【技术实现步骤摘要】
本案实施方式大体关于用于形成3d光学可堆叠结构的工艺。
技术介绍
1、3d光学结构用以产生复杂的光学元件。例如，3d光学结构可用以利用光生成3d全息图。然而，3d光学装置的品质高度依赖与用于3d光学装置的可堆叠层结构上的3d图案的密度的增大和尺寸的减少。创建常规3d光学结构涉及在基板上方使用抗蚀剂形成三维(3d)可图案化和可堆叠层结构。基板具有沉积在其上的第一层材料，且针对该第一层图案化抗蚀剂。随后，在利用化学机械抛光器平坦化之前，用金属先充填该结构。针对每一层不断重复这些操作，以在结构中产生多个不同垂直高度。然而，当前结构仍产出大于微米尺度的结构，这导致对于诸如全息图的一些3d光学应用的不期望的分辨率。
2、尽管理解了多图案化在分辨率、聚焦深度，及光刻缺陷敏感度方面的问题及益处，但额外希望控制工艺预算并增大和维持良率。此外，此种结构不易创建，因为(多个)后续材料水平的施加可能溶解或破坏先前图案化的材料。
3、因此，需要用于在基板上产生高密度3d多图案化结构的改良方法。
技术实现思路<
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【技术保护点】
1.一种光学装置，包括：
2.根据权利要求1所述的光学装置，其中所述多个台阶包含至少三个台阶。
3.根据权利要求1所述的光学装置，其中每个台阶和所述第一侧壁之间的距离小于1微米。
4.根据权利要求1所述的光学装置，其中每个台阶具有在1纳米和1微米之间的高度。
5.根据权利要求1所述的光学装置，其中每个台阶具有在1纳米和1微米之间的厚度。
6.根据权利要求1所述的光学装置，其中每个台阶从邻接的台阶延伸在1纳米至1微米之间的距离。
7.根据权利要求1所述的光学装置，其中每个台阶具有相等的深度。
...【技术特征摘要】
1.一种光学装置，包括：
2.根据权利要求1所述的光学装置，其中所述多个台阶包含至少三个台阶。
3.根据权利要求1所述的光学装置，其中每个台阶和所述第一侧壁之间的距离小于1微米。
4.根据权利要求1所述的光学装置，其中每个台阶具有在1纳米和1微米之间的高度。
5.根据权利要求1所述的光学装置，其中每个台阶具有在1纳米和1微米之间的厚度。
6.根据权利要求1所述的光学装置，其中每个台阶从邻接的台阶延伸在1纳米至1微米之间的距离。
7.根据权利要求1所述的光学装置，其中每个台阶具有相等的深度。
8.根据权利要求1所述的光学装置，其中每个台阶具有相等的宽度。
9.根据权利要求1所述的光学装置，其中至少一个台阶具有不同的宽度。
10.根据权利要求1所述的光学装置，其中每个光学结构是菲涅耳透镜。
11.一种...
【专利技术属性】
技术研发人员：迈克尔·于泰克·扬，卢多维克·戈代，罗伯特·简·维瑟，拿玛·阿加曼，克里斯托弗·丹尼斯·本彻，韦恩·麦克米兰，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：
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