【技术实现步骤摘要】
一种氦质谱检漏仪用组合阀座
本技术涉及一种氦质谱检漏仪,尤其涉及的是一种氦质谱检漏仪用组合阀座。
技术介绍
氦质谱检漏仪是真空检漏应用中常用的分析仪器,在电力行业、航天行业、核工业等行业广泛运用。氦质谱检漏仪的真空系统为其关键部分,是该仪器赖以工作的基础。图1是基于普发SplitFlow80分子泵的一种氦质谱检漏仪的真空气路系统,根据气体流向共分四条气流通路,第一条气流通路为预抽真空气路,为从检漏口9经公共管道到电磁阀13再到前级真空泵5;第二条气流通路为低真空气路,为从检漏口9经公共管道到低真空电磁阀6,到主真空泵2,到排气电磁阀4,再到前级真空泵5;第三条气流通路为中真空气路,为从检漏口9经公共管道到中真空电磁阀7,到主真空泵2,到排气电磁阀4,再到前级真空泵5;第四条气流通路为高真空气路,为从质谱室1到主真空泵2,到排气电磁阀4,再到前级真空泵5,真空计8用于测量入口处真空度,真空计3用于测量出口处真空度,图中10是给检漏仪定标用的标准漏孔。由图1可知,氦质谱检漏仪的真空气路系统由多个零部件组成,各零部件之间联通需要通过各样的管接头和管件来连接,接头接缝众多,安装复杂,漏点多,可靠性低,且占用较大的安装空间,布管和布线均要耗时耗力,生产效率不高。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题在于:如何减少对主真空泵的伤害,提供了一种氦质谱检漏仪用组合阀座。本技术是通过以下技术方案解决上述技术问题的,本技术包括主阀座和入口阀座,所述入口阀座与主阀座相连通,所述主阀座与检漏仪的主真空泵相连,所述主阀座上设置有排气电磁阀阀座、低真空电磁阀阀座、中真空电磁阀阀座,所述排气 ...
【技术保护点】
1.一种氦质谱检漏仪用组合阀座,其特征在于,包括主阀座和入口阀座,所述入口阀座与主阀座相连通,所述主阀座与检漏仪的主真空泵相连,所述主阀座上设置有排气电磁阀阀座、低真空电磁阀阀座、中真空电磁阀阀座,所述排气电磁阀阀座、低真空电磁阀阀座和中真空电磁阀阀座分别与主真空泵的对应接口相连;所述入口阀座上设置有与氦质谱检漏仪的检漏口相连通的第一进气口、连通前级真空泵的排气口和预抽电磁阀阀座,所述第一进气口位于预抽电磁阀阀座和主阀座之间。
【技术特征摘要】
1.一种氦质谱检漏仪用组合阀座,其特征在于,包括主阀座和入口阀座,所述入口阀座与主阀座相连通,所述主阀座与检漏仪的主真空泵相连,所述主阀座上设置有排气电磁阀阀座、低真空电磁阀阀座、中真空电磁阀阀座,所述排气电磁阀阀座、低真空电磁阀阀座和中真空电磁阀阀座分别与主真空泵的对应接口相连;所述入口阀座上设置有与氦质谱检漏仪的检漏口相连通的第一进气口、连通前级真空泵的排气口和预抽电磁阀阀座,所述第一进气口位于预抽电磁阀阀座和主阀座之间。2.根...
【专利技术属性】
技术研发人员:朱操胜,
申请(专利权)人:安徽诺益科技有限公司,
类型:新型
国别省市:安徽,34
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