The utility model relates to a wafer box loading system. The system includes a bearing device and a air curtain device. The bearing device includes a platform, an inflating module and a control module. The platform is used to set a crystal box. The inflatable module is used to inflate the wafer box set on the platform. The control module is electrically connected to the inflatable module and the air curtain device is near the platform. Setting, the electric connection control module of the air curtain device, the control module can control the opening and closing of the air curtain device. When the air curtain device is started, it can blow air on the position of a movable door set at the wafer box set on the platform. The control module can control the movement of the curtain device when the movable door of the wafer box is set on the platform. Blow up the location of the movable door in the original box. The application of the utility model can effectively avoid the influence of the external environment on the internal space of the wafer box.
【技术实现步骤摘要】
晶圆盒载运系统
本技术涉及一种载运系统,特别是一种晶圆盒载运系统。
技术介绍
晶圆盒是目前常见用来载运晶圆片的一种容器,各式的晶圆盒大多设置有一活动门,活动门可被相关的设备、人员开启,以取出设置于晶圆盒中的晶圆片或是将晶圆片设置于晶圆盒中。在现有的应用中,晶圆盒的活动门被开启时,外部环境的微粒将容易进入晶圆盒中,进而可能影响设置于晶圆盒中的晶圆片的后续加工作业。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种晶圆盒载运系统,用以改善现有技术中,晶圆盒的活动门被开启时,设置于晶圆盒中的晶圆片将容易受外部环境影响的问题。为了实现上述目的,本技术提供一种晶圆盒载运系统,所述系统包含一承载装置晶圆载运平台及一气帘装置。承载装置包含:一平台、一充气模块及一控制模块,所述平台用以设置一晶圆盒,所述充气模块用以对设置于平台上的晶圆盒进行充气作业,所述控制模块电性连接所述充气模块,所述控制模块能控制所述充气模块对设置于平台上的晶圆盒内部进行充气作业,所述气帘装置邻近于平台设置,气帘装置电性连接控制模块,控制模块能控制气帘装置的启闭;其中,气帘装置被启动时,气帘装置能对设置于平台的晶圆盒的一活动门所处位置进行吹气,其中,控制模块能在设置于平台的晶圆盒的活动门被开启时,控制气帘装置动作,以对晶圆盒原设置有活动门的位置进行吹气。优选地,晶圆盒载运系统还包含有一开门组件,其邻近于平台设置,开门组件能与设置于平台的晶圆盒的活动门相互连接,而带动活动门移动,以使晶圆盒内部与外连通。优选地,控制模块电性连接开门组件,控制模块能同时或先后控制气帘装置及开门组件,以使气帘装置在晶圆盒的活动门被开启时, ...
【技术保护点】
1.一种晶圆盒载运系统,其特征在于,所述晶圆盒载运系统包含:一承载装置,其包含:一平台,其用以设置一晶圆盒;一充气模块,其用以对设置于所述平台上的所述晶圆盒进行充气作业;及一控制模块,其电性连接所述充气模块,所述控制模块能控制所述充气模块对设置于所述平台上的所述晶圆盒内部进行充气作业;以及一气帘装置,其邻近于所述平台设置,所述气帘装置电性连接所述控制模块,所述控制模块能控制所述气帘装置的启闭;其中,所述气帘装置被启动时,所述气帘装置能对设置于所述平台的所述晶圆盒的一活动门所处位置进行吹气;其中,所述控制模块能在设置于所述平台的所述晶圆盒的所述活动门被开启时,控制所述气帘装置动作,以对所述晶圆盒原设置有所述活动门的位置进行吹气。
【技术特征摘要】
1.一种晶圆盒载运系统,其特征在于,所述晶圆盒载运系统包含:一承载装置,其包含:一平台,其用以设置一晶圆盒;一充气模块,其用以对设置于所述平台上的所述晶圆盒进行充气作业;及一控制模块,其电性连接所述充气模块,所述控制模块能控制所述充气模块对设置于所述平台上的所述晶圆盒内部进行充气作业;以及一气帘装置,其邻近于所述平台设置,所述气帘装置电性连接所述控制模块,所述控制模块能控制所述气帘装置的启闭;其中,所述气帘装置被启动时,所述气帘装置能对设置于所述平台的所述晶圆盒的一活动门所处位置进行吹气;其中,所述控制模块能在设置于所述平台的所述晶圆盒的所述活动门被开启时,控制所述气帘装置动作,以对所述晶圆盒原设置有所述活动门的位置进行吹气。2.依据权利要求1所述的晶圆盒载运系统,其特征在于,所述晶圆盒载运系统还包含有一开门组件,其邻近于所述平台设置,所述开门组件能与设置于所述平台的所述晶圆盒的所述活动门相互连接,而带动所述活动门移动,以使所述晶圆盒内部与外连通。3.依据权利要求2所述的晶圆盒载运系统,其特征在于,所述控制模块电性连接所述开门组件,所述控制模块能同时或先后控制所述气帘装置及所述开门组件,以使所述气帘装置在所述晶圆盒的活动门被开启时,对所述晶圆盒原设置有所述活动门的位置进行吹气。4.依据权利要求2所述的晶圆盒载运系统,其特征在于,所述平台还包含有一限位组件,其能选择性地与设置于所述平台的所述晶圆盒相互连接,而限制所述晶圆盒的活动;所述限位组件电性连接所述控制模块,所述控制模块能先后控制所述限位组件及所述开门组件动作,以先限制...
【专利技术属性】
技术研发人员:郑吉宸,叶秀珢,
申请(专利权)人:华景电通股份有限公司,
类型:新型
国别省市:中国台湾,71
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