【技术实现步骤摘要】
一种光纤级波导芯片多输出耦合装置
本技术涉及集成光学波导芯片耦合
技术介绍
光纤波导耦合技术主要用于解决集成光电子芯片上的光信号同外部光信号互连的问题,也是光电子芯片封装的关键技术。双通道光器件同外部实现光交互是其中的一项重要应用,由于要实现双端口的同时对准耦合,端口的耦合误差会形成积累,难度高于单端口耦合。传统的双通道光器件耦合多用光纤阵列进行耦合,两根光纤以固定的间距排列封装,可调整的自由度较少,耦合损耗较大。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种光纤级波导芯片多输出耦合装置,可调整的自由度较多,耦合损耗较小。实现上述目的的技术方案是:一种光纤级波导芯片多输出耦合装置,包括:光学平台;安装在所述光学平台上,用于固定波导芯片并调整波导芯片位置的芯片固定装置;以所述芯片固定装置为中心成品字形布置安装在所述光学平台上,用于实现锥头光纤-波导芯片-锥头光纤的耦合双输出检测的耦合系统;以及一方面用于吸附波导芯片,另一方面用于吸附锥头光纤的真空吸附系统。优选的,还包括:安装在所述光学平台上,用于在耦合过程中实时观测锥头光纤及波导芯片在水平方向和垂直方向上的位置匹配状况的成像系统。优选的,所述芯片固定装置包括:用于放置波导芯片,表面开设有多个气孔,内部与所述真空吸附系统连通的芯片座;用于固定所述芯片座的固定座;用于固定所述固定座,并调整所述固定座角度的角度分度盘;用于固定所述角度分度盘,并调整所述角度分度 ...
【技术保护点】
1.一种光纤级波导芯片多输出耦合装置,其特征在于,包括:/n光学平台(101);/n安装在所述光学平台(101)上,用于固定波导芯片并调整波导芯片位置的芯片固定装置(200);/n以所述芯片固定装置(200)为中心成品字形布置安装在所述光学平台(101)上,用于实现锥头光纤-波导芯片-锥头光纤的耦合双输出检测的耦合系统(300);以及/n一方面用于吸附波导芯片,另一方面用于吸附锥头光纤的真空吸附系统。/n
【技术特征摘要】
1.一种光纤级波导芯片多输出耦合装置,其特征在于,包括:
光学平台(101);
安装在所述光学平台(101)上,用于固定波导芯片并调整波导芯片位置的芯片固定装置(200);
以所述芯片固定装置(200)为中心成品字形布置安装在所述光学平台(101)上,用于实现锥头光纤-波导芯片-锥头光纤的耦合双输出检测的耦合系统(300);以及
一方面用于吸附波导芯片,另一方面用于吸附锥头光纤的真空吸附系统。
2.根据权利要求1所述的光纤级波导芯片多输出耦合装置,其特征在于,还包括:安装在所述光学平台(101)上,用于在耦合过程中实时观测锥头光纤及波导芯片在水平方向和垂直方向上的位置匹配状况的成像系统。
3.根据权利要求1所述的光纤级波导芯片多输出耦合装置,其特征在于,所述芯片固定装置(200)包括:
用于放置波导芯片,表面开设有多个气孔,内部与所述真空吸附系统连通的芯片座(205);
用于固定所述芯片座(205)的固定座(204);
用于固定所述固定座(204),并调整所述固定座(204)角度的角度分度盘(203);
用于固定所述角度分度盘(203),并调整所述角度分度盘(203)在空间直角坐标系中三个方向位置的第一三轴调整平台(202);以及
用于固定所述第一三轴调整平台(202),并固定安装在所述光学平台(101)上的第一底座(201)。
4.根据权利要求3所述的光纤级波导芯片多输出耦合装置,其特征在于,所述耦合系统包括:位于所述芯片固定装置(200)右侧的右侧耦合装置,以及位于所述芯片固定装置(200)左侧并前后对称布置的两个左侧耦合装置;
所述右侧耦合装置包括:
与锥头光纤固定相连的光纤连接轴(305);
用于固定所述光纤连接轴(305)的连接座(304);
用于固定连接所述连接座(304)的连接平台(303);
用于固定所述连接平台(303),并调整所述连接平台(303)在空间直角坐标系中三个方向位置的第二三轴调整平台(302);以及
用于固定所述第二三轴调整平台(302),并安装在所述光学平台(101)上的第二底座(301);
所述左侧耦合装置包括:
安装在所述光学平台(101)上的第三底座(306);
固定在所述第三底座(306)上,用于调节十二个自由度的六轴调整平台(307);以及
安装在所述六轴调整平台(307)上,由所述六轴调整平台(307)调节十二个自由度,并且内部与所述真空吸附系统连通的锥头光纤吸附座(308);
其中,两个所述锥头光纤吸附座(308)相对并各自吸附一个锥头光纤,两个锥头光纤平行;
两个所述锥头光纤吸附座(308)左侧的所述光学平台(101)上固定有用于支撑两个所述锥头光纤吸附座(308)所吸附的两个锥头光纤的光纤支撑座(311)。
5.根据权利要求4所述的光纤级波导芯片多输出耦合装置,其特征在于,所述锥头光纤吸附座(308)开设有...
【专利技术属性】
技术研发人员:冯吉军,庄山庆,陈剑,
申请(专利权)人:苏州科沃微电子有限公司,上海理工大学,
类型:新型
国别省市:江苏;32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。