一种掩膜组件及蒸镀设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种掩膜组件及蒸镀设备。该掩膜组件包括层叠设置的第一掩膜板和第二掩膜板，所述第一掩膜板上设置有第一蒸镀开孔，所述第二掩膜板上设置有遮挡区域以及位于所述遮挡区域外围且用于限定蒸镀区域的围边区域，所述围边区域内设置有第二蒸镀开孔，在所述围边区域内，所述第一蒸镀开孔在所述第二掩膜板上的正投影位于所述第二蒸镀开孔内。该掩膜组件，在张网过程中，遮挡区域不会影响第一蒸镀开孔的精度，从而，蒸镀材料始终可以通过第一蒸镀开孔蒸镀到OLED像素位置，避免了张网过程引起的蒸镀位置不精确，保证了蒸镀效果，避免了蒸镀混色，提高了显示面板的品质。

A Mask Module and Steaming Equipment

The utility model discloses a mask assembly and an evaporation plating device. The mask assembly comprises a first mask plate and a second mask plate arranged in a stack. The first mask plate is provided with a first evaporation opening. The second mask plate is provided with a shielding area and a peripheral area located outside the shielding area and used to define the evaporation area. The peripheral area is provided with a second evaporation opening. In the peripheral area, the first evaporation plating area is provided with a second evaporation opening. The positive projection of the opening on the second mask plate is located in the second evaporation opening. In the process of netting, the shielding area will not affect the accuracy of the first evaporation opening. Thus, the evaporation material can always be evaporated through the first evaporation opening to the OLED pixel position, avoiding the imprecision of the evaporation position caused by netting process, ensuring the evaporation effect, avoiding the mixing of evaporation and plating, and improving the quality of the display panel.

【技术实现步骤摘要】
一种掩膜组件及蒸镀设备
本技术涉及显示
，具体涉及一种掩膜组件及蒸镀设备。
技术介绍
有机发光二极管(OrganicLightEmittingDiode，OLED)显示面板具有自主发光、厚度薄、重量轻、响应速度快、视角广、色彩丰富以及高亮度、低功耗、耐高低温等优点，广泛应用于手机、手表、电脑、电视机等产品中。OLED器件包括各种有机功能材料层，目前，制作OLED器件的主流技术是采用蒸镀工艺在待蒸镀基板上形成各种有机功能材料层。在蒸镀工艺中，掩膜板的精度直接影响蒸镀图案的精度，进而影响显示区域的蒸镀效果。在OLED显示面板市场初期，由于技术的限制，OLED显示面板的形状主要为矩形。随着OLED技术的不断成熟以及消费者对美感要求的不断提高，近年来各个OLED面板生产厂家开始推出具有倒圆角结构甚至异形结构的OLED显示面板，尤其当苹果公司推出异形面板的手机后，异形结构的显示面板逐步成为OLED显示面板的发展趋势。现阶段，人们最为关注的异形结构OLED显示面板为环形显示面板，但是，采用蒸镀工艺生产环形显示面板还存在一些技术问题，例如，在采用蒸镀工艺生产环形显示面板的过程中，容易出现环形显示区域蒸镀开孔精度下降的问题，影响了显示区域的蒸镀效果。
技术实现思路
本技术实施例的目的是，提供一种掩膜组件及蒸镀设备，以解决在生产OLED环形显示面板过程中，环形显示区域蒸镀开孔精度下降的技术问题，提高环形显示区域的蒸镀效果。为了解决上述技术问题，本技术实施例提供一种掩膜组件，所述掩膜组件包括层叠设置的第一掩膜板和第二掩膜板，所述第一掩膜板上设置有第一蒸镀开孔，所述第二掩膜板上设置有遮挡区域以及位于所述遮挡区域外围且用于限定蒸镀区域的围边区域，所述围边区域内设置有第二蒸镀开孔，在所述围边区域内，所述第一蒸镀开孔在所述第二掩膜板上的正投影位于所述第二蒸镀开孔内。可选地，在所述围边区域内，所述第二蒸镀开孔与所述第一蒸镀开孔一一对应设置。可选地，所述第二蒸镀开孔的横截面形状与所述第一蒸镀开孔的横截面形状相同。可选地，所述第二掩膜板的厚度大于所述第一掩膜板的厚度。可选地，所述第二蒸镀孔沿蒸镀方向呈收缩状。可选地，所述遮挡区域内设置有凹槽。可选地，所述凹槽的深度小于或等于所述第二掩膜板厚度的1/2。可选地，所述凹槽的数量为多个，多个所述凹槽在所述遮挡区域内均匀布置。可选地，所述凹槽的横截面形状与所述第二蒸镀孔的横截面形状相同。为了解决上述技术问题，本技术实施例还提供一种蒸镀设备，包括以上所述的掩膜组件，还包括蒸发源，所述第二掩膜板朝向所述蒸发源方向设置。本实施例的掩膜组件，非通刻结构的遮挡区域设置在第二掩膜板上，因此，在张网过程中，第二掩膜板上遮挡区域附近受力不均，导致遮挡区域附近第二蒸镀开孔的精度下降，由于在围边区域内，第一蒸镀开孔在第二掩膜板上的正投影位于所述第二蒸镀开孔内，所以，即使第二蒸镀开孔的精度下降导致第二蒸镀开孔位置偏移，也不会导致第一蒸镀开孔被遮挡，从而，蒸镀材料始终可以通过第一蒸镀开孔蒸镀到显示面板的显示区域，由于第一掩膜板上不设置非通刻结构的遮挡区域，因此，在张网过程中，第一掩膜板上不会出现受力不均匀，也就不会影响到第一蒸镀开孔的精度，从而也就不会导致蒸镀位置不精确，保证了蒸镀效果，避免了蒸镀混色，提高了显示面板的品质。本技术的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本技术而了解。本技术的目的和其他优点可通过在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。附图说明附图用来提供对本技术技术方案的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本申请的实施例一起用于解释本技术的技术方案，并不构成对本技术技术方案的限制。图1为一种环形OLED显示面板；图2为一种用于生产图1所示显示面板的掩膜板；图3为图2所示掩膜板在张网过程中受力分析模拟效果图；图4为本专利技术第一实施例掩膜组件的结构示意图；图5a为图4中第一掩膜板的结构示意图；图5b为图4中第二掩膜板的结构示意图；图6为图4中A部分的放大示意图；图7为采用图4所示掩膜组件进行蒸镀的示意图；图8为图6所示掩膜组件张网后的D部分放大结构示意图；图9a为图6所示掩膜组件张网前的D部分放大结构示意图；图9b为图6中遮挡区域的截面结构示意图。附图标记说明：10—第一掩膜板；11—刻蚀区域；20—第二掩膜板；21—遮挡区域；22—围边区域；31—第一蒸镀开孔；32—第二蒸镀开孔；51—非显示区域；52—显示区域；100—基板211—凹槽。具体实施方式为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下文中将结合附图对本技术的实施例进行详细说明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互任意组合。图1为一种环形OLED显示面板，图2为一种用于生产图1所示显示面板的掩膜板。环形OLED显示面板包括位于中心位置的非显示区域51以及位于非显示区域51外围的显示区域52，由于非显示区域51位于显示区域52的内部，所以，显示区域52呈环形。从图2中可以看出，该掩膜板包括与非显示区域51对应的遮挡区域21以及位于遮挡区域21外围的围边区域22，围边区域22与显示区域52相对应，围边区域22内设置有第一蒸镀开孔31。采用图2所示的掩膜板制备显示面板时，蒸镀材料通过围边区域22内的第一蒸镀开孔31蒸镀到基板上形成具有OLED像素的显示区域52，由于遮挡区域21的遮挡，基板上与遮挡区域对应的位置不会有蒸镀材料，从而形成非显示区域51。为了实现遮挡区域21的遮挡功能，防止蒸镀材料被蒸镀到非显示区域51，遮挡区域21采用非通刻设计，也就是说，在遮挡区域21的遮挡下，蒸镀材料不会被蒸镀到非显示区域51。图2所示的掩膜板，由于遮挡区域21采用非通刻设计，在张网时会造成遮挡区域21附近受力不均匀，图3为图2所示掩膜板在张网过程中受力分析模拟效果图，从图3可以看出，遮挡区域21附近受力不均匀，这就导致靠近遮挡区域21的第一蒸镀开孔31的尺寸精度和位置精度下降，导致基板上蒸镀位置不精确，也就是说，基板上实际的蒸镀位置与OLED像素的设计位置不能精确对应，降低了蒸镀效果，造成蒸镀混色，降低了显示面板的品质。为了解决蒸镀开孔精度下降的技术问题，本技术实施例提出了一种掩膜组件，所述掩膜组件包括层叠设置的第一掩膜板和第二掩膜板，所述第一掩膜板上设置有第一蒸镀开孔，所述第二掩膜板上设置有遮挡区域以及位于所述遮挡区域外围且用于限定蒸镀区域的的围边区域，所述围边区域内设置有第二蒸镀开孔，在所述围边区域内，所述第一蒸镀开孔在所述第二掩膜板上的正投影位于所述第二蒸镀开孔内。当采用该掩膜组件生产环形OLED显示面板时，第一掩膜板朝向待蒸镀基板的蒸镀表面，第二掩膜板朝向蒸镀源，第二掩膜板上的遮挡区域与基板的非显示区域对应，围边区域与环形显示区域对应，蒸镀材料通过围边区域内的第二蒸镀开孔和第一蒸镀开孔蒸镀到显示区域。本实施例的掩膜组件，非通刻结构的遮挡区域设置在第二掩膜板上，因此，在张网过程中，第二掩膜板上遮挡区域附近受力不均，导致遮挡区域附近第二蒸镀开孔的精度下降，由于在围边区域内，第一蒸镀开本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种掩膜组件，其特征在于，所述掩膜组件包括层叠设置的第一掩膜板和第二掩膜板，所述第一掩膜板上设置有第一蒸镀开孔，所述第二掩膜板上设置有遮挡区域以及位于所述遮挡区域外围且用于限定蒸镀区域的围边区域，所述围边区域内设置有第二蒸镀开孔，在所述围边区域内，所述第一蒸镀开孔在所述第二掩膜板上的正投影位于所述第二蒸镀开孔内。

【技术特征摘要】
1.一种掩膜组件，其特征在于，所述掩膜组件包括层叠设置的第一掩膜板和第二掩膜板，所述第一掩膜板上设置有第一蒸镀开孔，所述第二掩膜板上设置有遮挡区域以及位于所述遮挡区域外围且用于限定蒸镀区域的围边区域，所述围边区域内设置有第二蒸镀开孔，在所述围边区域内，所述第一蒸镀开孔在所述第二掩膜板上的正投影位于所述第二蒸镀开孔内。2.根据权利要求1所述的掩膜组件，其特征在于，在所述围边区域内，所述第二蒸镀开孔与所述第一蒸镀开孔一一对应设置。3.根据权利要求1所述的掩膜组件，其特征在于，所述第二蒸镀开孔的横截面形状与所述第一蒸镀开孔的横截面形状相同。4.根据权利要求1所述的掩膜组件，其特征在于，所述第二掩膜板的厚度大...

【专利技术属性】
技术研发人员：张浩瀚，白珊珊，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11