热处理装置以及利用该热处理装置的膜制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种热处理装置以及利用该热处理装置的膜制造方法。根据本发明专利技术的一实施例的热处理装置包括：腔室；第一加热板，配置于所述腔室内；第二加热板，配置于所述腔室内，且配置于所述第一加热板的一面上，具有多个狭缝；以及气体喷射单元，构成为向所述第一加热板的所述一侧面喷射气体，其中，在所述第二加热板中央部的每单位面积中所述狭缝所占的平面上的面积大于在所述第二加热板边缘部的每单位面积中所述狭缝所占的平面上的面积。

【技术实现步骤摘要】
热处理装置以及利用该热处理装置的膜制造方法
本专利技术涉及一种热处理装置以及利用该热处理装置的膜制造方法。
技术介绍
有机发光元件作为自发光型元件而应用于显示装置的情况下,不仅可视角度宽广、对比度出色，而且还具有响应速度、亮度、驱动电压特性出色且可实现多色化的优点。有机发光元件(organiclightemittingdevice)具有在注入空穴(hole)的阳极电极(anodeelectrode)与注入电子(electron)的阴极电极(cathodeelectrode)之间夹设有包括空穴注入层、空穴传输层以及发光层的有机膜的结构。在对所述两个电极之间施加电压时，空穴与电子在发光层重新结合而形成激子，随着该激子从激发态转变为基态而发光。
技术实现思路
另一方面，作为用于在所述阳极电极与阴极电极之间形成有机膜的一种方法，可以列举出喷墨印刷或者喷嘴印刷等溶液涂布工艺。所述溶液涂布工艺，可以通过使有机溶液排放到所期望的位置且使所述有机溶液与高温的惰性气体接触而对所述有机溶液进行干燥(curing)以及烘干(baking)，从而形成所述有机膜。但是，所述干燥以及烘干工序在不同的腔室执行，因此可能会成为使工序变得复杂且成本上升的原因。另外，在所述干燥以及烘干过程中，加热路径根据所述有机溶液的排放位置而不同，因此可能会发生有机溶液不被均匀地干燥的问题，这种问题可能会根据基板，例如有机发光显示面板基板的大面积化而变得更加严重。因此，本专利技术所要解决的课题是提供一种热处理装置，其能够使工序简单化且对基板上的有机溶液或者有机膜进行均匀的热处理，从而能够制造出均匀度(uniformity)得到提高的膜。本专利技术所要解决的另一课题是提供一种膜制造方法，其通过对基板上的有机溶液或者有机膜进行均匀的热处理，从而可以使均匀度得到提高且使杂质含量最小化。本专利技术的课题并不限定于以上提及的技术课题，本领域的技术人员应该可以通过以下说明明确地理解未提及的其他技术课题。用于解决所述问题的根据本专利技术的一实施例的热处理装置包括：腔室；第一加热板，配置于所述腔室内；第二加热板，配置于所述腔室内，且配置于所述第一加热板的一面上，具有多个狭缝；以及气体喷射单元，构成为向所述第一加热板的所述一面侧喷射气体，其中，在所述第二加热板中央部的每单位面积中所述狭缝所占的平面上的面积大于在所述第二加热板边缘部的每单位面积中所述狭缝所占的平面上的面积。所述气体喷射单元包括多个第一流路部，该多个第一流路部沿与所述第一加热板的所述一面平行的第一方向延伸而提供沿所述第一方向的流路，且沿与所述第一方向交叉的第二方向隔开配置。另外，所述狭缝是沿所述第一方向延伸的形状，所述狭缝的在所述第一方向的中央部的宽度可以大于所述狭缝的在所述第一方向的端部的宽度。另外，所述多个狭缝包括：第一狭缝，位于所述第二加热板的所述第二方向的中央部；以及第二狭缝，相比于所述第一狭缝位于所述第二加热板的所述第二方向的边缘部，其中，所述第一狭缝的宽度可以大于所述第二狭缝的宽度。在所述第一加热板与所述第二加热板之间定义有热处理空间，还可以包括第一副加热器，构成为相比于所述热处理空间的边缘部能够向中央部提供更多的热量。另外，还包括：基板安置板，配置于所述第一加热板与所述第二加热板之间；气流阻挡块，配置于所述第一加热板与所述第二加热板时间，且沿着所述第二加热板的边缘配置成带形状；气帘气体喷射部，以包围所述气流阻挡块的方式配置于所述气流阻挡块的外侧；第二副加热器，以包围所述气流阻挡块的方式配置于所述气流阻挡块的外侧，且构成为向所述热处理空间侧提供热量；以及排气罩，配置于所述第二加热板上部，其中，所述气体喷射单元可以构成为向所述基板安置板侧喷射气体。所述气体喷射单元还包括：气体供应源，供应所述气体；以及气体供应管，在所述气体供应源与所述腔室内部的多个所述第一流路部之间提供流路，其中，所述第二加热板具有多个通孔，所述第一流路部配置于所述第一加热板与所述第二加热板之间，所述气体供应管的至少一部分通过所述通孔贯穿所述第二加热板而可直接连接于所述第一流路部。另外，所述第一副加热器配置于所述第二加热板与所述排气罩之间，所述第一副加热器沿所述第一方向延伸且沿所述第二方向隔开配置，从而是多个，而且所述第一副加热器可以与所述第一流路部重叠。所述第二加热板具有多个通孔，所述气体喷射单元还包括：气体供应源，供应所述气体；气体供应管，在所述气体供应源与所述腔室内部的多个所述第一流路部之间提供流路；以及多个第二流路部，从所述第一流路部凸出而通过所述通孔贯穿所述第二加热板，且构成为向所述基板安置板侧喷射气体，其中，所述第一流路部配置于所述第二加热板与所述排气罩之间，所述多个第一流路部为2n(在这里，n为自然数)个，所述气体供应管包括：第一气体分配管，沿一方向延伸；以及两个第二气体分配管，从所述第一气体分配管分支，其中，从所述气体供应源到各所述第一流路部的流路长度均可以相同。另外，所述第一副加热器沿所述第一方向延伸并沿所述第二方向隔开配置，且为2n+1个，所述第一副加热器可配置于所述第一流路部的两侧。上述用于解决另一课题的根据本专利技术的一实施例的膜制造方法，包括：在第一加热板与具有多个狭缝的第二加热板之间夹设排放有有机溶液的基板的步骤；以及向所述基板侧喷射气体而使所述气体与所述基板接触并使所述气体通过所述狭缝排出的步骤，其中，在所述第二加热板中央部的每单位面积中所述狭缝所占的平面上的面积大于在所述第二加热板边缘部的每单位面积中所述狭缝所占的平面上的面积。在夹设所述基板的步骤之后，还包括对制造膜的空间的压力进行控制的步骤，控制所述压力的步骤包括：第一次压力控制步骤，从第一压力减压至低于所述第一压力的第二压力；第二次压力控制步骤，维持所述第二压力；第三次压力控制步骤，从所述第二压力减压至低于所述第二压力的第三压力；第四次压力控制步骤，维持所述第三压力；以及第五次压力控制步骤，从所述第三压力加压至高于所述第三压力的第四压力，其中，所述第一次压力控制步骤至所述第五次压力控制步骤可以在一个腔室内依次执行。喷射所述气体的步骤包括：第一次气体喷射步骤，以第一流量喷射气体；第二次气体喷射步骤，从所述第一流量减量至小于所述第一流量的第二流量而喷射气体；第三次气体喷射步骤，维持所述第二流量而喷射气体；第四次气体喷射步骤，从所述第二流量减量至小于所述第二流量的流量而喷射气体；第五次气体喷射步骤，维持不喷射气体的状态；第六次气体喷射步骤，重新开始气体喷射，将流量增加至第三流量而喷射气体；第七次气体喷射步骤，维持所述第三流量而喷射气体；以及第八次气体喷射步骤，从所述第三流量减量至小于所述第三流量的流量而且喷射气体。另外，所述第五次气体喷射步骤可以与所述第三次压力控制步骤至少部分同时执行，所述第六次气体喷射步骤可以与所述第四次压力控制步骤至少部分同时执行。另外，所述第一次压力控制步骤中的每单位时间的压力变化率可以大于所述第三次压力控制步骤中的每单位时间的压力变化率。所述第一次压力控制步骤、所述第二次压力控制步骤和第三次压力控制步骤中的所述基板的温度为35℃以上且60℃以下，所述第四次压力控制步骤和第五次压力控制步骤中的所述基板的温度为200℃以上且300℃以下，所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种热处理装置，包括：腔室；第一加热板，配置于所述腔室内；第二加热板，配置于所述腔室内，且配置于所述第一加热板的一面上，具有多个狭缝；以及气体喷射单元，构成为向所述第一加热板的所述一面侧喷射气体，在所述第二加热板的中央部的每单位面积中所述狭缝所占的平面上的面积大于在所述第二加热板的边缘部的每单位面积中所述狭缝所占的平面上的面积。

【技术特征摘要】
2017.06.02 KR 10-2017-00688541.一种热处理装置，包括：腔室；第一加热板，配置于所述腔室内；第二加热板，配置于所述腔室内，且配置于所述第一加热板的一面上，具有多个狭缝；以及气体喷射单元，构成为向所述第一加热板的所述一面侧喷射气体，在所述第二加热板的中央部的每单位面积中所述狭缝所占的平面上的面积大于在所述第二加热板的边缘部的每单位面积中所述狭缝所占的平面上的面积。2.根据权利要求1所述的热处理装置，其中，所述气体喷射单元，包括：多个第一流路部，沿与所述第一加热板的所述一面平行的第一方向延伸而提供沿所述第一方向的流路,且沿与所述第一方向交叉的第二方向隔开配置,所述狭缝是沿所述第一方向延伸的形状，所述狭缝的在所述第一方向的中央部的宽度大于所述狭缝的在所述第一方向的端部的宽度。3.根据权利要求2所述的热处理装置，其中，所述多个狭缝包括：第一狭缝，位于所述第二加热板的所述第二方向的中央部；以及第二狭缝，相比于所述第一狭缝位于所述第二加热板的所述第二方向的边缘部，所述第一狭缝的宽度大于所述第二狭缝的宽度。4.根据权利要求2所述的热处理装置，其中，在所述第一加热板与所述第二加热板之间定义有热处理空间，且包括：第一副加热器，构成为相比于所述热处理空间的边缘部能够向中央部施加更多的热量；基板安置板，配置于所述第一加热板与所述第二加热板之间；气流阻挡块，配置于所述第一加热板与所述第二加热板之间，沿着所述第二加热板的边缘配置成带形状；气帘气体喷射部，以包围所述气流阻挡块的方式配置于所述气流阻挡块的外侧；第二副加热器，以包围所述气流阻挡块的方式配置于所述气流阻挡块的外侧，且构成为向所述热处理空间侧提供热量；以及排气罩，配置于所述第二加热板的上部，所述气体喷射单元构成为向所述基板安置板侧喷射气体。5.根据权利要求4所述的热处理装置，其中，所述气体喷射单元还包括：气体供应源，供应所述气体；以及气体供应管，在所述气体供应源与所述腔室内部的多个所述第一流路部之间提供流路，所述第二加热板具有多个通孔，所述第一流路部配置于所述第一加热板与所述第二加热板之间，所述气体供应管的至少一部分通过所述通孔贯穿所述第二加热板并直接连接于所述第一流路部，所述第一副加热器配置于所述第二加热板与所述排气罩之间，所述第一副加热器沿所述第一方向延伸且沿所述第二方向隔开配置为多个，所述第一副加热器与所述第一流路部重叠。6.根据权利要求4所述的热处理装置，其中，所述第二加热板具有多个通孔，所述气体喷射单元还包括：气体供应源，供应所述气体；气体供应管，在所述气体供应源与所述腔室内部的多个所述第一流路部之间提供流路；以及多个第二流路部，从所述第一流路部凸出而通过所述通孔贯穿所述第二加热板，且构成为向所述基板安置板侧喷射气体，所述第一流路部配置于所述第二加热板与所述排气罩之间，所述多个第一流路部为2n个,其中，n为自然数，所述气体供应管包括：第一气体分配管，沿一方向延伸；以及两个第二气体分配管，从所述第一分配管分支，从所述气体供应源至各所述第一流路部的流路长度均相同，所述第一副加热器沿所述第一方向延伸并沿所述第二方向隔开配置，且为2n+1个，所述第一副加热器配置于所述第一流路部的两侧。7.一种膜制造方法，其中，包括：在第一加热板与具有多个狭缝的第二加热板之间夹设排放有有机溶液的基板的步骤；以及向所述基板...

【专利技术属性】
技术研发人员：岸本克史，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR