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热处理装置以及利用该热处理装置的膜制造方法制造方法及图纸
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文档序号:19748872
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本发明提供一种热处理装置以及利用该热处理装置的膜制造方法。根据本发明的一实施例的热处理装置包括:腔室;第一加热板,配置于所述腔室内;第二加热板,配置于所述腔室内,且配置于所述第一加热板的一面上,具有多个狭缝;以及气体喷射单元,构成为向所述第...
该专利属于三星显示有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三星显示有限公司授权不得商用。
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