【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种金属电镀阴极旋转装置,由驱动器、上联轴器、下联轴器、伸缩连杆、石墨电刷、阴极夹具、机座和基板构成,其特征在于:所述的驱动器固定在所述的机座上,机座设置在所述的基板上,驱动器的输出轴与水平面呈0到90度之间的夹角,驱动器的输出轴与所述的上联轴器连接,所述的下联轴器与上联轴器连接,下联轴器与上联轴器之间设置有绝缘板,所述的石墨电刷通过刷座与下联轴器接触,所述的伸缩连杆的上端与下联轴器连接,伸缩连杆的下端与所述的阴极夹具固定连接,石墨电刷与阴极夹具之间设置有电连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:王振荣,黄利松,黄春杰,
申请(专利权)人:上海新阳半导体材料股份有限公司,
类型:实用新型
国别省市:31[中国|上海]
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