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本实用新型涉及一种晶圆盒载运系统。所述系统包含承载装置及气帘装置，所述承载装置包含平台、充气模块及控制模块，所述平台用以设置晶圆盒，所述充气模块用以对设置于平台上的晶圆盒进行充气作业，所述控制模块电性连接充气模块，气帘装置邻近于平台设置，气...
该专利属于华景电通股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华景电通股份有限公司授权不得商用。

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