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说明了一种用以支承、定位及/或移动物体的设备。设备包括底座(30)及载体(50)，载体相对于底座(30)为可移动的。设备进一步包括至少三个磁性轴承，载体(50)藉由此至少三个磁性轴承以非接触方式支撑于底座(30)上，使得载体可相对于至少一预...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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