The utility model relates to the technical field of OLED vacuum evaporation plating, and specifically discloses an evaporation source system, including an evaporation source. The evaporation source is composed of a plurality of linearly arranged linear evaporation source units. A baffle plate is arranged between the linear evaporation source units to adjust the height by a driving mechanism, and the utility model is arranged through the baffle plate. The height of the baffle plate is adjusted by a driving mechanism to realize the function of automatically adjusting the height of the baffle plate without opening the cavity. The shadow is reduced by changing the evaporation angle, the color mixing condition is solved, and the product yield is improved.
【技术实现步骤摘要】
一种蒸发源系统
本本技术涉及OLED真空蒸镀工艺
,尤其涉及一种蒸发源系统。
技术介绍
真空蒸镀技术是小尺寸OLED生产工艺的核心技术之一,有机材料成膜的质量是影响OLED性能的重要因素。有些膜层需要通过共蒸发工艺来实现主体材料和客体材料共同蒸镀在同一膜层,由于传统分层挡板是根据需求一次性设计做成的挡板,结构固定不变。在生产时,受温度影响产生的挡板形变,以及挡板对不同蒸镀速率具有不同遮挡效果,不同有机材料具有不同理化特性等,这些因素造成蒸镀区微量改变会叠加造成蒸镀区产生较明显变化,导致主体材料和客体材料不能最优化重叠,掺杂的均匀性没有得到很好的保证,导致薄膜掺杂均匀性差。
技术实现思路
针对上述技术问题,本技术提供了一种实现在不开腔条件下自动调整挡板高度的功能、通过改变蒸镀角度来降低shadow产生以及提高产品良率的蒸发源系统。为了解决上述技术问题,本技术提供的具体方案如下:一种蒸发源系统,包括蒸发源,所述的蒸发源由多个线性排列的线性蒸发源单元组成,所述线性蒸发源单元之间设有通过驱动机构进行调节高度的挡板。优选的,所述蒸发源两端设有通过驱动机构进行调节高度的挡板。优选的,所述驱动机构包括控制器和与控制器连接的伺服电机,伺服电机连接挡板,驱动挡板上下运动以调整其高度,进而调节蒸镀角度。优选的,所述线性蒸发源单元包括用于蒸发蒸镀材料的加热机构,所述加热机构上设有线性喷嘴组。优选的,所述加热机构是蒸镀坩埚。优选的,所述线性喷嘴组包括多个喷嘴,喷嘴的数量可以根据实际生产需求进行设置。优选的,所述喷嘴上设有用于调节喷嘴孔径大小的遮挡片,遮挡片调节喷嘴孔径大小,使得膜厚 ...
【技术保护点】
1.一种蒸发源系统,包括蒸发源,所述的蒸发源由多个线性排列的线性蒸发源单元组成,其特征在于:所述线性蒸发源单元之间设有通过驱动机构进行调节高度的挡板(1)。
【技术特征摘要】
1.一种蒸发源系统,包括蒸发源,所述的蒸发源由多个线性排列的线性蒸发源单元组成,其特征在于:所述线性蒸发源单元之间设有通过驱动机构进行调节高度的挡板(1)。2.根据权利要求1所述的蒸发源系统,其特征在于:所述蒸发源两端设有通过驱动机构进行调节高度的挡板(1)。3.根据权利要求2所述的蒸发源系统,其特征在于:所述驱动机构包括控制器和与控制器连接的伺服电机(2)。4.根据权利要求3所述的蒸发源系统,其特征在于:所述线性蒸发源单元包括用于蒸发蒸镀材料的加热机构(3),所述加热机构(3)上设有线性喷嘴组(4)。5.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员:肖冯俊树,曾兴中,童凯,蔡瀚霆,蔡晓义,柯贤军,苏君海,李建华,
申请(专利权)人:信利惠州智能显示有限公司,
类型:新型
国别省市:广东,44
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