一种硬软抛一体机制造技术

本实用新型专利技术属于半导体设备领域，尤其涉及一种硬软抛一体机，至少包括硬软抛盘、位于硬软抛盘下方的研磨盘气缸和回收硬软抛混合液的硬软抛液回收槽、位于硬软抛盘上方的研磨装置、硬抛液喷头和软抛液喷头，所述硬抛液喷头通过第一供给管路与硬抛液储存装置连接，所述软抛液喷头通过第二供给管路与软抛液储存装置连接，其特征在于：所述硬软抛盘为硬抛盘面和软抛盘面镶嵌组合，研磨盘气缸驱动软抛盘面相对于硬抛盘面升降。本实用新型专利技术通过将硬抛盘和软抛盘镶嵌设置形成硬软抛盘，从而节约硬软抛的时间，降低人员劳动力，提高工作效率；另外，将使用后硬软抛混合液经过滤后作为软抛液重复利用，节省了硬、软抛液的使用，进而降低生产成本。

A hard and soft throwing machine

The utility model belongs to the field of semiconductor equipment, in particular to a hard-soft throwing machine, which comprises at least a hard-soft throwing disc, a cylinder of a lapping disc under a hard-soft throwing disc and a recovery tank for recovering hard-soft throwing liquid mixtures, a lapping device above a hard-soft throwing disc, a hard-throwing liquid sprinkler and a soft-throwing liquid sprinkler. The liquid sprinkler is connected with the hard-throwing liquid storage device through the first supply pipeline, and the soft-throwing liquid sprinkler is connected with the soft-throwing liquid storage device through the second supply pipeline. The characteristics are as follows: the hard-soft disc is a mosaic combination of the hard-throwing disc surface and the soft-throwing disc surface, and the grinding disc cylinder drives the soft-throwing disc surface to rise and fall relative to the hard-throwing disc surface. By setting hard and soft discs into hard and soft discs, the utility model saves time of hard and soft discs, reduces labor force and improves work efficiency; in addition, the mixed liquid of hard and soft discs is filtered and reused as soft discs, thus saving the use of hard and soft discs, thereby reducing production costs.

【技术实现步骤摘要】
一种硬软抛一体机
本技术属于半导体设备领域，尤其涉及一种硬软抛一体机。
技术介绍
在发光二极管的制造过程中，为使衬底的厚度减薄，通常需要对芯片进行研磨。目前是先通过硬抛机台对芯片进行厚度减薄，使得厚度达到一定厚度后，然后再取下片源转移至软抛机台进行软抛，以改善硬抛后存在的背面划痕情况，降低衬底背面粗糙度以及芯片曲翘度。然而，在现有技术的减薄过程中，芯片在硬抛机台和软抛机台之间的上下片以及转移操作，均需人员手工作业，并且导致减薄加工的时间较长，影响工作效率。
技术实现思路
本技术提供一种硬软抛一体机，至少包括硬软抛盘、位于硬软抛盘下方的研磨盘气缸和回收硬软抛混合液的硬软抛液回收槽、位于硬软抛盘上方的研磨装置、硬抛液喷头和软抛液喷头，所述硬抛液喷头通过第一供给管路与硬抛液储存装置连接，所述软抛液喷头通过第二供给管路与软抛液储存装置连接，其特征在于：所述硬软抛盘为硬抛盘面和软抛盘面镶嵌组合，研磨盘气缸驱动软抛盘面相对于硬抛盘面升降。优选的，所述硬抛盘面由复数个环形盘面同心圆排列而成。优选的，所述软抛盘面由复数个环形盘面同心圆排列而成。优选的，所述研磨盘气缸的表面具有复数个凸部，所述凸部与软抛盘面对应，驱动所述软抛盘面相对于硬抛盘面升降。优选的，所述研磨装置至少包括对称的两个研磨轴和一研磨轴气缸，所述研磨轴在研磨轴气缸的驱动下沿硬软抛盘表面旋转。优选的，所述硬软抛液回收槽和软抛液储存装置之间依次连接有泵，以及过滤硬软抛混合液的过滤装置。优选的，每个所述研磨轴的内部均设置测量所需研磨元件厚度的自动测厚装置。优选的，所述自动测厚装置为红外自动测厚装置。本技术通过将硬抛盘和软抛盘镶嵌设置形成硬软抛盘，从而节约硬软抛的时间，降低人员劳动力，提高工作效率；另外，将使用后硬软抛混合液经过滤后作为软抛液重复利用，节省了硬软抛液的使用，进而降低生产成本。附图说明图1为本技术之硬软抛一体机主视图结构示意图。图2为本技术之硬软抛盘俯视图。具体实施方式在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本技术。根据下面说明和权利要求书，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。参看附图1，本技术提供一种硬软抛一体机，至少包括硬软抛盘10、位于硬软抛盘10下方的研磨盘气缸20和回收硬软抛混合液的硬软抛液回收槽30、位于硬软抛盘10上方的研磨装置40、硬抛液喷头51和软抛液喷头61，硬抛液喷头51通过第一供给管路52与硬抛液储存装置53连接，软抛液喷头61通过第二供给管路62与软抛液储存装置63连接，硬软抛盘10为硬抛盘面11和软抛盘面12镶嵌组合，研磨盘气缸20驱动软抛盘面12相对于硬抛盘面11升降。研磨装置40至少包括对称的两个研磨轴41和一研磨轴气缸42，研磨轴41在研磨轴气缸42的驱动下沿硬软抛盘10表面旋转，对放置于硬软抛盘10上的所需研磨和抛光的元件（图中未示出）进行研磨。每个研磨轴41的内部设置测量所需研磨元件厚度的自动测厚装置43，自动测厚装置43为红外自动测厚装置。硬软抛液回收槽30与软抛液储存装置63之间还依次连接有泵64，以及过滤硬软抛混合液的过滤装置65，泵64将硬软抛液回收槽30中的硬软抛混合液抽入过滤装置65，过滤装置65过滤硬软抛混合液中的大颗粒成分，然后将剩余的混合液与软抛液储存装置63中的软抛液混合，并在泵64的作用下通过软抛液喷头61喷洒于硬软抛盘10表面的所需研磨元件表面使用。研磨盘气缸20的表面具有复数个凸部21，凸部21与软抛盘面12对应，驱动软抛盘面12相对于硬抛盘面11升降。参考附图2，硬抛盘11面由复数个环形盘面同心圆排列而成，软抛盘面12同样由复数个环形盘面同心圆排列而成，如此硬抛盘11和软抛盘面12便可以镶嵌组合形成硬软抛盘10。在研磨过程中，首先研磨盘气缸20驱动软抛盘面12下降，所需研磨和抛光的元件与硬抛盘面11接触并在其上进行研磨硬抛，自动测厚装置43监控硬抛厚度，当所需研磨和抛光的元件的厚度达到既定的一定厚度后，则研磨盘气缸20驱动软抛盘面12上升，所需研磨和抛光的元件与软抛盘面12接触并在其上进行软抛，从而实现了在一个机台上完成硬抛和软抛的操作，而无需转移所需研磨和抛光的元件。本技术通过将硬抛盘面11和软抛盘面12镶嵌设置形成硬软抛盘，从而节约硬软抛的时间，降低人员劳动力，提高工作效率；另外，将使用后硬软抛混合液经过滤后作为软抛液重复利用，节省了硬软抛液的使用，进而降低生产成本。应当理解的是，上述具体实施方案为本技术的优选实施例，本技术的范围不限于该实施例，凡依本技术所做的任何变更，皆属本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硬软抛一体机，至少包括硬软抛盘、位于硬软抛盘下方的研磨盘气缸和回收硬软抛混合液的硬软抛液回收槽、位于硬软抛盘上方的研磨装置、硬抛液喷头和软抛液喷头，所述硬抛液喷头通过第一供给管路与硬抛液储存装置连接，所述软抛液喷头通过第二供给管路与软抛液储存装置连接，其特征在于：所述硬软抛盘为硬抛盘面和软抛盘面镶嵌组合，研磨盘气缸驱动软抛盘面相对于硬抛盘面升降。

【技术特征摘要】
1.一种硬软抛一体机，至少包括硬软抛盘、位于硬软抛盘下方的研磨盘气缸和回收硬软抛混合液的硬软抛液回收槽、位于硬软抛盘上方的研磨装置、硬抛液喷头和软抛液喷头，所述硬抛液喷头通过第一供给管路与硬抛液储存装置连接，所述软抛液喷头通过第二供给管路与软抛液储存装置连接，其特征在于：所述硬软抛盘为硬抛盘面和软抛盘面镶嵌组合，研磨盘气缸驱动软抛盘面相对于硬抛盘面升降。2.根据权利要求1所述的一种硬软抛一体机，其特征在于：所述硬抛盘面由复数个环形盘面同心圆排列而成。3.根据权利要求1所述的一种硬软抛一体机，其特征在于：所述软抛盘面由复数个环形盘面同心圆排列而成。4.根据权利要求1所述的一种硬软抛一体机，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡家豪，杨丽莉，陈家宽，汪其长，冯克耀，邱智中，蔡吉明，
申请(专利权)人：安徽三安光电有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34