一种用于真空腔体的大面积加热板制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于真空腔体的大面积加热板，所述加热板由若干块A型加热单元和B型加热单元组成，所述A型加热单元和B型加热单元排列分布成一整体，所述每个A型加热单元和B型加热单元的两侧分别对应设有温度监控点。本实用新型专利技术加热板区域化，加热点独立不受其他区域影响，不会因各区域的干扰导致腔室加热不均匀，并设有多个温度监控点，实时反馈加热板上温度情况，调整区域温度，减小加热板各区域温差，真空室温分布均匀性大大提高，成膜速率更均匀。

A Large Area Heating Plate for Vacuum Cavity

The utility model discloses a large-area heating plate for a vacuum chamber, which is composed of several A-type heating units and B-type heating units. The A-type heating units and B-type heating units are arranged and distributed as a whole. Each A-type heating unit and B-type heating unit are respectively provided with temperature monitoring points on both sides. The heating plate of the utility model is regionalized, the heating point is independent from other areas, and the chamber heating is not uneven due to the interference of each area. There are multiple temperature monitoring points, which can feedback the temperature of the heating plate in real time, adjust the temperature of the area, reduce the temperature difference in each area of the heating plate, greatly improve the uniformity of the vacuum room temperature distribution, and make the film forming rate more uniform.

【技术实现步骤摘要】
一种用于真空腔体的大面积加热板
本技术涉及太阳能电池设备
，尤其涉及一种用于真空腔体的大面积加热板。
技术介绍
硅基异质结电池是一种利用晶体硅基板和非晶硅薄膜制成的混合型太阳能电池。PECVD系统是模块化系统，将硅片制绒及清洗预处理之后，由载板传送，进入预热腔室，然后完成I，N(或P)层沉积，之后通过冷却机构进行冷却，完成镀膜工艺，其中硅片在I，N(或P)层沉积情况将直接影响硅片良率和成品质量。PECVD工序是首先要将硅片在预热腔中进行预热，然后送入I，N(或P)腔中进行等离子化学沉积，沉积过程的一个必要条件就是需要使硅片达到一定温度，否则将导致沉积效果差，甚至无法沉积。因此，腔体的的加热对整个工艺来说就非常重要，传统的加热方式为电加热，具体为加热板通过机械紧固结构与真空室的外围四壁紧密接触，以获得对真空室壁面的有效热传递，进而对真空室进行加热。其加热器由U型加热管和加热板组成。但由于整块加热板面积较大，本身加热板温度的不均匀会使得与腔室进行热传递时会有传热不均匀的情况，最终会使得部分硅片沉积质量差，良品率降低。
技术实现思路
针对上述问题，本技术提供了一种用于真空腔体的大面积加热板，解决加热板的各点温度不便控制，加热时温度存在不均匀现象，使得工艺质量下降的问题。为解决上述技术问题，本技术所采用的技术方案是：一种用于真空腔体的大面积加热板，所述加热板由若干块A型加热单元和B型加热单元组成，所述A型加热单元和B型加热单元排列分布成一整体，所述每个A型加热单元和B型加热单元的两侧分别对应设有温度监控点。进一步的，所述A型加热单元和B型加热单元分别设有8个，所述A型加热单元的尺寸为380×290，所述B型加热单元的尺寸为660×110。进一步的，所述A型加热单元和B型加热单元均对应设有独立的加热管和温度控制元件。进一步的，所述温度监控点设有22个，上下相邻的加热单元共用一个温度监控点，用于实时反馈各点温度，便于控制系统控制温度。由上述对本技术结构的描述可知，和现有技术相比，本技术具有如下优点：本技术是一种低成本的用于真空腔体的大面积加热板，加热板区域化，使得各加热区温度更能接近加热管温度，加热点独立不受其他区域影响，不会因各区域的干扰导致腔室加热不均匀，并设有多个温度监控点，实时反馈加热板上温度情况，调整区域温度，减小加热板各区域温差，真空室温分布均匀性大大提高，成膜速率更均匀。附图说明构成本申请的一部分的附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：图1为本技术一种用于真空腔体的大面积加热板的结构示意图；图2为本技术实施例的温度曲线。具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。实施例参考图1、图2，一种用于真空腔体的大面积加热板，所述加热板由若干块A型加热单元1和B型加热单元2组成，所述A型加热单元1和B型加热单元2排列分布成一整体，所述每个A型加热单元1和B型加热单元2的两侧分别对应设有温度监控点3。所述A型加热单元1和B型加热单元2分别设有8个，所述A型加热单元1的尺寸为380×290，所述B型加热单元2的尺寸为660×110，加热板区域化加热，便于控制各区域温度的测量、监控、调节。所述A型加热单元1和B型加热单元2均对应设有独立的加热管和温度控制元件。整合成一个完整的真空腔体的加热系统，整个加热系统采用PID控制，通过设置其参数，由测温点反馈数值，可相应调整加热器温度，保证加热器平稳高效运行。所述温度监控点3设有22个，上下相邻的加热单元共用一个温度监控点3，用于实时反馈各点温度，便于控制系统控制温度。本技术是一种低成本的用于真空腔体的大面积加热板，加热板区域化，使得各加热区温度更能接近加热管温度，加热点独立不受其他区域影响，不会因各区域的干扰导致腔室加热不均匀，并设有多个温度监控点，实时反馈加热板上温度情况，调整区域温度，减小加热板各区域温差，真空室温分布均匀性大大提高，成膜速率更均匀。以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于真空腔体的大面积加热板，其特征在于：所述加热板由若干块A型加热单元(1)和B型加热单元(2)组成，所述A型加热单元(1)和B型加热单元(2)排列分布成一整体，所述A型加热单元(1)和B型加热单元(2)的两侧分别对应设有温度监控点(3)。

【技术特征摘要】
1.一种用于真空腔体的大面积加热板，其特征在于：所述加热板由若干块A型加热单元(1)和B型加热单元(2)组成，所述A型加热单元(1)和B型加热单元(2)排列分布成一整体，所述A型加热单元(1)和B型加热单元(2)的两侧分别对应设有温度监控点(3)。2.根据权利要求1所述一种用于真空腔体的大面积加热板，其特征在于：所述A型加热单元(1)和B型加热单元(2)分别设有8个，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈剑雨，王树林，倪鹏玉，陈清彬，姚晓宇，
申请(专利权)人：福建金石能源有限公司，
类型：新型
国别省市：福建,35