A mechanism for testing semiconductor products by means of electrostatic carriers consists of a mobile carrier plate which is equipped with at least one electrostatic circuit so that the mobile carrier plate can absorb the semiconductor products carried by it by means of static electricity. A type of test probe set includes a probe mechanism including one probe or more probes, a manipulator arm for driving the probe mechanism to the desired test point, a control mechanism for connecting the manipulator arm, including a control circuit for controlling the movement of the manipulator arm, and a test circuit. The test circuit is through. The probe retrieves the required data; a computer is connected to the control mechanism to retrieve the test data of the test circuit; the computer receives input from the user to determine the test items and methods of the test circuit and the movement of the manipulator arm.
【技术实现步骤摘要】
应用静电载具测试半导体制品的机构
本专利技术涉及一种用于测试半导体制品的机构,尤其是一种应用静电载具测试半导体制品的机构。
技术介绍
目前由于要求电子技术趋向于轻薄短小,而且也要求电子芯片的功能越来越强大,内存的储存量越来越高,比如要求手机的厚度越来越薄,相对地里面所有的芯片厚度也必须相对的减小。尤其必须在极薄的厚度内堆集相当多片的芯片如内存芯片。所以整体上半导体制程所制成的晶圆的厚度也被压缩到极薄的程度。而在半导体制程中必须将晶圆施予各种不同的测试。在传统的测试过程中,必须先将晶圆或芯片置于载具上,然后将该载具移动到所需进行测试的测试制具处,再以人工或机械手臂将晶圆或芯片从载具搬离并置于测试制具上的对应测试探针处,然后应用该测试探针对晶圆或芯片进行测试,并撷取所需要的数据。在上述现有技术中的测试方式,由于需将晶圆或芯片从载具移动到测试制具上,在搬移的过程中容易使得晶圆或芯片产生折损或破坏。并且将晶圆或芯片从载具移动到测试制具的过程也耗费了多余的时间,若以人工方式搬移时,则需耗费更多时间并且也更容易因失误而使得晶圆或芯片产生折损或破坏,并且也提高人工成本。因此不但降低了整体的制程效率,也不利于成本上的需求。在现有技术中,半导体制品如晶圆、芯片或芯片组的托盘(tray)由一盘体上形成众多个凹槽,而将芯片放置在凹槽内,芯片在凹槽内并没有固定。此现有技术的缺陷为芯片有可能碰撞到凹槽的槽壁会产生毁损,严重的话将使得所安装的半导体零件受损以致不能使用。并且所能安装的半导体零件也受到凹槽尺寸的限制,因此必须不同的托盘对应到不同的半导体零件。制造商必须具备多种不同尺寸的 ...
【技术保护点】
1.一种应用静电载具测试半导体制品的机构,其特征在于,为应用一承载半导体制品的静电载具,直接进行测试的机构,该应用静电载具测试半导体制品的机构包括:一移动式载板,其上承载多个半导体制品;能够将该移动式载板载送到测试的定位;该移动式载板配置至少一静电电路,用于产生静电,以应用静电而使得该移动式载板吸附所承载的半导体制品;一移动式测试探针组,包括:一探针机构,该探针机构包括一个探针或多个探针;一机械手臂,连接该探针机构,用以驱动该探针机构到所需要的测试点,并使得该探针与该半导体制品的电路接点相连接以进行测试动作;一控制机构,连接该机械手臂,包括控制电路,用于控制该机械手臂的移动,及测试电路,该测试电路通过该探针撷取所需要的数据;一计算机,连接该控制机构,用以撷取该测试电路的测试数据;该计算机能够接收用户的输入以决定该测试电路的测试项目及方式以及该机械手臂的移动行程。
【技术特征摘要】
1.一种应用静电载具测试半导体制品的机构,其特征在于,为应用一承载半导体制品的静电载具,直接进行测试的机构,该应用静电载具测试半导体制品的机构包括:一移动式载板,其上承载多个半导体制品;能够将该移动式载板载送到测试的定位;该移动式载板配置至少一静电电路,用于产生静电,以应用静电而使得该移动式载板吸附所承载的半导体制品;一移动式测试探针组,包括:一探针机构,该探针机构包括一个探针或多个探针;一机械手臂,连接该探针机构,用以驱动该探针机构到所需要的测试点,并使得该探针与该半导体制品的电路接点相连接以进行测试动作;一控制机构,连接该机械手臂,包括控制电路,用于控制该机械手臂的移动,及测试电路,该测试电路通过该探针撷取所需要的数据;一计算机,连接该控制机构,用以撷取该测试电路的测试数据;该计算机能够接收用户的输入以决定该测试电路的测试项目及方式以及该机械手臂的移动行程。2.如权利要求1所述的应用静电载具测试半导体制品的机构,其特征在于,各静电电路包括一感应电极对,该感应电极对包括两个感应电极端分别由对应的静电电路的两端向下延伸,各感应电极端贯穿该移动式载板,而由该移动式载板下方露出。3.如权利要求1所述的应用静电载具测试半导体制品的机构,其特征在于,当该探针机构包括多个探针时,形成不同的成组结构,各组分别对应一将测试的半导体制品;因此利用此探针机构能够一次对多个半导体制品进行测试。4.如权利要求2所述的应用静电载具测试半导体制品的机构,其特征在于,各静电电路的该感应电极对的该两个感应电极端用于连接外部的电压源的正极及负极,该电压源将感应对应的感应电极对的该两个感应电极端,而使得对应的静电电路内部的电路被感应而在该移动式载板的表面产生静电;通过静...
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