A device for supporting, locating and/or moving objects is described. The device comprises a base (30) and a carrier (50), and the carrier is movable relative to the base (30). The device further comprises at least three magnetic bearings by which at least three magnetic bearings are supported on the base (30) in a non-contact manner so that the carrier can be displaced relative to at least one predetermined direction (2), in which at least two of these magnetic bearings (10) are assembled into actively controllable magnetic bearings. The device has at least one damping unit (100) fixed to a carrier (50) or a base (30).
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用以物体的支承、定位及/或移动的设备及用以物体的支承、定位及/或移动的设备的操作方法
本公开的数个实施例是有关于一种用以支承、定位及/或移动物体的设备,此物体特别是数个基板。更特别是,说明了一种装配以于真空腔室中非接触地支承、定位及/或移动物体的磁性悬浮系统。数个实施例更有关于一种用以支承、定位及/或移动物体的设备的底座。再者,说明了用以支承、定位及/或移动物体的设备的数个操作方法。
技术介绍
针对用以生产例如用于显示应用的半导体元件的基板处理来说,比较大面积的基板经历数种形式的表面处理工艺。举例来说,此些基板的表面经过机械或化学处理,以举例为形成涂层或表面结构于基板上。特别是在例如是溅射、物理气相沉积或化学气相沉积的表面处理工艺必须执行时,在洁净室条件下或甚至在真空中执行一些表面处理工艺。化学气相沉积也可能为等离子体辅助(plasma-supported)的化学气相沉积。既然有时必须形成微米或甚至纳米范围中的结构于基板上,于基板的平面中及正交于所述平面的此些基板的非常准确定位是有利的。有关于基板环境的粒子自由度的需求,让应用非接触固定基板及对应的支承、定位及/或位移驱动器为有利的。空气轴承只在某些条件中适用于高纯度制造环境,因为它们可能在基板附近导致不需要的气流。在基板附近导致不需要的气流可能有时会妨碍基板处理中的维护准确性。所谓的磁性晶片平台(magneticwaferstages)、或磁性支承或定位设备也存在而具有底座及支撑物体的载体。为了提供于底座上的载体的非接触固定,一般提供数个磁性轴承。此些磁性轴承各具有距离感测器及控制电路。此些磁性轴承以悬吊 ...
【技术保护点】
1.一种用以物体的支承、定位及/或移动的设备,具有底座(30)及载体(50),所述载体相对于所述底座(30)为可移动的,至少三个磁性轴承,所述载体(50)藉由所述至少三个磁性轴承非接触地支承于所述底座(30),使得所述载体可相对于至少一预定方向(2)位移,其中所述磁性轴承(10)的至少二者被装配成主动可控制磁性轴承,及其中所述载体(50)可至少于基频(f0)激发而振动,及至少一机械式阻尼单元,固定于所述载体(50)及具有至少0.1的阻尼比D。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2017.03.16 DE 102017002542.81.一种用以物体的支承、定位及/或移动的设备,具有底座(30)及载体(50),所述载体相对于所述底座(30)为可移动的,至少三个磁性轴承,所述载体(50)藉由所述至少三个磁性轴承非接触地支承于所述底座(30),使得所述载体可相对于至少一预定方向(2)位移,其中所述磁性轴承(10)的至少二者被装配成主动可控制磁性轴承,及其中所述载体(50)可至少于基频(f0)激发而振动,及至少一机械式阻尼单元,固定于所述载体(50)及具有至少0.1的阻尼比D。2.一种用以物体的支承、定位及/或移动的设备,具有底座(30)及载体(50),所述载体相对于所述底座(30)为可移动的,磁性轴承(10),用以非接触地支承所述载体(50)于所述底座(30),使得所述载体可于一传送方向中位移,其中所述磁性轴承(10)的至少二者被装配成主动可控制磁性轴承,及至少一阻尼单元(100),固定于所述载体(50)或所述底座(30)。3.如权利要求2所述的设备,其中所述阻尼单元(100)固定于所述底座(30),特别是固定于与主动可控制磁性轴承相距50cm或更少的距离处。4.如权利要求1至3任一项所述的设备,其中所述阻尼单元(100)包括具有阻尼质量(112)的被动阻尼器(110)。5.如权利要求1至4任一项所述的设备,其中所述阻尼单元(100)被装配成吸振器(120),特别是具有吸收自然频率(Tf0),所述吸收自然频率介于所述载体(50)的基频(f0)的2倍及8倍之间。6.如权利要求1至5任一项所述的设备,其中所述阻尼单元(100)具有壳体(102),阻尼质量(112)被配置于所述壳体的内部体积(104)中,特别是其中所述阻尼质量(112)相对于所述壳体(102)可移动地固定。7.如权利要求6所述的设备,其中所述阻尼质量(112)于所述壳体(102)上的固定具有至少一弹性可压缩...
【专利技术属性】
技术研发人员:克里斯蒂安·沃尔夫冈·埃曼,布里塔·斯巴赫,马丁·艾尼斯,蒂莫·艾德勒,
申请(专利权)人:应用材料公司,
类型:发明
国别省市:美国,US
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