The purpose of the utility model is to provide a leak prevention device for liquid medicine, which prevents liquid medicine from leaking from the liquid medicine jet nozzle in standby state, thereby improving the economy of cleaning process and preventing process accidents. The medicine leakage prevention device of the utility model for realizing the purposes includes: a medicine liquid jet nozzle, which sprays the medicine liquid to the surface of the substrate; a medicine liquid supply part, which supplies the medicine liquid to the medicine liquid jet nozzle; and a gas supply part, which is used to blow out and discharge the medicine liquid remaining in the medicine liquid jet nozzle to the outside.
【技术实现步骤摘要】
药液泄漏防止装置
本技术涉及一种药液泄漏防止装置,更加详细地,涉及一种如下装置:在完成用于清洗基板的药液喷射工艺后,对残留于药液喷射喷嘴的药液进行去除,防止待机状态下的药液泄漏。
技术介绍
通常,在半导体制造工艺中,多次反复进行绝缘膜及金属物质的蒸镀(Deposition)、蚀刻(Etching)、光刻胶(Photoresist)的涂覆(Coating)、显影(Develop)、去胶(Asher)或者颗粒等杂质的去除等,从而制作出微细的图案的排列。随着所述工艺的进行,在半导体基板内会残留通过蚀刻或者杂质去除工艺没有完全去除的杂质。随着半导体装置的微型化的趋势,在收率和可靠性方面,去除如包括微粒子在内的金属杂质、有机污染物、自然氧化膜一样的杂质的重要性也正在增加。因为所述杂质是左右半导体装置的性能和收率的重要要素,所以在进行用于制造半导体装置的各个工艺之前应经过清洗工艺。如上所述,为了去除残留于基板表面的如包括微粒子在内的金属杂质、有机污染物、自然氧化膜一样的表面薄膜等的多种对象物而实施用于制造半导体装置的基板的清洗工艺。通常,半导体基板的湿式清洗装置分为批次式(batchtype)和单一式(singletype),批次式是将多个基板浸渍于装满有化学溶液的清洗槽(Bath)内并处理的方式,单一式是使得一张基板水平配置并旋转的同时进行处理的方式。在所述单一式清洗装置中进行如下工艺:向高速旋转的基板的表面喷射清洗剂,用离心力清洗基板表面;用超纯水(DI)进行冲洗处理;在基板表面利用类似于液态的异丙醇(IPA:IsopropylAlcohol)的干燥液来使得基板干 ...
【技术保护点】
1.一种药液泄漏防止装置,其特征在于,包括:药液喷射喷嘴,其向基板的表面喷射药液;药液供给部,其向所述药液喷射喷嘴供给所述药液;喷管,其连接所述药液喷射喷嘴和所述药液供给部并成为药液的供给流路;气体供给部,其与所述喷管相连接并供给气体,气体用于将残留于所述药液喷射喷嘴内部的所述药液吹出来并排出至外部。
【技术特征摘要】
2017.05.11 KR 10-2017-00587501.一种药液泄漏防止装置,其特征在于,包括:药液喷射喷嘴,其向基板的表面喷射药液;药液供给部,其向所述药液喷射喷嘴供给所述药液;喷管,其连接所述药液喷射喷嘴和所述药液供给部并成为药液的供给流路;气体供给部,其与所述喷管相连接并供给气体,气体用于将残留于所述药液喷射喷嘴内部的所述药液吹出来并排出至外部。2.根据权利要求1所述的药液泄漏防止装置,其特征在于,还包括:药液供给阀,其用于控制流入所述喷管的所述药液的供给;第一管,其连接所述喷管和所述气体供给部;第一阀,其设置于所述第一管,对从所述气体供给部流入所述喷管的所述气体的流路进行开闭。3.根据权利要求2所述的药液泄漏防止装置,其特征在于,还包括:第二管,其从所述喷管的一侧分支出来;第二阀,其设置于所述喷管和所述第二管相连接的部分,对通过所述第二管向外部排出的...
【专利技术属性】
技术研发人员:李载鸿,郑基正,李在元,金炯剟,李俊弧,
申请(专利权)人:凯斯科技股份有限公司,
类型:新型
国别省市:韩国,KR
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