j进行选择的流程图的图。图7是表示用于从同一行、同一列的加热器8i、j进行选择的流程图的图。图8是表示用于从同一行、同一列的加热器8i、j进行选择的更简化的流程图的图。标号说明1温度控制系统2温度调节器3控制单元4-1、4-2、4-3行方向开关元件5-1、5-2、5_3列方向开关元件6交流电源7加热板8-11 8-33 加热器具体实施例方式以下，参照所添加的附图，对本专利技术的实施方式的温度控制系统进行说明。图1中与该温度控制系统的概略结构一同表示了配设在作为控制对象的加热板上的多个加热器的布线结构。在图1中，1为温度控制系统整体，2为温度调节器，3为控制器，4-1、4-2、4-3(代表时为4i)为行方向的各行的开关元件(附有零交叉功能的SSR)， 5-1、5-2、5-3(代表时为5j)为列方向的各列的开关元件(附有零交叉功能的SSR)，6为交流电源，7为作为控制对象的一例的俯视矩形的加热板，8-11 8-33(代表时为8i、j)为将加热板7分割成多行/多列的区域并在该各分割区域上配置的加热器。这些各分割区域中还配置了在图1中省略图示的温度传感器。温本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种温度控制系统，包括：多个加热器，以多行／多列配置在控制对象上，按每一行、每一列连接到公共的布线，并且将每行的布线分别经由响应于加热器触发指令的元件而公共连接到电源一极侧，此外将每列的布线分别经由响应于加热器触发指令的元件而连接到电源另一极侧；以及控制器，基于用于所述控制对象的温度控制而输入的操作量，对所述多个加热器进行驱动控制，所述温度控制系统的特征在于，所述控制器包括：输出误差累积单元，对各加热器，在所述电源的至少每半个周期，根据所述操作量输入、和用于基于该操作量输入对加热器的驱动进行许可而预先设定的阈值，计算输出误差，并且对算出的输出误差进行累积；判定单元，判定所述累积输出误差是否为所述阈值以上；以及输出控制单元，基于所述判定单元的判定结果将加热器触发指令输出到对应的元件，所述输出误差累积单元在更新输出误差累积时，从所述更新值减去经由所述加热器的布线各加热器从其他的加热器中流动的电流受到的干扰操作量。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：惠木守，南野郁夫，
申请(专利权)人：欧姆龙株式会社，
类型：发明
国别省市：JP