【技术实现步骤摘要】
压印装置和制造物品的方法本申请是申请号为201580005034.2,申请日为2015年1月20日,题为“压印装置和制造物品的方法”的中国专利技术专利申请的分案申请。
本专利技术涉及压印装置和制造物品的方法。
技术介绍
使用模具来使基板上的压印材料成型的压印装置作为用于磁存储介质、半导体器件等的批量生产光刻装置中的一个获得了关注。压印装置可以通过在提供到基板上的压印材料接触模具的状态下使压印材料硬化(cure)并且从硬化的压印材料分离(脱离)模具,来在基板上形成图案。在半导体器件等的制造中,模具的图案区域需要以高精度对准形成在基板上的压射区域并转印到压射区域。日本专利特开No.2004-259985提出了用光照射基板来加热基板并使基板上的压射区域变形并且对准基板和模具的方法。日本专利特开No.2004-259985中公开的压印装置包括:检测单元,其用光照射布置在模具上的标记和布置在基板上的标记,并且基于反射的光检测在这些标记之间的位置偏差。根据日本专利特开No.2004-259985,检测单元检测标记之间的位置偏差,然后模具与基板基于检测到的位置偏差而被对准。然而,在通过检测单元检测标记之间的位置偏差之后对准模具与基板的方法中,可能难于以高精度对准模具与基板,这是因为标记之间的位置偏差即使在对准期间也可能发生。
技术实现思路
本专利技术提供了例如有利于以高精度对准模具与基板的压印装置。根据本专利技术的一个方面,提供了一种压印装置,其通过使用在其上形成有图案的模具来使基板的压射区域(shotregion)上的压印材料成型(mold),该压印装置包括:检测单元,被 ...
【技术保护点】
1.一种通过使用其上形成有图案的模具来使基板的压射区域上的压印材料成型的压印装置,包括:检测单元,被配置成用第一光照射模具的第一标记和基板的第二标记,检测来自第一标记和第二标记的第一光,并测量第一标记与第二标记之间的位置偏差;加热单元,被配置成用用于加热的第二光经由模具照射基板,并加热基板以使压射区域变形;以及控制单元,被配置成基于由检测单元测得的位置偏差控制模具与基板之间的对准;其中,在所述对准中,控制单元在使加热单元通过用第二光照射基板而加热基板时使检测单元检测第一光并且测量位置偏差,并且其中,检测单元的参数、加热单元的参数或检测单元和加热单元的参数被设定从而抑制在加热基板期间在所述对准中由检测单元对由模具和基板中的至少一个反射的第二光的检测。
【技术特征摘要】
2014.01.24 JP 2014-0117841.一种通过使用其上形成有图案的模具来使基板的压射区域上的压印材料成型的压印装置,包括:检测单元,被配置成用第一光照射模具的第一标记和基板的第二标记,检测来自第一标记和第二标记的第一光,并测量第一标记与第二标记之间的位置偏差;加热单元,被配置成用用于加热的第二光经由模具照射基板,并加热基板以使压射区域变形;以及控制单元,被配置成基于由检测单元测得的位置偏差控制模具与基板之间的对准;其中,在所述对准中,控制单元在使加热单元通过用第二光照射基板而加热基板时使检测单元检测第一光并且测量位置偏差,并且其中,检测单元的参数、加热单元的参数或检测单元和加热单元的参数被设定从而抑制在加热基板期间在所述对准中由检测单元对由模具和基板中的至少一个反射的第二光的检测。2.根据权利要求1所述的装置,其中,检测单元的参数包括第一光的波长、检测单元发射第一光的方向、检测单元接收第一光的方向和检测单元的数值孔径中的至少一个。3.根据权利要求1所述的装置,其中,加热单元的参数包括第二光的波长和第二光入射到基板上的方向中的至少一个。4.根据权利要求1所述的装置,其中,第一标记和第二标记中的至少一个包括衍射光栅,并且令dm是衍射光栅的周期,αa是在垂直于基板表面的基准轴与检测单元发射第一光的方向之间的角度,βa是在基准轴与检测单元接收第一光的方向之间的角度,αh是在基准轴与第二光入射到基板上的方向之间的角度,sinθ是检测单元的数值孔径,λa是第一光的波长,λh是第二光的波长,m是由检测单元发射的光被衍射光栅衍射的衍射级次,而n是由加热单元发射的光被衍射光栅衍射的衍射级次,则检测单元和加热单元被配置成满足:dm(sinαa+sinβa)=mλa并且满足:dm(sinαh+sin(βa-θ))>nλh或dm(sinαh+sin(βa+θ))<nλh。5.根据权利要求1所述的装置,还包括波长滤光器,该波长滤光器被配置成限制由模具和基板中的至少一个反射的第二光向检测单元的入射。6.根据权利要求1所述的装置,还包括波长选择元件,该波长选择元件被配置成抑制由模具和基板中的至少一个反射的第二光向检测单元的入射。7.根据权利要求1所述的装置,其中,第一光和第二光具有不同的波长。8.一种制造物品的方法,该方法包括:使用压印装置在基板上形成图案;以及处理在其上形成有图案的基板以制造物品,其中通过使用其上形成有图案的模具来使基板的压射区域上的压印材料成型的压印装置包括:检测单元,被配置成用第一光照射模具的第一标记和基板的第二标记,检测来自第一标记和第二标记的第一光,并测量第一标记与第二标记之间的位置偏差;加热单元,被配置成用用于加热的第二光经由模具照射基板,并加热基板以使压射区域变形;以及控制单元,被配置成基于由检测单元测得的位置偏差控制模具与基板之间的对准;其中,在所述对准中,控制单元在使加热单元通过用第二光照射基板而加热基板时使检测单元检测第一光并且测量位置偏差,并且其中,检测单元的参数、加热单元的参数或检测单元和加热单元的参数被设定从而抑制在加热基板期间在所述对准中由检测单元对由模具和基板中的至少一个反射的第二光的检测。9.一种通过使用其上形成有图案的模具来使基板的压射区域上的压印材料成型的压印装置,包括:检测单元,被配置成用第一光照射模具的第一标记和基板的第二标记,检测来自第一标记和第二标记的第一光,并测量第一标记与第二标记之间的位置偏差;加热单元,被配置成用用于加热的第二光经由模具照射基板,并加热基板以使压射区域变形;以及控制单元,被配置成基于由检测单元测得的位置偏差控制模具与基板之间的对准,其中,在所述对准中,控制单元在使加热单元通过用第二光照射基板而加热基板时使检测单元检测第一光并且测量位置偏差,并且其中,第一标记和第二标记中的至少一个包括衍射光栅,并且令dm是衍射光栅的周期,αa是在垂直于基板表面的基准轴与检测单元发射第一光的方向之间的角度,βa是在基准轴与检测单元接收第一光的方向之间的角度,αh是在基准轴与第二光入射到基板上的方向之间的角度,sinθ是检测单元的数值孔径,λa是第一光的波长,λh是第二光的波长,m是由检测单元发射的光被衍射光栅衍射的衍射级次,而n是由加热单元发射的光被衍射光栅衍射的衍射级次,则检测单元和加热单元被配置成满足:dm(sinαa+sinβa)=mλa并且满足:dm(sinαh+sin(βa-θ))>nλh或dm(sinαh+sin(βa+θ))<nλh。10.根据权利要求9所述的装置,还包括波长滤光器,该波长滤光器被配置成限制由模具和基板中的至少一个反射的第二光向检测单元的入射。11.根据权利要求9所述的装置,还包括波长选择元件,该波长选择元件被配置成抑制由模具和基板中的至少一个反射的第二光向检测单元的入射。12.根据权利要求9所述的装置,其中,第一光和第二光具有不同的波长。13.一种制造物品的方法,该方法包括:使用压印装置在基板上形成图案;以及处理在其上形成有图案的基板以制造物品,其中通过使用其上形成有图案的模具来使基板的压射区域上的压印材料成型的压印装置包括:检测单元,被配置成用第一光照射模具的第一标记和基板的第二标记,检测来自第一标记和第二标记的第一光,并测量第一标记与第二标记之间的位置偏差;加热单元,被配置成用用于加热的第二光经由模具照射基板,并加热基板以使压射区域变形;以及控制单元,被配置成基于由检测单元测得的位置偏差控制模具与基板之间的对准;其中,在所述对准中,控制单...
【专利技术属性】
技术研发人员:佐藤一洋,长谷川敬恭,松本隆宏,
申请(专利权)人:佳能株式会社,
类型:发明
国别省市:日本,JP
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