一种具有二级防撞保护结构的硅片台双台交换系统技术方案

一种具有二级防撞保护结构的硅片台双台交换系统，主要应用于半导体光刻设备中。在硅片台双台交换系统中不仅设有气囊装置，在每个硅片台上均配备一套用来保护其内部部件免受碰撞和损害的缓冲装置，共同构成了硅片台的双重安全防撞系统，该双重防撞保护系统具有防撞效果好，质量轻且结构紧凑，避免了硅片台体积过大而造成的行程减小的缺点，以及便于在碰撞发生后迅速恢复等特点；与现有技术相比，大大提高了对硅片台内部结构的安全防护能力，大大减少了碰撞对硅片台零部件造成的损伤。

A dual stage switching system with silicon wafer stage with two stage anti-collision protection structure

A silicon wafer platform two-station switching system with two-stage collision protection structure is mainly used in semiconductor lithography equipment. A double safety anti-collision system for silicon wafer platform is composed of a balloon device and a buffer device to protect its internal components from collision and damage. The double anti-collision protection system has good anti-collision effect, light weight, compact structure and avoidance. Compared with the existing technology, it greatly improves the safety protection ability of the internal structure of the silicon wafer platform and greatly reduces the damage to the parts of the silicon wafer platform caused by the collision.

【技术实现步骤摘要】
一种具有二级防撞保护结构的硅片台双台交换系统
本技术涉及一种防撞结构，尤其涉及一种六自由度微动台的防撞结构，主要应用于半导体光刻设备中，属于超精密加工和检测设备

技术介绍
在光刻机磁浮硅片台双台交换系统中，由于两个硅片台没有推杆或是其它限位，完全依靠传感器的位置测量来控制硅片台在平衡块上的位置和姿态；此外，由于硅片台结构精密，所以，若在交换时或者控制系统失灵时，两个硅片台发生碰撞，损失将无法估量，因此，硅片台的防撞结构非常重要。另外，在两个硅片台发生碰撞时，除了会损坏零部件之外，还有可能发生反弹，如果发生这种情况时，测量系统将无法正常工作，必须重新寻向和归零，严重影响生产效率，因此，防撞系统需要安装有稳定的缓冲结构，可使发生碰撞的硅片台迅速停止运动。现有技术的防撞结构采用在双侧加装悬臂杆，如果两个硅片台距离过近，传感器发生报警，可以快速反应使运动的硅片台迅速停止，但如果控制系统失控，则会先撞坏悬臂杆，再撞到硅片台；在结构设计上，如果在硅片台外围加装防撞杆、距离传感器和缓冲装置等，就会使硅片台的尺寸变得很大，并且增加了大量的零部件和传感器，对于集成度要求极高的设备来说，结构集成会变得非常复杂，无疑是大大增加了设计难度。现有防撞结构的问题是碰撞发生时加速度的下降等级不够，不足以实现所需的保护，因此还需要增加保护装置。
技术实现思路
本技术旨在提供一种具有二级防撞保护结构的硅片台双台交换系统，使其在具有更好的防撞保护性能的前提下，最大限度的减小硅片台的尺寸和重量，并使其受力均匀。本技术的技术方案如下：一种具有二级防撞保护结构的硅片台双台交换系统，该硅片台双台交换系统含有第一硅片台、第二硅片台、线缆台和气囊装置；每个硅片台包含硅片台动子和硅片台定子；所述气囊装置设置在硅片台定子四周的外边缘，其特征在于：在每个硅片台上均配备一套用来保护其内部部件免受碰撞和损害的缓冲装置，并在缓冲装置上安装接收冲击信号的力传感器，所述的缓冲装置设置在硅片台动子和硅片台定子之间，该缓冲装置的外围尺寸应大于气囊装置未充气时的外围尺寸。本技术所述的缓冲器包括4N根阻尼杆、2N根阻尼杆连接柱和一个防撞连接板组件，其中N为偶数；所述的防撞连接板组件包括一个防撞连接板定子和一个防撞连接板动子；所述的防撞连接板定子固定在硅片台动子下方，2N个阻尼杆连接柱设置在防撞连接板定子下表面；所述的防撞连接板动子设置在防撞连接板定子下方，并通过阻尼杆连接柱与防撞连接板定子连接在一起；所述的4N根阻尼杆中的2N根阻尼杆布置在防撞连接板定子与防撞连接板动子之间，每根阻尼杆的两端分别固定在防撞连接板定子下表面和一个阻尼杆连接柱的上端，另外2N根阻尼杆的每一根阻尼杆的其中一端固定在防撞连接板动子下方，另一端固定在阻尼杆连接柱的下端。上述技术方案中，所述的力传感器设置在防撞连接板的定子部分和动子部分之间。本技术的技术特征还在于：所述的阻尼杆由弹性记忆合金材料制成的阻尼杆。本技术具有以下优点及突出性的技术效果：本技术所提供的防撞结构不仅包括设置了一套气囊防撞装置，还设置了一套用来保护其内部部件免受碰撞和损害的缓冲装置，该装置具有较大的缓冲力，从而构成硅片台的双重安全防撞系统。当发生外部碰撞时，一级防护实现缓冲减速，二级防护加强冲击力卸载且保证不发生直接碰撞接触。双重防撞保护系统具有防撞效果好，质量轻且结构紧凑，避免了硅片台体积过大而造成的行程减小的缺点，以及便于在碰撞发生后迅速恢复等特点；与现有技术相比，大大提高了对硅片台内部结构的安全防护能力，大大减少了碰撞对硅片台零部件造成的损伤。附图说明图1为技术提供的一种具有二级防撞保护结构的硅片台的三维结构图。图2为本专利技术提供的拆去线缆和线缆台的具有二级防撞保护结构的硅片台的三维爆炸图。图3为本技术提供的具有二级防撞保护结构的两硅片台发生碰撞前的结构示意图。图4为本技术提供的具有二级防撞保护结构的两硅片台发生碰撞时的结构示意图。图5为本技术提供的具有二级防撞保护结构的两硅片台发生碰撞后的结构示意图。图6为二级防撞保护结构的硅片台缓冲装置阻尼杆位置布置仰视图。图7为两硅片台正向碰撞时缓冲装置工作原理示意图。图8为两硅片台斜向碰撞时缓冲装置工作原理示意图。图9为单硅片台正向碰撞时缓冲装置工作原理示意图。图10为单硅片台斜向碰撞时缓冲装置工作原理示意图。图中：1－硅片台动子；2－硅片台定子；3－缓冲装置；3a－防撞连接板定子；3b－防撞连接板动子；4－气囊装置；5－力传感器；7－线缆台；8-阻尼杆；9-阻尼杆连接柱；10-机架；11－第一硅片台；12－第二硅片台；13a－第一硅片台第一阻尼杆；13b－第二硅片台第二阻尼杆；14a－第一硅片台第二阻尼杆；14b－第二硅片台第二阻尼杆；15a－第一硅片台第三阻尼杆；15b－第二硅片台第三阻尼杆；16a－第一硅片台第四阻尼杆；16b－第二硅片台第四阻尼杆；17a－第一硅片台第五阻尼杆；17b－第二硅片台第五阻尼杆；18a－第一硅片台第六阻尼杆；18b－第二硅片台第六阻尼杆；19a－第一硅片台第七阻尼杆；19b－第二硅片台第七阻尼杆；20a－第一硅片台第八阻尼杆；20b－第二硅片台第八阻尼杆。具体实施方式防撞结构的设计必须考虑可能的动能和冲击时所包含的力、能传递至硅片台而不引起损害的最大力以及最大允许冲击冲程。理想的是冲击冲程足够小，从硅片台到防撞结构的外沿的距离同时满足更小、更轻的结构。本技术所述的防撞结构同时结合有一套缓冲装置和一套气囊装置，既能确保其在正常工作期间能保持在正确的位置，并在碰撞后不会对硅片台本身的结构造成严重破坏。如图1所示，本技术提供的一种具有二级防撞保护结构的硅片台双台交换系统含有第一硅片台11、第二硅片台12、线缆台7和气囊装置4；每个硅片台包含硅片台动子1和硅片台定子2；所述气囊装置4设置在硅片台定子2四周的外边缘，在每个硅片台上均配备一套用来保护其内部部件免受碰撞和损害的缓冲装置3，并在缓冲装置上安装接收冲击信号的力传感器5，所述的缓冲装置设置在硅片台动子1和硅片台定子2之间，该缓冲装置3的外围尺寸应大于气囊装置4未充气时的外围尺寸。图2本技术提供的拆去线缆台的具有二级防撞保护结构的硅片台的三维爆炸图。图3为本技术的一种实施例的具有二级防撞保护结构的硅片台缓冲装置阻尼杆位置布置仰视图。在本实施例中，所述的缓冲装置3包括4N(N为偶数)根阻尼杆8、2N根阻尼杆连接柱9和一个防撞连接板组件；所述的防撞连接板组件包括一个防撞连接板定子3a和一个防撞连接板动子3b；所述的防撞连接板定子3a固定在硅片台动子1下方，防撞连接板定子3a下表面连接四个阻尼杆连接柱9；所述的防撞连接板动子3b设置在防撞连接板定子3a下方，并通过阻尼杆连接柱9与防撞连接板定子3a连接在一起；所述的4N根阻尼杆中的2N根阻尼杆布置在防撞连接板定子3a与防撞连接板动子3b之间，该阻尼杆8的两端分别固定在防撞连接板定子3a上和四个阻尼杆连接柱9的上端，所述的另外2N根阻尼杆8固定在防撞连接板动子3b下方，另一端固定在四个阻尼杆连接柱9的下端；所述的硅片台每条边缘设置至少一根阻尼杆；所述的阻尼杆只能承受拉力；所述的防撞本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具有二级防撞保护结构的硅片台双台交换系统，该硅片台双台交换系统含有第一硅片台(11)、第二硅片台(12)、线缆台(7)和气囊装置(4)；每个硅片台包含硅片台动子(1)和硅片台定子(2)；所述气囊装置(4)设置在硅片台定子(2)四周的外边缘，其特征在于：在每个硅片台上均配备一套用来保护其内部部件免受碰撞和损害的缓冲装置(3)，并在缓冲装置上安装接收冲击信号的力传感器(5)，所述的缓冲装置设置在硅片台动子(1)和硅片台定子(2)之间，该缓冲装置(3)的外围尺寸应大于气囊装置(4)未充气时的外围尺寸。

【技术特征摘要】
1.一种具有二级防撞保护结构的硅片台双台交换系统，该硅片台双台交换系统含有第一硅片台(11)、第二硅片台(12)、线缆台(7)和气囊装置(4)；每个硅片台包含硅片台动子(1)和硅片台定子(2)；所述气囊装置(4)设置在硅片台定子(2)四周的外边缘，其特征在于：在每个硅片台上均配备一套用来保护其内部部件免受碰撞和损害的缓冲装置(3)，并在缓冲装置上安装接收冲击信号的力传感器(5)，所述的缓冲装置设置在硅片台动子(1)和硅片台定子(2)之间，该缓冲装置(3)的外围尺寸应大于气囊装置(4)未充气时的外围尺寸。2.如权利要求1所述的一种具有二级防撞保护结构的硅片台双台交换系统，其特征在于：所述的缓冲装置(3)包括4N根阻尼杆(8)、2N根阻尼杆连接柱(9)和一个防撞连接板组件，其中N为偶数；所述的防撞连接板组件包括一个防撞连接板定子(3a)和一个防撞连接板动子(3b)；所述的防撞连接板定子...

【专利技术属性】
技术研发人员：张鸣，朱煜，杨开明，李鑫，成荣，张利，胡海，胡清平，
申请(专利权)人：清华大学，北京华卓精科科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11