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本实用新型涉及OLED真空蒸镀工艺技术领域,具体公开了一种蒸发源系统,包括蒸发源,所述的蒸发源由多个线性排列的线性蒸发源单元组成,所述线性蒸发源单元之间设有通过驱动机构进行调节高度的挡板,本实用新型通过设置驱动机构对挡板高度进行调节,实现在...该专利属于信利(惠州)智能显示有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过信利(惠州)智能显示有限公司授权不得商用。
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本实用新型涉及OLED真空蒸镀工艺技术领域,具体公开了一种蒸发源系统,包括蒸发源,所述的蒸发源由多个线性排列的线性蒸发源单元组成,所述线性蒸发源单元之间设有通过驱动机构进行调节高度的挡板,本实用新型通过设置驱动机构对挡板高度进行调节,实现在...