反应腔室用观察窗组件及反应腔室制造技术

一种反应腔室用观察窗组件和反应腔室，反应腔室用观察窗组件包括套筒，套筒的一端的内壁通过固定件可拆卸地安装有观察窗，固定件的中心透光。反应腔室用观察窗组件能够降低腔室的颗粒风险，且便于维护。

Observation window assembly and reaction chamber for reaction chamber

The utility model relates to an observation window assembly and a reaction chamber for a reaction chamber. The observation window assembly for a reaction chamber includes a sleeve. The inner wall of one end of the sleeve is detachably mounted with an observation window through a fixture, and the center of the fixture transmits light. The observation window assembly used in the reaction chamber can reduce the particle risk of the chamber and is easy to maintain.

【技术实现步骤摘要】
反应腔室用观察窗组件及反应腔室
本技术涉及半导体制造设备领域，具体涉及一种反应腔室用观察窗组件及反应腔室。
技术介绍
在集成电路的制造工艺中，刻蚀机是必不可少的设备。随着刻蚀制程的逐渐减小和晶片膜层结构逐渐变得复杂，对刻蚀过程的控制和监测变得越来越重要。目前刻蚀过程的控制方法主要是OES(OpticalEmissionSpectroscopy，光学发射光谱)方法，该方法的原理是对刻蚀工艺中的等离子体的光谱进行收集，从而实现对等离子体的实时监测，通过对光谱的分析和比较实现对工艺过程的控制。图1显示现有机台的OES观察窗结构剖面图。图中1为内衬，2为腔体，3为观察窗套筒，4为O型圈，5为观察窗，后端接有信号采集分析系统。当腔室内启辉时，辉光通过内衬1和观察窗套筒3的中心孔，最后穿过观察窗5到达信号采集分析系统，进行辉光的收集和分析，即可得到辉光的相关信息，从而对刻蚀过程进行监控。当两个机台相邻时，拆卸观察窗5非常不方便。在工厂的量产中，随着工艺的进行，观察窗5会被腐蚀，透光性降低，需要定期更换。现有的机台更换观察窗5时，需要先拆卸件外部的信号采集分析系统，然后更换观察窗5，更换耗时较长，影响机台的正常运行时间，降低机台的生产效率。此外，观察窗套筒3的通光孔长度较长，内表面暴露于反应腔内部，会受到气体的腐蚀，形成的副产物增加了腔室的颗粒风险。综上所述，现有OES观察窗的主要缺点在于：1.更换观察窗耗时较长，影响机台的回线时间，且需要重新进行密封面安装，可能影响漏率；2.观察窗套筒内孔较长，且暴露于腔室环境内，增大了腔室的颗粒风险。因此，期待开发一种能够克服上述缺陷的观察窗。
技术实现思路
本技术的目的是提出一种反应腔室用观察窗组件，其能够降低腔室的颗粒风险，且便于维护。本技术的一方面提供一种反应腔室用观察窗组件，包括套筒，所述套筒的一端的内壁通过固定件可拆卸地安装有观察窗，所述固定件的中心透光。优选地，所述观察窗包括圆形部和设于所述圆形部外周的一对定位凸起，所述一对定位凸起沿所述圆形部的径向向外凸出，且沿所述圆形部的径向相对设置，所述一对定位凸起之间形成第一定位结构。优选地，所述套筒的所述一端的端面设有固定件安装槽，所述固定件安装槽包括圆形安装部和设于所述圆形安装部外周的一对限位安装部，所述一对限位安装部沿所述圆形安装部的径向向外延伸，且沿所述圆形安装部的径向相对设置。优选地，所述圆形部的直径小于所述圆形安装部的直径。优选地，所述固定件包括环形部和设于所述环形部的外周的第二定位结构，所述第二定位结构包括一对限位凸起，所述一对限位凸起沿所述环形部的径向相对设置，且沿所述环形部的轴向延伸，以插入所述第一定位结构内。优选地，所述套筒的所述一端的内壁设有观察窗安装槽，所述观察窗安装槽设于所述固定件安装槽的轴向内侧，所述观察窗设于所述观察窗安装槽内，且所述观察窗能在所述观察窗安装槽内围绕所述套筒的轴线转动。优选地，所述套筒的另一端设有次观察窗，所述次观察窗与所述套筒为一体结构，且所述次观察窗用于与反应腔室的壁密封接触。优选地，所述套筒的所述一端的内壁设有台阶，所述固定件螺纹连接在所述套筒的内壁，将所述观察窗压紧固定在所述台阶上。本技术的另一方面提供一种反应腔室，包括所述的反应腔室用观察窗组件。优选地，所述套筒的所述一端朝向所述反应腔室的内部，所述套筒的所述另一端朝向所述反应腔室的外部。本技术的有益效果在于：1、套筒的一端的内壁通过固定件可拆卸地安装有观察窗，安装之后观察窗靠近反应腔室内侧，相当于缩短了现有观察窗套筒的内孔长度，从而降低了腔室的颗粒风险；2、进行日常维护时，只需从反应腔室内部拆卸固定件和观察窗即可，不需要重新对密封面进行安装，既缩短了维护时间，也不会影响漏率。附图说明通过结合附图对本技术示例性实施方式进行更详细的描述，本技术的上述以及其它目的、特征和优势将变得更加明显。其中，在本技术示例性实施方式中，相同的附图标记通常代表相同部件。图1显示现有的观察窗结构剖面图；图2显示根据本技术的示例性实施例的反应腔室用观察窗组件的剖面图；图3a和图3b分别显示根据本技术的示例性实施例的反应腔室用观察窗组件的套筒的立体图和剖面图；图4显示根据本技术的示例性实施例的反应腔室用观察窗组件的观察窗的立体图；图5显示根据本技术的示例性实施例的反应腔室用观察窗组件的固定件的立体图；图6显示根据本技术的示例性实施例的反应腔室用观察窗组件的观察窗在套筒中的安装示意图；图7显示根据本技术的示例性实施例的反应腔室用观察窗组件的固定件在套筒中的安装示意图；图8显示根据本技术的示例性实施例的反应腔室用观察窗组件的安装工具立体图。附图标记说明：1-内衬，2-腔体，3-观察窗套筒，4-O型圈，5-观察窗；101-内衬，102-套筒，103-观察窗，104-固定件，105密封件，106-腔体，107-固定件安装槽，108-观察窗安装槽，109-通光孔，110-圆形部，111-定位凸起，112-环形部，113-限位凸起，114-圆形安装部，115-限位安装部，缝隙-116。具体实施方式下面将参照附图更详细地描述本技术的实施方式。虽然附图中显示了本技术的两种示例性实施方式，然而应该理解，可以各种形式实现本技术，而不应被这里阐述的实施方式所限制。相反，提供这些实施方式是为了使本技术更加透彻和完整，并且能够将本技术的范围完整地传达给本领域的技术人员。根据本技术的示例性实施例的反应腔室用观察窗组件包括套筒，套筒的一端的内壁通过固定件可拆卸地安装有观察窗，固定件的中心透光。该反应腔室用观察窗组件在套筒一端的内壁通过固定件可拆卸地安装有观察窗。使用时，反应腔室用观察窗组件安装于反应腔室侧壁，套筒安装有固定件和观察窗的一端朝向反应腔室的内侧。当反应腔室内启辉时，辉光依次通过固定件、观察窗，再通过套筒的另一端到达信号采集分析系统。由于观察窗靠近反应腔室内侧，相当于缩短了现有观察窗套筒的内孔长度，从而降低了腔室的颗粒风险。在一个示例中，观察窗包括圆形部和设于圆形部外周的一对定位凸起，一对定位凸起沿圆形部的径向向外凸出，且沿圆形部的径向相对设置，一对定位凸起之间形成第一定位结构。套筒设有内孔，以允许辉光通过。观察窗的圆形部封闭套筒内孔，以阻挡反应腔室内的气体通过。实际安装时，观察窗与套筒之间会形成微小缝隙，在对反应腔室抽真空时，可通过该微小缝隙对套筒内孔抽真空。定位凸起一般为部分环形，一对定位凸起之间形成一对环形空间，一对环形空间为第一定位结构，以便于与第二定位结构配合。观察窗的材料可为石英，蓝宝石等，以保证高透光性，观察窗的厚度一般为3-8mm。在一个示例中，套筒的所述一端的端面设有固定件安装槽，固定件安装槽包括圆形安装部和设于圆形安装部外周的一对限位安装部，一对限位安装部沿圆形安装部的径向向外延伸，且沿圆形安装部的径向相对设置。固定件安装槽用于设置固定件，其中，限位安装部一般为部分环形。优选地，观察窗的圆形部的直径小于固定件安装槽的圆形安装部的直径，定位凸起的形状和尺寸与限位安装部相适应，从而可通过固定件安装槽将观察窗安装到套筒内的观察窗安装槽中。由于观察窗的圆形部本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种反应腔室用观察窗组件，包括套筒，其特征在于，所述套筒的一端的内壁通过固定件可拆卸地安装有观察窗，所述固定件的中心透光；所述观察窗包括圆形部和设于所述圆形部外周的一对定位凸起，所述一对定位凸起沿所述圆形部的径向向外凸出，且沿所述圆形部的径向相对设置，所述一对定位凸起之间形成第一定位结构；所述套筒的所述一端的端面设有固定件安装槽，所述固定件安装槽包括圆形安装部和设于所述圆形安装部外周的一对限位安装部，所述一对限位安装部沿所述圆形安装部的径向向外延伸，且沿所述圆形安装部的径向相对设置；所述固定件包括环形部和设于所述环形部的外周的第二定位结构，所述第二定位结构包括一对限位凸起，所述一对限位凸起沿所述环形部的径向相对设置，且沿所述环形部的轴向延伸，以插入所述第一定位结构内。

【技术特征摘要】
1.一种反应腔室用观察窗组件，包括套筒，其特征在于，所述套筒的一端的内壁通过固定件可拆卸地安装有观察窗，所述固定件的中心透光；所述观察窗包括圆形部和设于所述圆形部外周的一对定位凸起，所述一对定位凸起沿所述圆形部的径向向外凸出，且沿所述圆形部的径向相对设置，所述一对定位凸起之间形成第一定位结构；所述套筒的所述一端的端面设有固定件安装槽，所述固定件安装槽包括圆形安装部和设于所述圆形安装部外周的一对限位安装部，所述一对限位安装部沿所述圆形安装部的径向向外延伸，且沿所述圆形安装部的径向相对设置；所述固定件包括环形部和设于所述环形部的外周的第二定位结构，所述第二定位结构包括一对限位凸起，所述一对限位凸起沿所述环形部的径向相对设置，且沿所述环形部的轴向延伸，以插入所述第一定位结构内。2.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘建，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11