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一种用于规划利用两个成像模态对检查对象进行组合检查的方法，其中在检查对象的至少两个区域中实施测量，所述方法包括如下的方法步骤：规划第一模态的至少一个测量方案（１０１，１０３，１０５，１０７，１０９），该第一模态包括至少一个在第一区域中的测量...
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