一种硅棒表面喷砂装置制造方法及图纸

一种硅棒表面喷砂装置，包括高压空气回路，喷砂及回收装置，保护罩，进给装置，喷砂装置；所述的高压空气回路与喷砂装置相连，所述的喷砂及回收装置与喷砂装置相连，所述的进给装置包括硅棒支持架，筋板，固定条，齿条，导轨，齿轮，导轨底座，齿轮轴承座，电机；所述的喷砂装置包括高压空气进口，砂粒进口，收缩口，散放口，混合区，喷砂口，挡砂帘条。通过齿条连续不断的进给动作以及喷砂装置的连续喷砂，完成硅棒表面的线形喷砂轨迹并除去氧化层；喷砂完成后砂粒可进行回收进行循环利用。

【技术实现步骤摘要】
一种硅棒表面喷砂装置
本技术涉及单晶硅生产制造领域，具体地说是一种硅棒表面喷砂装置。
技术介绍
在硅棒直拉法生产出来后，硅棒表面往往会形成一层氧化膜，这层氧化膜需要处理掉。处理表面氧化层的工艺有喷砂和喷丸处理，但是喷丸处理打击力量较大，容易使得喷丸处理的产品表面产生变形或凹坑现象，所以对表面要求较高或较薄的工件一般情况下会使用喷砂处理。
技术实现思路
针对以上问题，本技术提供一种硅棒表面喷砂装置，可以较容易地处理掉硅棒表面的氧化层，而且将喷完后的砂粒重新收集后回收利用。本技术解决其技术问题所采取的技术方案是：一种硅棒表面喷砂装置，包括高压空气回路，喷砂及回收装置，保护罩，进给装置，喷砂装置；所述的高压空气回路与喷砂装置相连，所述的喷砂及回收装置与喷砂装置相连，其特征在于：所述的进给装置包括硅棒支持架，筋板，固定条，齿条，导轨，齿轮，导轨底座，齿轮轴承座，电机，所述的硅棒支持架固定在筋板上，所述的筋板固定在固定条上，所述的固定条固定在齿条背面上，所述的齿条滑动安装在两条相向布置的导轨中，所述的齿条与齿轮啮合传动，所述电机通过联轴器与齿轮一端相连接，所述的齿轮另一端固定在齿轮轴承座中；所述的喷砂装置包括高压空气进口，砂粒进口，收缩口，散放口，混合区，喷砂口，挡砂帘条，所述的高压空气进口与收缩口相连，所述的收缩口与散放口相连，所述的散放口与混合区相通，所述的砂粒进口与混合区相通，所述的混合区与喷砂口相通，所述的喷砂口装设挡砂帘条。作为优化，所述的保护罩包括罩体和底座，所述的罩体为透明的钢化玻璃。作为优化，所述的高压空气回路包括高压空气发生器，高压空气进给管路及阀门，所述的高压空气进给管路及阀门与喷砂装置高压空气进口相连。作为优化，所述的喷砂及回收装置包括供砂管路及阀门，收集装置，泵及回收管路，砂粒处理装置，所述的收集装置固定于喷砂装置的罩体下端，所述的收集装置呈倾斜方向安装，所述的泵及回收管路与收集装置相连，所述的泵及回收管路与砂粒处理装置相连，所述的砂粒处理装置出口与供砂管路及阀门相连，所述的供砂管路及阀门与喷砂装置的砂粒进口相连。作为优化，所述的硅棒支持架为V形结构。作为优化，所述的两条导轨组合固定形成燕尾槽结构。作为优化，所述的齿条为T形结构，与导轨形成的燕尾槽配合。作为优化，所述的高压空气收缩口宽端与进口相连，窄端与散方口相连，所述的散放口窄端与收缩口相连，宽端与混合区相连。作为优化，所述的砂粒进口为倾斜方向，高端与喷砂管路及阀门相连，低端与喷砂装置混合区相连。作为优化，所述的挡砂帘条在喷砂口布置成环形，所述的帘条为软性材质。本技术的有益效果是：与现有技术相比，本技术的一种硅棒表面喷砂装置，通过齿条的连续不断的进给动作以及喷砂装置的连续喷砂，完成硅棒表面的线形喷砂轨迹，除去线性轨迹上的氧化层；喷砂完成后砂粒可进行回收进行循环利用。附图说明图1为本技术主视图；图2为本技术砂粒回收装置；图3为本技术进给装置右视图；图4为本技术喷砂装置局部放大图；其中，1高压空气回路，2喷砂及回收装置，3保护罩，4进给装置，5喷砂装置,101高压空气发生器，102高压空气进给管路及阀门，201供砂管路及阀门，203收集装置，204泵及回收管路，202砂粒处理装置,301底座，302罩体，401硅棒支持架，402筋板，403固定条，404齿条，405导轨，406齿轮，407导轨底座，408齿轮轴承座，409电机，506高压空气进口，507砂粒进口，501收缩口，502散放口，503混合区，504喷砂口，505挡砂帘条。具体实施方式为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的。技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。如图1-4所示，一种硅棒表面喷砂装置，包括高压空气回路1，喷砂及回收装置2，保护罩3，进给装置4，喷砂装置5，所述的高压空气回路1与喷砂装置5相连，所述的喷砂及回收装置2与喷砂装置5相连；所述的进给装置4包括硅棒支持架401，筋板402，固定条403，齿条404，导轨405，齿轮406，导轨底座407，齿轮轴承座408，电机409，所述的硅棒支持架401固定在筋板402上，所述的筋板402固定在固定条403上，所述的固定条403固定在齿条404背面上，所述的齿条404滑动安装在两条相向布置的导轨405中，固定条带动硅棒与齿条一起在导轨在滑动，齿条404的安装方向为齿的方向在下，在导轨下方与齿轮406啮合传动，所述电机409通过联轴器与齿轮404一端相连接，所述的齿轮404的另一端固定在齿轮轴承座408中；所述的喷砂装置5包括高压空气进口506，砂粒进口507，收缩口501，散放口502，混合区503，喷砂口504，挡砂帘条505，所述的高压空气进口506与收缩口501相连，所述的收缩口501与散放口502相连，所述的散放口502与混合区503相通，所述的砂粒进口507与混合区503相通，高压空气进喷砂装置后进行集束后放散，有利于与进来的砂粒混合，所述的混合区503与喷砂口504相通，所述的喷砂口504装设挡砂帘条505，挡砂帘条505的布置一是因为防止砂粒四处喷溅，二是可遮挡砂粒喷射在晶硅表面时除氧化层激起的灰尘，防止灰尘到处飘散。在本实施例中，保护罩3包括罩体301和底座302，所述的罩体301为透明的钢化玻璃，在喷砂处理时可以观察保护罩内的情况。在本实施例中，所述的高压空气回路1包括高压空气发生器101，高压空气进给管路及阀门102，所述的高压空气进给管路及阀门102与喷砂装置5高压空气进口506相连，为喷砂装置5提供高压空气。在本实施例中，所述的喷砂及回收装置2包括供砂管路及阀门201，收集装置203，泵及回收管路204，砂粒处理装置202，所述的收集装置203固定于喷砂装置的罩体301和底座302下端，所述的收集装置203呈倾斜方向安装，砂粒喷射端高，收集端低，有利于砂粒的回收，所述的泵及回收管路204与收集装置203相连，所述的泵及回收管路204与砂粒处理装置202相连，所述的砂粒处理装置202出口与供砂管路及阀门201相连，砂粒在喷砂装置5中完成喷砂后可回收并循环利用。作为本实施例的进一步优化，所述的进给装置4中的硅棒支持架401设计为V形结构，方便硅棒的安放，不易滚动或造成对硅棒的损伤。作为本实施例的进一步优化，所述的两条导轨405组合固定形成燕尾槽结构，所述的齿条404为T形结构，与导轨形成的燕尾槽配合后可在导轨内滑动。作为本实施例的进一步优化，所述的高压空气收缩口501宽端与进口相连，窄端与散方口502相连，所述的散放口502窄端与收缩口相连，宽端与混合区503相连，高压空气进入喷射装置后，进行收本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅棒表面喷砂装置，包括高压空气回路（1），喷砂及回收装置（2），保护罩（3），进给装置（4），喷砂装置（5）；所述的高压空气回路（1）与喷砂装置（5）相连，所述的喷砂及回收装置（2）与喷砂装置（5）相连；其特征在于：所述的进给装置（4）包括硅棒支持架（401），筋板（402），固定条（403），齿条（404），导轨（405），齿轮（406），导轨底座（407），齿轮轴承座（408），电机（409）；所述的硅棒支持架（401）固定在筋板（402）上，所述的筋板（402）固定在固定条（403）上，所述的固定条（403）固定在齿条（404）固定方向的上端面上，所述的齿条（404）滑动安装在两条相向布置的导轨（405）中，所述的齿条（404）与齿轮（406）啮合传动，所述电机（409）通过联轴器与齿轮（406）一端相连接，所述的齿轮（406）另一端固定在齿轮轴承座（408）中；所述的喷砂装置（5）包括高压空气进口（506），砂粒进口（507），收缩口（501），散放口（502），混合区（503），喷砂口（504），挡砂帘条（505），所述的高压空气进口（506）与收缩口（501）相连，所述的收缩口（501）与散放口（502）相连，所述的散放口（502）与混合区（503）相通，所述的砂粒进口（507）与混合区（503）相通，所述的混合区（503）与喷砂口（504）相通，所述的喷砂口（504）装设挡砂帘条（505）。...

【技术特征摘要】
1.一种硅棒表面喷砂装置，包括高压空气回路（1），喷砂及回收装置（2），保护罩（3），进给装置（4），喷砂装置（5）；所述的高压空气回路（1）与喷砂装置（5）相连，所述的喷砂及回收装置（2）与喷砂装置（5）相连；其特征在于：所述的进给装置（4）包括硅棒支持架（401），筋板（402），固定条（403），齿条（404），导轨（405），齿轮（406），导轨底座（407），齿轮轴承座（408），电机（409）；所述的硅棒支持架（401）固定在筋板（402）上，所述的筋板（402）固定在固定条（403）上，所述的固定条（403）固定在齿条（404）固定方向的上端面上，所述的齿条（404）滑动安装在两条相向布置的导轨（405）中，所述的齿条（404）与齿轮（406）啮合传动，所述电机（409）通过联轴器与齿轮（406）一端相连接，所述的齿轮（406）另一端固定在齿轮轴承座（408）中；所述的喷砂装置（5）包括高压空气进口（506），砂粒进口（507），收缩口（501），散放口（502），混合区（503），喷砂口（504），挡砂帘条（505），所述的高压空气进口（506）与收缩口（501）相连，所述的收缩口（501）与散放口（502）相连，所述的散放口（502）与混合区（503）相通，所述的砂粒进口（507）与混合区（503）相通，所述的混合区（503）与喷砂口（504）相通，所述的喷砂口（504）装设挡砂帘条（505）。2.根据权利要求1所述的一种硅棒表面喷砂装置，其特征在于：所述的保护罩（3）包括罩体（301）和底座（302），所述的罩体（301）为透明的钢化玻璃。3.根据权利要求1所述的一种硅棒表面喷砂装置，其特征在于：所述的高压空气回路（1）包括...

【专利技术属性】
技术研发人员：王永超，郭城，吕明，李忠泉，
申请(专利权)人：济南科盛电子有限公司，
类型：新型
国别省市：山东,37