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一种氦质谱检漏仪用组合阀座制造技术
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文档序号:19400576
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本实用新型公开了一种氦质谱检漏仪用组合阀座,所述主阀座与检漏仪的主真空泵相连,所述主阀座上设置有排气电磁阀阀座、低真空电磁阀阀座、中真空电磁阀阀座,所述排气电磁阀阀座、低真空电磁阀阀座和中真空电磁阀阀座分别与主真空泵的对应接口相连;所述入口...
该专利属于安徽诺益科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过安徽诺益科技有限公司授权不得商用。
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