【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种用于规划利用两个成像模态对检查对象进行组合检查的方法,其中在检查对象的至少两个区域中实施测量,所述方法包括如下的方法步骤: -规划第一模态的至少一个测量方案(101,103,105,107,109),该第一模态包括至少一个在第一区 域中的测量(103a-109b)和至少一个在第二区域中的测量(103a-109b), -规划第二模态的至少一个测量方案(101,103,105,107,109),该第二模态包括至少一个在第一区域中的测量(103a-109b),以及 -通过如下地安排测量(103a-109b)自动建立组合的测量流程:在考虑在测量(103a-109b)之间要实施的对模态的准备的条件下,该测量流程的实施占用尽可能少的时间。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员:拉尔夫格里克,安妮特冈布雷赫特,多罗西娅劳克斯,黛安娜马丁,迈克米勒,卡斯滕普林兹,
申请(专利权)人:西门子公司,
类型:发明
国别省市:DE[德国]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。