化学气相沉淀机台中静电吸盘的拆装夹具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种化学气相沉淀机台中静电吸盘的拆装夹具，包括支架、升降螺杆、螺母、横架和连接螺栓，所述螺母固定安装在支架上，所述升降螺杆位于螺母中且相对于所述螺母上下移动，所述横架安装在升降螺杆的下端，所述连接螺栓安装在横架上；升降螺杆的底部安装有一限位球，所述横架中心处形成有一凹槽，所述限位球嵌入卡在所述凹槽中。本实用新型专利技术通过支架中间的升降螺杆向上旋转移动来取出静电吸盘，结构简单，便于操作，省时省力；同时在升降螺杆的底部设置卡在横架上的限位球或圆头螺钉，这样可以实现横架在水平面旋转且上下倾斜，从而可以避免在移除安装静电吸盘的过程中静电吸盘背面的铜柱与柱孔发生倾斜而造成损伤。

Dismantling fixture for electrostatic sucker in chemical vapor deposition machine

The utility model discloses a disassembly and assembly fixture for an electrostatic sucker in a chemical vapor precipitation machine table, which comprises a support, a lifting screw, a nut, a crossbar and a connecting bolt. The nut is fixed on the support and the lifting screw is located in the nut and moves up and down relative to the nut. The crossbar is installed on the lifting screw. At the lower end, the connecting bolt is mounted on the transverse frame, and a limit ball is mounted at the bottom of the lifting screw, and a groove is formed at the center of the transverse frame, and the limit ball is embedded in the groove. The utility model removes the electrostatic sucker by rotating the lifting screw in the middle of the support upward, which has the advantages of simple structure, convenient operation, time-saving and labor-saving; and at the same time, a limit ball or a round head screw clamped on the horizontal frame is arranged at the bottom of the lifting screw, so as to realize the horizontal rotation of the horizontal frame and tilt up and down, so as to avoid being in the horizontal plane. In the process of removing and installing the electrostatic chuck, the copper column on the back of the electrostatic chuck inclines to the column hole and causes damage.

【技术实现步骤摘要】
化学气相沉淀机台中静电吸盘的拆装夹具
本技术属于半导体集成电路制造领域，具体涉及一种化学气相沉淀机台中静电吸盘的拆装夹具。
技术介绍
在半导体器件的生产过程中，LamSPEED机台被广泛应用于化学气相沉淀工艺中，其在腔体内的高温环境下和等离子体增强条件下通过特定的工艺气体对吸附在ESC(ElectrostaticChuck，即静电吸盘)上的硅片进行化学气相沉积形成薄膜，它的特点是成膜速度快、薄膜均匀度好、填洞能力强。机台上的静电吸盘通过静电将硅片固定在腔体中的特定位置，并通过氦气来调节硅片表面的温度。由于静电吸盘对硅片上所形成的薄膜性质有至关重要的影响，所以一旦静电吸盘发生损坏就需要将其更换以保证所形成薄膜的性质。拆除更换静电吸盘的过程中需要使用特定的夹具，以保证静电吸盘在拆除安装过程中不会受到损伤，同时可以方便快速地完成静电吸盘的更换。目前，拆除更换静电吸盘的夹具包括一根横架1和两根长螺栓2，如图1所示，其中两根长螺栓2固定在横架1上。当拆除更换静电吸盘时，长螺栓2固定在静电吸盘的螺孔内，利用双手握住横架1并抬起横架1和静电吸盘，完成拆除更换。但是，目前所使用的夹具存在以下缺陷：1、由于静电吸盘自身的重量大约在10公斤以上，因此在拆除更换的过程中人工通过双手抬起夹具和静电吸盘需要一定的力量，并且在抬起过程中无法避免地会发生抖动，因此该夹具使用起来便利性不足；2、在安装新的静电吸盘的过程中，同样需要双手平伸握住横架1将静电吸盘抬起伸入到腔体内部，但是静电吸盘的背面具有突出的铜柱，该铜柱需要插入到腔体内的对应柱孔中，安装时无法观察到静电吸盘背面的铜柱位置，并且在放入过程中双手难免会发生抖动，这样就会导致铜柱在插入柱孔过程中造成损伤。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种化学气相沉淀机台中静电吸盘的拆装夹具，可以轻松便捷地完成更换，并且不会对静电吸盘造成损伤。为解决上述技术问题，本技术提供的化学气相沉淀机台中静电吸盘的拆装夹具包括支架、升降螺杆、螺母、横架和连接螺栓，所述螺母固定安装在所述支架上，所述升降螺杆位于所述螺母中且相对于所述螺母上下移动，所述横架安装在所述升降螺杆的下端，所述连接螺栓安装在所述横架上。其中一种结构，所述升降螺杆的底部安装有一限位球，所述横架中心处形成有一凹槽，所述限位球嵌入卡在所述凹槽中，所述横架相对于升降螺杆可转动和上下倾斜。其中另一种结构，所述升降螺杆的底部安装有一圆头螺钉，所述横架中心处形成有一凹槽，所述圆头螺钉的头部嵌入卡在所述凹槽中，所述横架相对于升降螺杆可转动和上下倾斜。在上述结构中，所述支架为三角支架，包括三角形的横板和三个支腿，所述横板的每个角上安装有一个支腿。其中，所述横板与螺母固定连接。或者，所述横板与螺母为一体结构。螺母位于横板的上方或者下方。在上述结构中，所述横架为长条形，且横架的两端各安装一个连接螺栓。在上述结构中，所述横架为等边三角形，且横架的三个角各安装一个连接螺栓。本技术的有益之处在于：1)与现有夹具需要通过双手平伸抬起拆除静电吸盘的方式相比，本技术通过支架中间的升降螺杆向上旋转移动来取出静电吸盘，结构简单，便于操作，省时省力；2)本技术在升降螺杆的底部设置卡在横架上的限位球或圆头螺钉，这样可以实现横架在水平面旋转且上下倾斜，从而可以避免在移除安装静电吸盘的过程中静电吸盘背面的铜柱与柱孔发生倾斜而造成损伤。附图说明图1为现有的拆装夹具的结构示意图；图2为本技术的拆装夹具的侧视图；图3为本技术的拆装夹具的俯视图。其中附图标记说明如下：1为横架；2为长螺栓；3为支架；31为横板；32为支腿；4为升降螺杆；5为螺母；6为连接螺栓。具体实施方式下面结合附图与具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。本技术的化学气相沉淀机台中静电吸盘的拆装夹具，如图2所示，包括支架3、升降螺杆4、螺母5、横架1和连接螺栓6，其中螺母5固定安装在所述支架3上，所述升降螺杆4位于所述螺母5中且相对于所述螺母5上下移动，所述横架1安装在所述升降螺杆4的下端，所述连接螺栓6安装在所述横架1上。其中，所述升降螺杆4的底部安装有一限位球(图中未示出)，对应地，横架1中心处形成有一凹槽，所述限位球嵌入卡在所述凹槽中，这样可以使横架1相对于升降螺杆4在水平面内转动并可以上下倾斜。当然，本领域技术人员可以根据常规技术手段将限位球替换为圆头螺钉或其它限位件，只要保证横架1相对于升降螺杆4在水平面内可转动并可上下倾斜即可。在本实施例中，如图3所示，支架3以三角支架为例进行说明，该支架3包括三角形的横板31和三个支腿32，所述横板31的每个角上安装有一个支腿32。支腿32呈L型，其一端固定在三角形横板31的一个角上。优选的，三角形的横板31呈等边三角形。在本实施例中，以方形螺母为例，方形螺母5位于横板31的上方且横板31与螺母5为一体结构，但是本技术并不局限于此，本领域技术人员可以采用其它形状的螺母，当然螺母的位置也可以位于横板31的下方，横板31与螺母5还可以采用其它方式固定连接，如采用螺栓螺母固定，这些对于本领域技术人员来说都是可以轻而易举实现的，故在此不做赘述。如图2所述，本实施例的横架1为长条形，且横架1的两端各安装一个连接螺栓6，用于与静电吸盘固定连接。虽然本实施例以长条形横架为例，但是本技术并不局限于此，该横架还可以采用其它形状，如等边三角形或正方形，在等边三角形或正方形的横架的每个角上安装一个连接螺栓，只要保证连接螺栓到静电吸盘中心的距离相等即可，这对于本领域技术人员来说是显而易见的。此外，如图2、图3所示，升降螺杆4的顶部具有一头部，该头部上设有把手，这样方便操作。与现有夹具需要通过双手平伸抬起拆除静电吸盘的方式相比，本技术采用一个三角支架支撑在腔体上方，并在三角支架中间安装一根可上下移动的升降螺杆，该升降螺杆带动横架和固定静电吸盘的连接螺栓，这样通过升降螺杆的向上旋转移动来代替目前的手动抬起夹具，省时省力，操作便捷。同时，本技术在升降螺杆的底端设计限位结构，这样升降螺杆底部的横架可以水平旋转上下倾斜，从而保证在移除安装静电吸盘的过程中静电吸盘背面的铜柱不会与柱孔发生倾斜碰撞而造成损伤。以上通过具体实施例对本技术进行了详细的说明，该实施例仅仅是本技术的较佳实施例，本技术并不局限于上述实施方式。在不脱离本技术原理的情况下，本领域的技术人员对支架和横架的形状、螺母的形状和位置等做出的等效置换和改进，均应视为在本技术所保护的技术范畴内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种化学气相沉淀机台中静电吸盘的拆装夹具，其特征在于，包括支架、升降螺杆、螺母、横架和连接螺栓，所述螺母固定安装在所述支架上，所述升降螺杆位于所述螺母中且相对于所述螺母上下移动，所述横架安装在所述升降螺杆的下端，所述连接螺栓安装在所述横架上。

【技术特征摘要】
1.一种化学气相沉淀机台中静电吸盘的拆装夹具，其特征在于，包括支架、升降螺杆、螺母、横架和连接螺栓，所述螺母固定安装在所述支架上，所述升降螺杆位于所述螺母中且相对于所述螺母上下移动，所述横架安装在所述升降螺杆的下端，所述连接螺栓安装在所述横架上。2.根据权利要求1所述的化学气相沉淀机台中静电吸盘的拆装夹具，其特征在于，所述升降螺杆的底部安装有一限位球，所述横架中心处形成有一凹槽，所述限位球嵌入卡在所述凹槽中，所述横架相对于升降螺杆可转动和上下倾斜。3.根据权利要求1所述的化学气相沉淀机台中静电吸盘的拆装夹具，其特征在于，所述升降螺杆的底部安装有一圆头螺钉，所述横架中心处形成有一凹槽，所述圆头螺钉的头部嵌入卡在所述凹槽中，所述横架相对于升降螺杆可转动和上下倾斜。4.根据权利要求1或2或3所述的化学气相沉淀机台中静电吸盘的拆装夹具，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：张波，刘涛，黄彪，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31