输送系统技术方案

本发明专利技术提供一种可以抑制输送绝缘体工件时的带电的输送系统以及输送带装置。输送系统（１００）是将玻璃基板（Ｗ）载置于托盘（１）进行输送的输送系统，具备辊（２５）和托盘（１）。辊（２５）在输送方向上排列配置多个。托盘（１）载置绝缘性的玻璃基板（Ｗ）。而且，在托盘（１）和辊（２５）中至少双方接触的接触部（外侧凸缘（１１）及辊（２５））具有导电性并且接触部接地。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及输送绝缘性工件的输送系统。
技术介绍
在例如薄型显示装置的制造工序等工序中，需要输送以玻璃基板为 代表的绝缘性物品(工件)的技术。并且，输送此类工件的装置， 一般 可以使用在输送方向上排列了多个辊的传送带装置。当在传送带装置中输送玻璃基板时，有时会随着与辊的摩擦在基板 表面产生静电。在上述情况下，有时空气中的灰尘和垃圾(所谓的粒子) 附着于基板表面或者基板电路产生缺陷。以往为了解决上述的问题而提出有对基板进行除电的技术。例如在 专利文献l中辊的至少与基板接触的部分由导电性柔软的部件形成，还 将导电性柔软材料接地。专利文献'l:日本特开2002 - 274642号>^才艮然而，上述以往的传送带装置具有如下所示的问题。即，即使使用导电性的辊也仅能对辊和基板接触部分除电。即，除 电的程度不充分，因此无法避免上述问题。另外，近年玻璃基板朝大型化发展，因此其有可能进一步增加带电量。
技术实现思路
本专利技术是解决上述以往课题的，其目的在于提供一种可以抑制输送 绝缘体工件时的带电的输送系统。技术方案1中所述的输送系统是输送绝缘性工件的输送系统，具备托盘和多个辊。托盘载置工件。多个辊为输送托盘而排列并配置于输送 方向。在辊和托盘中至少双方接触的接触部具有导电性。接触部接地。在上述系统中，在输送托盘时，将托盘和辊的摩擦产生的静电更可 靠地放电。即，抑制输送绝缘性工件时的带电。其结果是，例如难于发 生粒子被吸引到工件上等问题。技术方案2所述的输送系统中，在技术方案l的基础上，托盘是由 导电性材料形成的。在上述系统中，由于托盘是由导电性材料而形成的，因此能够将在 辊直接接触部分以外蓄积的静电也进行放电。技术方案3所述的输送系统，在技术方案1或2的基础上，辊是由 含有规定量的导电性材料的树脂形成的。在上述系统中，使用树脂制的辊，因此在输送时不易损伤托盘。技术方案4所述的输送系统，在技术方案3的基础上，辊含有1~ 50wt。/。的导电性材料。在上述系统中，可以充分地确保为抑制工件的带电量而辊所需要的 导电性。技术方案5中所述的输送系统，在技术方案4的基础上，辊含有1 ~ 30wt。/。的导电性材料。在上述系统中，可以充分地确保为抑制工件的带电量而辊所需要的 导电性。根据本专利技术涉及的输送系统，能够抑制输送绝缘体工件时的带电。 附图说明图l是本专利技术一实施方式的输送系统的外观图。 图2本专利技术一实施方式的输送系统的横剖视图。4图3是图l及图2所包含的辊周边的放大剖视图。图4是由图1的输送系统输送的输送托盘的外观图。图5是由图1的输送系统输送的输送托盘的俯视图。图6是利用以往输送方法输送玻璃基板情况下的带电电位的测量结果。图7是表示进行图6的测量时的速度曲线(无加减速度)的曲线图。图8是表示进行图6的测量时的速度曲线(有加减速度)的曲线图。图9是利用以往输送方法输送各种输送媒介情况下的带电电位的测 量结果。图10的(a)是表示进行图9的测量时SUS托盘的速度曲线的曲线 图，图10的(b)是表示进行图9的测量时铝托盘的速度曲线的曲线图。图ll是改变托盘及辊的材质来测量情况下的带电电位的测量结果。图12是将玻璃基板载置于铝托盘来输送情况下的带电电位的测量 结果。图13是表示进行图12的测量时的速度曲线(15m/min有加减速度) 的曲线图。图14是表示进行图12的测量时的速度曲线(30m/min有加减速度) 的曲线图。图15是表示进行图12的测量时的速度曲线(45m/min有加减速度) 的曲线图。图16是表示进行图12的测量时的速度曲线(45m/min无加减速度) 的曲线图。图17是本专利技术另一实施方式中的辊周边的放大剖视图附图文字l...输送托盘(托盘)；2…外框；2a…框部件；4…横条； 4a…载置销；ll...外侧凸缘(接触部)；12…内侧凸缘；13…倾斜部；20... 输送带；21…支承框；21a…主体；21b…支承腿；25…辊(接触部)；26… 轴；100...输送系统。具体实施例方式关于本专利技术实施方式之一的输送系统100，利用图1~图5说明如下。整体构成如图1及图2所示，输送系统100是将薄板状工件载置于输送托盘 l(以下将记为托盘1)且沿着输送路径输送到规定位置的装置。利 用本实施方式的输送系统100输送的薄板状工件，例如有用于电子显示 装置(液晶显示器和等离子显示器等)的板状工件、用于有机EL的树 脂板等。输送带20:输送带20如图1及图2所示具备支承框21、辊25及驱动装置(未 图示)。支承框21是由导电性材料形成的，并且具有收纳辊25的驱动力传 递机构的主体21a、以及将主体21a支承于地面上方的支承腿21b。将辊25沿着输送方向配置多个。具体而言，辊25是由一对沿着输 送方向配置的辊组构成的。将各个辊25通过导电性的轴26安装于主体 21a。轴26借助配置在主体21a内的轴承(未图示)可旋转地支承，并 且还与配置在主体21a内的驱动装置(未图示)连结。辊25是由加碳 的MC尼龙形成的。在本实施方式中，含有1 50wt。/。的碳黑，因此辊 25可以确保规定的导电性。输送托盘1:图4是表示输送托盘1的一个实施方式的构成的立体图，图5是托盘1的俯视图。托盘l用于栽置并输送薄板状工件。托盘l主要具备矩形形状的 外框2以及多个架设在外框2相对置的框部件之间的横条4。另外，这 里使用玻璃基板W作为薄板状工件进行说明。外框2是由四根框部件2a构成的。在本实施方式中，框部件2a使用具有一定板厚的铝制挤压件，框部件2a是由两根长边框部件和两根短 边框部件构成的。框部件2a具备外侧凸缘(接触部)11、以及形成在比外侧凸缘 11高的位置上的内侧凸缘12，并且在外侧凸缘11和内侧凸缘12之间 设置有倾斜部13。内侧凸缘12从倾斜部13的上端部向内侧延伸，外侧 凸缘11从倾斜部13的下端部向外侧延伸。倾斜部13按照在形成外框2 时向下方扩展的形状设定角度。横条4在外框2相对置的框部件2a之间架设多条，并且构成玻璃 基板W的载置部。横条4可以使用具有一定板厚的铝制挤压件。横条4具有用于支承玻璃基板W的多个载置销4a。载置销4a是由 耐磨损性高的聚醚醚酮(PEEK)形成的，即使反复搭载玻璃基板W基 本上也不产生因磨损带来的粉尘，因而不污染玻璃基板W。另外，由于 和玻璃基板W的接触面较小，因此能够抑制托盘1和玻璃基板W的摩 擦或因剥离引起的带电。当用输送带20输送托盘1时，如图1所示将托盘1的左右两侧放 置在辊25的各辊组上。更具体而言，如图3所示将托盘1的外侧凸缘 11放置在辊25上。在上述状态下，若利用未图示的驱动装置来旋转辊25,则托盘l在 多个辊25上输送。支承框21在上述构造中通过支承腿21b接地。由此，辊25通过轴 26及支承框21接地。另外，托盘1也被载置在辊25上，因此借助辊 25、轴26及支承框21而接地。通过上述接地构造，可以抑制因输送托盘1和辊25时接触而引起的带电。在这样的系统中，托盘l是由导电性材料形成的，因此也可以将辊 25直接接触部分以外蓄积的静电进行放电。在这样的系统中，使用树脂制的辊25，因此输送时不易损伤托盘。实施例1:为了确认在本专利技术的输送系统100中的绝缘性工件的带电抑制效 果，针对下本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种输送系统，其是输送绝缘性工件的输送系统，其特征在于，具备：　载置上述工件的托盘；以及　多个辊，其为了输送上述托盘而排列并配置于输送方向，　在上述辊和上述托盘中至少双方接触的接触部具有导电性，　上述接触部接地。

【技术特征摘要】
JP 2008-2-4 2008-0244351. 一种输送系统，其是输送绝缘性工件的输送系统，其特征在于，具备载置上述工件的托盘；以及多个辊，其为了输送上述托盘而排列并配置于输送方向，在上述辊和上述托盘中至少双方接触的接触部具有导电性，上述接触部接地。2. 根据权利要求l所述的输送系统...

【专利技术属性】
技术研发人员：清水平涉，中西秀明，
申请(专利权)人：村田机械株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]