一种用漏孔法绘制压差与泄漏量关系曲线的方法技术

一种用漏孔法绘制压差与泄漏量关系曲线的方法，其特征在于：使用带容积漏孔器在密封品检漏装置上进行，其实施步骤如下：在放置被测件的密封容器上接入带容积漏孔器；根据所需检测范围设置检测点，用不同漏率的带容积漏孔器分别调整已知漏率，通过差压式密封品检漏装置中的差压压力传感器测出对应不同漏率下压差的具体数值，分别完成压差与泄漏量关系曲线图中的小漏率检测曲线和大漏率检测曲线的绘制。本发明专利技术的优点是：１．原理科学、不需要复杂计算；２．操作简单实用、易于实施；３．利用所绘曲线进行检测，准确率较高。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种密封品的检漏方法，特别是一种用漏孔法绘制压 差与泄漏量关系曲线的方法。(二)
技术介绍
目前密封品检漏装置使用的方法主要有染料渗透检漏法、升温 气泡发射检漏法、重量增加检漏法、放射性同位素检漏法以及光学检 漏法等。这些方法工艺复杂、效率低、成本高，其中有的方法还属于 破坏性检验方式。另外还有一种差压式气密检漏法，主要用于非密封 品如汽车油箱、空调管路等的泄漏检测，但是不能用于密封品如电子 芯片等的检漏。我们己经研制了差压式密封品检漏装置，但是用差压 式密封品检漏装置进行检测时，首先需要绘制压差与泄漏量关系曲线， 作为判定密封品是否合格的依据。现在绘制压差与泄漏量对应关系曲 线图主要是采用理论计算法，即根据差压检漏的基本公式，结合密封品 差压检漏的相关条件，推导出压差的时变计算公式以及小漏率检测、 大漏率检测的计算公式，再将被测件的内容积、被测件密封容器的剩 余容积、测试管路的容积、测试压力等各个参数分别代入公式，通过 计算得到相关数据即可绘制出压差与泄漏量对应关系曲线图。由于计 算时涉及参数较多，计算步骤非常复杂，且选择的各种参数与实际数 維存在比较大的误差，所以使用理论计算法绘制曲线准确率低，使用 效果不理想。/三)
技术实现思路
本专利技术的目的是针对上述存在的问题，提供一种原理科学、不需 要复杂计算、检测准确、操作简单、易于实施的用漏孔法绘制压差与 泄漏量关系曲线的方法。本专利技术的技术方案，其特征在于-采用带容积漏孔器在密封品检漏装置上进行，带容积漏孔器为带有一 个已知漏率的漏孔并具有固定内腔容积的容器，其实施步骤如下1)据被测件所需检测范围由小到大设置至少5个检测点，即采 用至少5个不同漏率的带容积漏孔器，带容积漏孔器的内腔容积和被 测件的内腔容积相等；2) 将两个已知不漏的被测件分别放入被测件密封容器和基准件 密封容器内，在放置被测件的密封容器上接入其中一个已知漏率的带 容积漏孔器;3) 利用差压式密封品检漏装置对被测件密封容器和基准件密封 容器进行充压或抽真空，并达到规定的测试压力；4) 利用差压式密封品检漏装置进行小漏率检测通过差压式密 封品检漏装置记录差压压力传感器产生的压差；5) 利用差压式密封品检漏装置进行大漏率检测通过差压式密 封品检漏装置记录差压压力传感器产生的压差；6) 分别将其余带容积漏孔器接入被测件密封容器，重复3) 5) 操作，通过差压式密封品检漏装置分别记录差压压力传感器产生的压 差，完成压差与泄漏量关系曲线图中的小漏率检测曲线的绘制和大漏 率检测曲线绘制。本专利技术工作原理使用差压式密封品检漏装置对密封品检漏， 当密封品不漏时，检漏装置的差压传感器不会产生压差。在差压气密 检漏装置的两个密封容器中放置已知不漏的两个被测件，并将一个己 知漏率的带容积漏孔器接入差压气密检漏装置的被测件密封容器上； 当该检漏装置调整在小漏率检测时，差压传感器上反应的压差值即小 漏率检测压差；当该检漏装置调整在大漏率检测时，差压传感器上反 应的压差值即大漏率检测压差；重复上述过程，用不同已知漏率的带 容积漏孔器进行检测，即可得到一组漏率与压差的对应数据，根据这 些，应数据即可在压差与泄漏量对应关系曲线图中分别绘出小漏率 检^曲线和大漏率检测曲线。本专利技术的优点是l.原理科学、不需要复杂计算；2.操作简单实 用、易于实施；3.利用所绘曲线进行检测，准确率较高。附图说明 附图l:差压式密封品检漏装置气动回路示意图。 附图2:压差与泄漏量关系曲线图。图l中l.气源2.充压阀 3.第一平衡阀4.第二平衡阀 5.第一配容容器6.第一大漏率检测阀 7.差压压力传感 器8.第二大漏率检测阀9.第二配容容器 IO.被测件 ll.被测件密封容器12.基准件 13.基准件密封容器14.带容积漏孔器 具体实施方式 实施例 ，采用 带容积漏孔器在差压式密封品检漏装置上进行，被测件为电子芯片， 其内腔容积为IO立方毫米。附图1为该差压式密封品检漏装置气动回路示意图，其由气源l、充压阀2、第一平衡阀3、第二平衡阀4、 第一配容容器5、第一大漏率检测阀6、差压压力传感器7、第二大 漏率检测阀8、第二配容容器9、被测件IO、被测件密封容器ll、基 准件12和基准件密封容器13组成并通过管路连接。具体实施步骤如 下1) 据被测件10所需检测范围由小到大设置5个漏率数量级为 10—2pa,mVs、 10—3Pa,m7s、 10_4Pa.m3/s、 10_5Pa.m3/s、 lO^Pa. m3/s的带 容积漏孔器14，带容积漏孔器14的内腔容积和被测件10的内腔容 积相等，均为IO立方毫米；2) 将两个己知不漏的被测件分别放入被测件密封容器11和基准 件密封容器13内，在放置被测件的密封容器11上接入一个漏率数量 级为10—2Pa. mVs的带容积漏孔器14;3) 利用差压式密封品检漏装置对被测件密封容器11和基准件密 封容器13进行充压，并达到10Spa的测试压力；4) 利用差压式密封品检漏装置进行小漏率检测通过差压式密 封品检漏装置记录差压压力传感器7产生的压差；^5)利用差压式密封品检漏装置进行大漏率检测通过差压式密 封i4检漏装置记录差压压力传感器7产生的压差；6)分别将其余四个漏率数量级为10—3Pa.m7s、 10—4Pa.m3/S、 10—5Pa.m3/s、 10_6Pa.m3/S的带容积漏孔器14分别接入被测件密封容 器ll，重复3) 5)操作，通过差压式密封品检漏装置分别记录差 压压力传感器7产生的压差，完成压差与泄漏量关系曲线图中的小漏 率检测曲线的绘制和大漏率检测曲线绘制。附图2为根据上述检测方法获得的数据绘制的压差与泄漏量关 系曲线图。根据密封品的实际检测结果即小漏率检测压差和大漏率检 测压差，利用该图能准确判定密封品的漏率。权利要求1.，其特征在于采用带容积漏孔器在密封品检漏装置上进行，带容积漏孔器为带有一个已知漏率的漏孔并具有固定内腔容积的容器，其实施步骤如下1)据被测件所需检测范围由小到大设置至少5个检测点，即采用至少5个不同漏率的带容积漏孔器，带容积漏孔器的内腔容积和被测件的内腔容积相等；2)将两个已知不漏的被测件分别放入被测件密封容器和基准件密封容器内，在放置被测件的密封容器上接入其中一个已知漏率的带容积漏孔器；3)利用差压式密封品检漏装置对被测件密封容器和基准件密封容器进行充压或抽真空，并达到规定的测试压力；4)利用差压式密封品检漏装置进行小漏率检测通过差压式密封品检漏装置记录差压压力传感器产生的压差；5)利用差压式密封品检漏装置进行大漏率检测通过差压式密封品检漏装置记录差压压力传感器产生的压差；6)分别将其余带容积漏孔器接入被测件密封容器，重复3)～5)操作，通过差压式密封品检漏装置分别记录差压压力传感器产生的压差，完成压差与泄漏量关系曲线图中的小漏率检测曲线的绘制和大漏率检测曲线绘制。全文摘要，其特征在于使用带容积漏孔器在密封品检漏装置上进行，其实施步骤如下在放置被测件的密封容器上接入带容积漏孔器；根据所需检测范围设置检测点，用不同漏率的带容积漏孔器分别调整已知漏率，通过差压式密封品检漏装置中的差压压力传感器测出对应不同漏率下压差的具体数值，分别完成压差与泄漏量关系曲线图本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用漏孔法绘制压差与泄漏量关系曲线的方法，其特征在于：采用带容积漏孔器在密封品检漏装置上进行，带容积漏孔器为带有一个已知漏率的漏孔并具有固定内腔容积的容器，其实施步骤如下：　１）据被测件所需检测范围由小到大设置至少５个检测点，即采用至少５个不同漏率的带容积漏孔器，带容积漏孔器的内腔容积和被测件的内腔容积相等；　２）将两个已知不漏的被测件分别放入被测件密封容器和基准件密封容器内，在放置被测件的密封容器上接入其中一个已知漏率的带容积漏孔器；　３）利用差压式密封品检漏装置对被测件密封容器和基准件密封容器进行充压或抽真空，并达到规定的测试压力；　４）利用差压式密封品检漏装置进行小漏率检测：通过差压式密封品检漏装置记录差压压力传感器产生的压差；　５）利用差压式密封品检漏装置进行大漏率检测：通过差压式密封品检漏装置记录差压压力传感器产生的压差；　６）分别将其余带容积漏孔器接入被测件密封容器，重复３）～５）操作，通过差压式密封品检漏装置分别记录差压压力传感器产生的压差，完成压差与泄漏量关系曲线图中的小漏率检测曲线的绘制和大漏率检测曲线绘制。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈乃克，
申请(专利权)人：博益天津气动技术研究所有限公司，
类型：发明
国别省市：12[中国|天津]